JP6033595B2 - 基板処理装置及び基板処理装置における距離測定方法 - Google Patents
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Description
上記距離測定方法の第1の態様では、前記天板と前記基板との間隔を把握するために、前記天板に取り付けられた測距センサを用いて当該測距センサから測距対象物までの距離を測定する距離測定ステップを備え、前記測距対象物は前記カップ体若しくは前記カップ体に固定された部材であり、前記基板保持部に保持された基板と前記天板との間の鉛直方向距離の変化に対応して前記測距対象物の前記測距センサからの鉛直方向距離が変化する。
上記距離測定方法の第2の態様では、前記天板と前記基板との間隔を把握するために、前記カップ体に取り付けられた測距センサを用いて当該測距センサから測距対象物までの距離を測定する距離測定ステップを備え、前記測距対象物は前記天板若しくは前記天板に固定された部材であり、前記基板保持部に保持された基板と前記天板との間の鉛直方向距離の変化に対応して前記測距対象物の前記測距センサからの鉛直方向距離が変化する。
20 基板保持部
30 回転駆動機構
44a 処理液供給ノズル(処理液の吐出口)
50 天板(トッププレート)
60 カップ体
52 天板昇降機構
80 測距センサ
90 ウエハ保持状態検出手段(ウエハ保持状態検出装置)
200 制御手段(コントローラ)
Claims (12)
- 基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動機構と、
前記基板保持部に保持された基板を覆うための天板と、
前記天板を、前記基板保持部に保持された基板の上面に近接して当該基板を覆う第1位置と、前記第1位置よりも上方の第2位置との間で前記天板を昇降させる天板昇降機構と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液供給ノズルと、
測距対象物までの距離を測定する測距センサと、
前記基板保持部に保持された基板の周囲を囲むカップ体と、
を備え、
前記測距センサは、前記天板に取り付けられており、
前記測距対象物が、前記カップ体若しくは前記カップ体に固定された部材であり、前記基板保持部に保持された基板と前記天板との間の鉛直方向距離の変化に対応して前記測距対象物の前記測距センサからの鉛直方向距離が変化し、
前記天板と前記基板との間隔を把握するために、前記天板に取り付けられた前記測距センサを用いて前記測距センサから前記測距対象物までの距離を測定する、
基板処理装置。 - 基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動機構と、
前記基板保持部に保持された基板を覆うための天板と、
前記天板を、前記基板保持部に保持された基板の上面に近接して当該基板を覆う第1位置と、前記第1位置よりも上方の第2位置との間で前記天板を昇降させる天板昇降機構と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液供給ノズルと、
測距対象物までの距離を測定する測距センサと、
前記基板保持部に保持された基板の周囲を囲むカップ体と、
を備え、
前記測距センサは、前記カップ体に取り付けられており、
前記測距対象物が、前記天板若しくは前記天板に固定された部材であり、前記基板保持部に保持された基板と前記天板との間の鉛直方向距離の変化に対応して前記測距対象物の前記測距センサからの鉛直方向距離が変化し、
前記天板と前記基板との間隔を把握するために、前記カップ体に取り付けられた前記測距センサを用いて前記測距センサから前記測距対象物までの距離を測定する、
基板処理装置。 - 前記測距センサは少なくとも3つ設けられており、前記各測距センサは前記鉛直軸線を中心とする円周の異なる角度位置に配置されている、請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置は、前記測距センサにより測定した距離が予め定められた許容範囲内にあるときに前記天板が前記第1位置に適切に位置していると判定する制御手段を備えている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記天板が前記第1位置に位置した後であって基板が回転を開始する前において、前記測距センサにより測定した距離が前記許容範囲外にある場合には、天板を一旦上昇させた後に下降させて前記第1位置に再度位置させるように前記天板昇降機構を動作させる、請求項4記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、基板が回転して基板に対する処理が行われている時に前記測距センサにより測定した距離が前記許容範囲外にある場合には、基板の処理を停止するか、あるいは基板が不適切な状態で処理された旨を前記制御手段のメモリに記録するか若しくは異常報知部を介してオペレータに報知する、請求項5記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置は、前記基板保持部による基板の保持状態を検出する保持状態検出手段をさらに備えている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記測距センサは、レーザ式の反射型の変位センサからなる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動機構と、前記基板保持部に保持された基板を覆うための天板と、前記天板を、前記基板保持部に保持された基板の上面に近接して当該基板を覆う第1位置と、前記第1位置よりも上方の第2位置との間で前記天板を昇降させる天板昇降機構と、前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液供給ノズルと、前記基板保持部に保持された基板の周囲を囲むカップ体と、を備える基板処理装置における距離測定方法であって、
前記天板と前記基板との間隔を把握するために、前記天板に取り付けられた測距センサを用いて当該測距センサから測距対象物までの距離を測定する距離測定ステップを備え、
前記測距対象物は前記カップ体若しくは前記カップ体に固定された部材であり、前記基板保持部に保持された基板と前記天板との間の鉛直方向距離の変化に対応して前記測距対象物の前記測距センサからの鉛直方向距離が変化する、
基板処理装置における距離測定方法。 - 基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動機構と、前記基板保持部に保持された基板を覆うための天板と、前記天板を、前記基板保持部に保持された基板の上面に近接して当該基板を覆う第1位置と、前記第1位置よりも上方の第2位置との間で前記天板を昇降させる天板昇降機構と、前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液供給ノズルと、前記基板保持部に保持された基板の周囲を囲むカップ体と、を備える基板処理装置における距離測定方法であって、
前記天板と前記基板との間隔を把握するために、前記カップ体に取り付けられた測距センサを用いて当該測距センサから測距対象物までの距離を測定する距離測定ステップを備え、
前記測距対象物は前記天板若しくは前記天板に固定された部材であり、前記基板保持部に保持された基板と前記天板との間の鉛直方向距離の変化に対応して前記測距対象物の前記測距センサからの鉛直方向距離が変化する、
基板処理装置における距離測定方法。 - 前記測距センサによる前記距離の測定は、前記天板により基板を覆った後であってかつ前記基板を回転させる前に行われ、前記距離が許容範囲外にある場合には、天板を一旦上昇させた後に前記所定位置まで下降させて再び前記天板により基板を覆うことが行われる、請求項9または10記載の基板処理装置における距離測定方法。
- 前記測距センサによる前記距離の測定は、前記天板により前記基板を覆った状態で前記基板を回転させている時に行われ、前記距離が許容範囲外にある場合には、前記基板の処理が停止されるか、あるいは前記基板が不適切な状態で処理された旨が前記基板処理装置の制御手段のメモリに記録されるか若しくは異常報知部を介してオペレータに報知される、請求項9または10記載の基板処理装置における距離測定方法。
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