JP6018592B2

JP6018592B2 - ミラーの曲率調整装置及びこれを備えたミラー調整システム

Info

Publication number: JP6018592B2
Application number: JP2013557638A
Authority: JP
Inventors: ファンキル，ケ
Original assignee: Academy Industry Foundation of POSTECH
Current assignee: Academy Industry Foundation of POSTECH
Priority date: 2011-03-08
Filing date: 2012-02-22
Publication date: 2016-11-02
Anticipated expiration: 2032-02-22
Also published as: WO2012121499A2; EP2685461A2; WO2012121499A3; EP2685461B1; EP2685461A4; US20140049850A1; US9435999B2; JP2014508971A

Description

本発明は、ミラーの曲率調整装置及びこれを備えたミラー調整システムに関し、より詳細には、ミラーの位置調整、角度調整及び曲率調整を含むミラーの調整過程を容易且つ簡易に進めることができ、装置の精度及び信頼性をより向上することができる、ミラーの曲率調整装置及びこれを備えたミラー調整システムに関する。

一般的に、電子を光の速度に近い速度に加速させ、これを電磁石を用いて回転させて、紫外線、Ｘ線などの広いエネルギー領域の高輝度の電磁気波が得られる放射光加速器などには、放射光を集束するミラーと、このミラーの位置、角度及び曲率を調整することができるミラー調整システムとが備えられる。

このような従来のミラー調整システムは、ミラーの位置を調整する位置調整装置と、ミラーの角度を調整する角度調整装置と、ミラーの曲率を調整する曲率調整装置とからなるが、そのうちのミラーの曲率を調整する従来の曲率調整装置は、図１乃至図３に示されているとおりである。

従来の曲率調整装置は、ベースブロック２０と、ベースブロック２０に回動可能にカンチレバー３１でそれぞれ連結される一対の回動ブロック３０と、一対の回動ブロック３０にそれぞれ固定され、ミラー１０の両端を支持する一対の支持ブロック４０と、一対の回動ブロック３０にそれぞれ外力を印加して回動させる一対の駆動部５０と、で構成される。

従来の曲率調整装置において、一対の回動ブロック３０は、図３に示されているように、第１・第２の板バネ５１、５２とアクチュエータ５３からそれぞれなる一対の駆動部５０によって外力が印加されることにより、回動点ＲＰを中心としてミラー１０側にそれぞれ回動され、印加された外力が解除されると、カンチレバー３１の弾性力によって元の位置に復帰される。

ここで、一対の回動ブロック３０が回動すると、これによって一対の支持ブロック４０がミラー１０の両端に曲げ力を印加し、これに伴い、ミラー１０が撓みながら曲率が大きくなるように調整される。すなわち、従来の曲率調整装置は、一対の駆動部５０が、一対の回動ブロック３０にそれぞれ印加する外力の大きさを適切に制御して、ミラー１０の曲率を所望の数値に調整するようになる。

一方、このような曲率調整装置を含む従来のミラー調整システムを用いたミラーの調整過程は、ミラー１０の位置及び角度を調整して、ミラー１０に入射する電磁気波をミラーの反射面の中心点ＭＣに入射するようにさせる作業と、ミラー１０のピッチ角と曲率を調整し、ミラー１０から反射される電磁気波が集束するようにさせる作業とに大別される。

このようなミラーの調整過程の中、ミラー１０から反射される電磁気波が集束するようにさせる作業を従来のミラー調整システムを用いて行う場合、ミラー１０のピッチ角を調整するアクチュエータ及びミラー１０の曲率を調整する一対の駆動部５０に対する、全部で３つの入力変数を調整しながら進めなければならないので、その作業が複雑であり、手間がかかるという短所がある。

そして、従来のミラー調整システムに備えられた曲率調整装置は、図３に示されているように、ミラー１０の両端に曲げ力が印加されることにより、ミラー１０の中心が下側に撓みながら曲率が変化するため、ミラー１０の曲率を調整する作業において曲率を小さく調整するか或いは大きく調整することにより、電磁気波が入射するミラー１０の中心点ＭＣの位置が、図３を基準に上側または下側に移動するようになる。

