JP6030364B2 - 真空処理装置用の断熱材 - Google Patents
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- 真空雰囲気の形成が可能な真空処理室内に設けられる真空処理装置用の断熱材であって、
隙間を持って対向配置される一対の保持体と、両保持体間の空間を閉塞する蓋板と、両保持体間に充填される粒体とを備え、
真空処理室に位置する保持体または蓋体の部分に、当該真空処理室との連通を許容する透孔が開設され、上記空間が1〜1000Paの範囲内の圧力であり、真空処理室内の圧力が当該空間の圧力と同等以下である状態で、一方の保持体から他方の保持体への伝熱が粒体の固体熱伝導により起こるように構成したことを特徴とする真空処理装置用の断熱材。
- 前記粒体を構成する微粒子の各々は、球状の輪郭を持つことを特徴とする請求項1記載の真空処理装置用の断熱材。
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