このように従来の曲率調整装置を含むミラー調整システムを用いてミラーを調整する場合には、ミラー１０の曲率を調整する作業中において曲率の調整幅が大きくて、ミラー１０の中心点ＭＣの位置が大きく移動されると、電磁気波がミラー１０の中心点ＭＣに入射するように前もって行ったミラーの位置、角度の調整作業を改めて進めなければならないという問題点がある。

さらに、このようなミラーの位置調整作業、角度調整作業、及び曲率調整作業が、ミラー１０に電磁気波が入射するようにした後、通過した電磁気波の光量を測定するか、或いは反射された電磁気波を精密走査（ｓｃａｎ）して段階別の光量を測定し、その測定値を基に位置調整数値、角度調整数値、及び曲率調整数値をそれぞれ算出して反映する複雑な作業であることを考えると、このような問題点は、大きな短所であることが分かる。

一方、従来の曲率調整装置は、ミラー１０の両端を支持する一対の支持ブロック４０がミラー１０と組立体を形成した後、それぞれ一対の回動ブロック３０にそのまま固設されるため、一対の支持ブロック４０とミラー１０との組立体の長さが、一対の回動ブロック３０の対応する距離と正確に一致しない場合は、ミラー１０に不意の曲げ変形が起こるおそれがあり、当該曲げ変形により装置の信頼度が低下することがあるという短所も存在する。

すなわち、例えば、一対の支持ブロック４０とミラー１０の組立体の長さが。一対の回動ブロック３０の対応する距離よりも長い場合は、当該組立体を一対の回動ブロック３０の間に取り付ける時にミラー１０の両側が押圧されて、曲げ変形が起こってしまう可能性がある。

上述したような問題点を解決するために、本発明は、ミラーの曲率調整時に、ミラーの中心点の位置が移動しないように固定することができ、ミラーの設置過程において、ミラーに不意の曲げ変形が起こることを防止することができるだけでなく、ミラーの曲率を調整する作業が、単一のアクチュエータの１つに対する入力調整で進めることができる、ミラーの曲率調整装置及びこれを備えたミラー調整システムを提供しようとするものである。

上記のような課題を解決すべく、本発明の一実施例にかかるミラーの曲率調整装置は、ミラーの両端に曲げ力を印加または解除して曲率を調整する装置であって、ベースブロック；前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック；前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック；及び、前記一対の回動ブロックを回動させる駆動部；を含み、前記第１の弾性体は、前記回動ブロックが回動することにより、前記ミラーに対する前記支持ブロックの支持点が、曲率変化による前記ミラーの中心点の移動方向に対して反対方向に移動することができるように、前記回動ブロックを前記ベースブロックに連結する。

前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、前記ベースブロックの一側に形成された開放口に位置する前記ミラーの反射面に対して直角を成し、前記ベースブロックとの連結部分である第１の回動点が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられていてもよい。

前記回動ブロックと前記第１の弾性体は、前記ベースブロックと一体に形成されていてもよい。

前記一対の支持ブロックのうちの少なくとも１つは、前記回動ブロックに位置調節可能に固定される連結ブロックを介して前記回動ブロックに設けられていてもよい。

前記駆動部は、前記一対の回動ブロックをそれぞれ回動させるように一対が備えられ、一端が前記回動ブロックに固定された第１の板バネ；前記第１の板バネに並んで所定の距離分だけ離隔した状態で前記第１の板バネの他端に固定されるように、連結部材を介して設けられる第２の板バネ；及び、前記第２の板バネの他端部を前記第１の板バネ側に押圧または解除するアクチュエータ；をそれぞれ含んでなってもよい。

本発明の別の実施例にかかるミラーの曲率調整装置は、ミラーの両端に曲げ力を印加または解除して曲率を調整する装置であって、ベースブロック；前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック；前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック；及び、一方向に往復移送するように備えられた移送部材、前記移送部材を移送する単一のアクチュエータ、及び、前記移送部材の両端部にそれぞれ備えられ、前記アクチュエータによる前記移送部材の移送力を前記一対の回動ブロックに伝達し、前記一対の回動ブロックをそれぞれ回動させる一対の伝達部を含んでなる駆動部；を含み、前記第１の弾性体は、前記回動ブロックが回動することにより、前記ミラーに対する前記支持ブロックの支持点が、曲率変化による前記ミラーの中心点の移動方向に対して反対方向に移動することができるように、前記回動ブロックを前記ベースブロックに連結する。

前記一対の伝達部は、前記ベースブロックに１つ以上の第２の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、前記移送部材にヒンジで連結され、前記移送部材の移送力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第２の弾性体の連結部分を中心として回動し、前記回動ブロックに外力を印加するかもしくは弾性復帰する伝達ブロック；をそれぞれ含んでいてもよい。

前記一対の伝達部は、弾性変形により長さが可変する弾性部材；をそれぞれさらに含み、前記伝達ブロックは、前記弾性部材を介して前記移送部材に連結されていてもよい。

前記駆動部は、前記移送部材の移送方向に沿って前記ベースブロックに固定された１つ以上のガイド軸、及び前記１つ以上のガイド軸にそれぞれかみ合って往復移送され、前記移送部材に結合された１つ以上のガイド体を含んで前記移送部材の往復移送を案内するガイド部；をさらに含んでいてもよい。

前記伝達ブロックと前記回動ブロックのうちのいずれか１つは、前記伝達ブロックが前記回動ブロックに外力を印加するかもしくは弾性復帰する時に、前記回動ブロックとのスライド接触をスムーズにし、前記回動ブロックと前記伝達ブロックとの間隔を所定の設計値に対応するように形成し、前記伝達ブロックまたは前記回動ブロックとの接触部位が曲面であるスライド部材；を含んでいてもよい。

前記伝達ブロックと前記第２の弾性体は、前記ベースブロックと一体に形成されていてもよい。

本発明の一実施例にかかるミラー調整システムは、ミラーの位置、角度及び曲率を調整するシステムであって、底面に設けられた支持台；前記支持台に固設され、前記支持台に対して取付けプレートを前後、左右及び上下に移送して傾きを調整する位置調整装置；前記取付けプレートに固設され、下面に対して上面の回転角度を調整する角度調整装置；並びに、前記角度調整装置の上面に設けられるベースブロック、前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック、前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック、及び前記一対の回動ブロックを回動させる駆動部を含む曲率調整装置；を含み、前記曲率調整装置の前記第１の弾性体は、前記回動ブロックが回動することにより、前記ミラーに対する前記支持ブロックの支持点が、曲率変化による前記ミラーの中心点の移動方向に対して反対方向に移動することができるように、前記回動ブロックを前記ベースブロックに連結する。

前記曲率調整装置の前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、前記ベースブロックの一側に形成された開放口に位置する前記ミラーの反射面に対して直角を成し、前記ベースブロックとの連結部分である第１の回動点が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられていてもよい。

本発明の別の実施例にかかるミラー調整システムは、ミラーの位置、角度及び曲率を調整するシステムであって、底面に設けられた支持台；前記支持台に固設され、前記支持台に対して取付けプレートを前後、左右及び上下に移送して傾きを調整する位置調整装置；前記取付けプレートに固設され、下面に対して上面の回転角度を調整する角度調整装置；及び、前記角度調整装置の上面に設けられるベースブロック、前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック、前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック；及び、前記一対の回動ブロックを回動させる駆動部を含むミラーの曲率調整装置；を含み、前記駆動部は、一方向に往復移送するように備えられた移送部材、前記移送部材を往復移送する単一のアクチュエータ、及び、前記移送部材の両端部にそれぞれ備えられ、前記アクチュエータによる前記移送部材の移送力を前記一対の回動ブロックに伝達し、前記一対の回動ブロックをそれぞれ回動させる一対の伝達部を含んでなり、前記第１の弾性体は、前記回動ブロックが回動することにより、前記ミラーに対する前記支持ブロックの支持点が、曲率変化による前記ミラーの中心点の移動方向に対して反対方向に移動することができるように、前記回動ブロックを前記ベースブロックに連結する。

前記一対の伝達部は、弾性変形により長さが可変する弾性部材；をそれぞれさらに含み、前記伝達ブロックは、前記弾性部材を介して前記移送部材に連結されて備えられていてもよい。

上記のような本発明のミラー曲率調整装置及びこれを備えたミラー調整システムによると、支持ブロックが設けられた回動ブロックをベースブロックに連結する弾性体が、ミラーの曲率を調整するときに、ミラーに対する支持ブロックの支持点が、曲率変化によるミラーの中心点の移動方向に対して反対方向に移動することができるように備えられることにより、ミラーの曲率を調整しても、曲率変化によるミラーの中心点の移動がミラーの両端に位置した支持点の移動で打ち消され、ミラーの中心点の絶対的な変位を最小化することができる。

すなわち、ミラーの曲率調整時にミラーの中心点の位置が移動しないように固定することができるため、ミラーの曲率調整作業の後に、電磁気波をミラーの反射面の中心点に位置させるためのミラーの位置及び角度の調整作業を再び行う必要がなく、ミラーの調整過程を容易且つ簡易に進めることができる。

また、ミラーの曲率調整のために一対の回動ブロックを回動させる駆動部が、一対の伝達部と移送部材とを備えて単一のアクチュエータにて具現されるように備えられることにより、ミラーの曲率を調整する作業を単一のアクチュエータの１つに対する入力のみを調整しながら簡易に進めることができる。

これにより、電磁気波の集束のためのミラーの曲率調整作業を含むミラーの調整過程を、容易に行うことができる。

加えて、アクチュエータによる移送部材の移送力が一対の弾性部材を介して一対の伝達ブロックにそれぞれ印加されるように備えられることにより、移送部材の変位に比べて回動ブロックの回動角度及びこれによるミラーの曲率調整を、非常に細密に進めることができるので、ミラーの曲率調整の精度を向上することができる。

さらに、回動ブロックに外力を印加してミラーの曲率を決定する回動ブロックの回動角度を調節する駆動部が、一端が固定されて互いに並んで設けられた第１・第２の板バネ及びアクチュエータを含んでなることにより、アクチュエータによる第２の板バネの他端の変位に比べて非常に微細に回動ブロックの回動角度を調節することができ、ミラーの曲率調整を細密に進めることができる。

その上、一対の支持ブロックのうちの少なくとも１つは、回動ブロックに位置が調節可能に固定される連結ブロックを介して回動ブロックに設けられるため、ミラーの設置過程において、ミラーに不意の曲げ変形が起こることを防止することができ、これにより、装置の信頼性を向上することができる。

従来のミラー調整システムに備えられるミラーの曲率調整装置の正面図である。従来のミラー調整システムに備えられるミラーの曲率調整装置の平面図である。従来のミラー調整システムに備えられるミラーの曲率調整装置の動作状態を示す正面図である。本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置の正面図である。本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置の平面図である。本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置に備えられるベースブロックを、回動ブロックが備えられた状態で示した斜視図である。本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置に備えられるベースブロックを、回動ブロックが備えられた状態で示した正面図である。本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置の動作状態を示す正面図である。本発明の第１実施例にかかるミラー調整システムを概略的に示した正面図である。本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置の正面図である。本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置の平面図である。本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置に備えられるベースブロックを、回動ブロックと伝達ブロックとが備えられた状態で示した斜視図である。本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置の動作状態を示す正面図である。本発明の第２実施例にかかるミラー調整システムを概略的に示した正面図である。

以下では、添付した図面を参照しながら、本発明の実施例について、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者（以下、‘通常の技術者’という）が容易に実施をすることができるように詳細に説明する。しかし、本発明は、多様な異なる形態で具現することができ、その範囲は、ここで説明する実施例に限定されるものではない。

本発明にかかるミラーの曲率調整装置及びこれを備えたミラー調整システムは、電子を光速に近い速度に加速させ、これを電磁石を用いて回転させて、紫外線、Ｘ線などの広いエネルギー領域の高輝度の電磁気波が得られる放射光加速器などに設けられ、放射光を集束するミラーの曲率を調整する装置、並びに、このような装置を含んでミラーの位置、角度及び曲率を調整するシステムである。

以下、添付した図４乃至図８を参照して、本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００の構成及び作用効果について具体的に説明する。

本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００は、ベースブロック１１０と、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂと、一対の支持ブロック１３０と、駆動部１４０と、一対の変位センサ１５０とを含んでなる。

前記ベースブロック１１０は、装置の本体となる部材であって、内部に駆動部１４０が設けられるように四角形の管状で成り、その一側には、ミラー１０が位置する開放口１１１が形成される。

この開放口１１１の幅方向の両側には、図６に示されたように、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂが複数の第１の弾性体１２１を介して連結されるように、一対のリブ１１２が、互いに対向するように形成される。

しかし、本発明の第１実施例において、前記ベースブロック１１０の形状は例示的なものであって、多様な他の形態で具現することができるのは言うまでも無い。

一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂは、ベースブロック１１０のリブ１１２に、弾性材質のカンチレバー状からなる第１の弾性体１２１を介してそれぞれ連結されて備えられ、ベースブロック１１０と第１の弾性体１２１との連結部分である第１の回動点ＲＰ１を中心としてそれぞれ回動することができるように備えられる。

より具体的に説明すると、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂは、駆動部１４０によって一方向に外力が印加されるが、この外力により第１の弾性体１２１が弾性変形しながら回動される。そして、このように印加されていた外力が解除されると、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂは、第１の弾性体１２１の弾性復元力によって元の位置にそれぞれ復帰するようになる。

ここで、前記第１の弾性体１２１は、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂが回動することにより、ミラー１０に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰが、ミラー１０の曲率変化によるミラー１０の中心点（ＭＣ、以下、ミラーの中心点とは、ミラーの反射面の中心点と定義する）の移動方向に対して反対方向に移動することができるように、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂをベースブロック１１０に連結する。

より具体的に説明すると、前記第１の弾性体１２１は、図４に示されたように、カンチレバー状で備えられ、ミラー１０の反射面に対して直角を成すようにリブ１１２の下側に連結されることで、第１の回動点ＲＰ１が、正面からみるときに、ミラー１０の反射面に隣接した前方側に位置するように備えられる。

これにより、図８に示されたように、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂが第１の回動点ＲＰ１を中心として回動すると、ミラー１０に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰが上側に移動される。これに対して、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂの回動によってミラー１０には曲げ力が印加され、ミラー１０が凹に曲率が増加するように変形されるが、このとき、ミラー１０の中心点ＭＣは、支持点ＳＰに対して下側に移動される。

しかし、このようなミラー１０の中心点ＭＣの移動は、その反対方向である支持点ＳＰの移動によって打ち消され、ベースブロック１１０を基準にしたミラー１０の中心点ＭＣの絶対的な変位はほぼなくなる。

言い換えれば、前述した第１の弾性体１２１の具現形態、これによる第１の回動点ＲＰ１の位置により、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂを回動させてミラー１０の曲率を調整しても、ミラー１０の中心点ＭＣの位置は、移動せずに、固定することができるものである。

本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００において、前記第１の弾性体１２１は、カンチレバー状でベースブロック１１０及び回動ブロック１２０ａ、１２０ｂと一体に形成されたが、これに限定されることなく、別途の部材で作成され、ベースブロック１１０と回動ブロック１２０ａ、１２０ｂにそれぞれ固設されるように具現することができ、その形態もまた、カンチレバーではなく、多様な形態で具現されていてもよい。

また、本発明の第１実施例において、前記第１の弾性体１２１は、図４に示されたように、正面から見るときに、ミラー１０の反射面に対して直角を成すように具現されているが、これに限定されずに、ミラー１０の反射面と成す角が他の角度で具現されたり、或いはミラー１０の反射面に対して水平にも具現されていてもよく、この場合は、第１の弾性体１２１の位置が適切に変わらなければならない。

一方、ミラー１０及び支持点ＳＰに対する前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、各構成要素の配置及び材質などの情報に基づいて力学的に構造解釈を行うことにより、支持点ＳＰの移動がミラー１０の中心点ＭＣの移動を打ち消し、ベースブロック１１０に対するミラー１０の中心点ＭＣの絶対変位が最小化される位置に決定することができる。

一般的な各構成要素の配置及び材質などの情報に基づいて構造解釈をする場合、前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、上下方向において、図４のように正面からみるとき、ミラー１０の反射面上に決定されるか、反射面に隣接するように決定される場合が多い。言い換えれば、前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、ミラー１０の反射面に隣接するように、その前方、反射面上またはその後方に決定される場合が多い。

また、前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、左右方向において、ミラー１０の両終端においてそれぞれ１/４の地点、またはその地点に隣接するように決定される場合が多い。

しかし、前述したような構造解釈の結果に基づいてベースブロック１１０に備えられる第１の弾性体１２１及び第１の回動点ＲＰ１の位置が決定されることになるので、本発明にかかるミラー１０の曲率調整装置１００は、上述したような位置と違う場所に第１の回動点ＲＰ１が位置するように具現されていてもよく、一対の第１の回動点ＲＰ１の位置は、曲率調整装置１００において左右対称的に決定されていてもよいが、その構造解釈の結果によって、左右非対称的に決定されていてもよい。

勿論、前記第１の弾性体１２１及び第１の回動点ＲＰ１の位置は、このような構造解釈に依存せずに、実験的方式の経験則による形態など、他の方式で決定されることもできる。

一方、本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置は、ミラー１０を凹にその曲率を調整する場合を例にあげて説明したが、ミラー１０を凸にその曲率を調整するように具現することもできるのは言うまでも無い。このような場合には、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに加えられる外力を、凹な曲率を調整する場合の反対の方向に加えることによって可能となる。

一対の支持ブロック１３０は、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに形成されたねじ孔１２２に締結されるねじＳＷを介して一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂにそれぞれ固設されてミラー１０の両端を支持し、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂが回動されることにより、ミラー１０の両端に曲げ力を印加する。

この一対の支持ブロック１３０は、先ず、ミラー１０と組み立てられて組立体を形成した後、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに取り付けられるが、この組立体を一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに取り付ける時、ミラー１０に初期変形が発生しないようにするために、一対の支持ブロック１３０のうち少なくとも１つは、図４に示されたように、回動ブロック１２０ｂに位置調節可能に固定された連結ブロック１３１を介して回動ブロック１２０ｂに取り付けることができる。

より具体的に説明すると、前記回動ブロック１２０ｂは、その外側方向の一端に段差部１２３が形成され、この段差部１２３には、ねじＳＷが締結され得るように締結孔１２３-１が垂直に形成されるが、連結ブロック１３１には、このねじＳＷが貫通する孔として、ミラー１０の長手方向に沿って形成された長孔１３１-１が備えられることにより、連結ブロック１３１は、回動ブロック１２０ｂに位置調節可能に固定することができる。

したがって、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂの間の距離よりも、設置しようとするミラー１０と一対の支持ブロック１３０の組立体の長さが長いか或いは短い場合には、回動ブロック１２０ｂへの連結ブロック１３１の取り付け位置を調節することにより、当該ミラー１０の取り付けの際に、ミラー１０に不要な曲げ変形が起こることを効果的に防止することができる。

本発明の第１実施例において、前記支持ブロック１３０は、別途部材である連結ブロック１３１を介して、回動ブロック１２０ｂに対して取り付け位置が調節可能に具現されているが、これに限定されるものではない。例えば、前記支持ブロック１３０が‘Ｌ’状に備えられ、長孔が形成されて、回動ブロック１２０ｂに位置調節可能に直接取り付けられる形態で具現されていてもよい。

前記駆動部１４０は、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂにそれぞれ外力を印加し、一対の回動ブロック１２０ａ、１２０ｂを互いに対称的に回動させる。これにより、一対の支持ブロック１３０が回動ブロック１２０ａ、１２０ｂとともに回動しながら、ミラー１０の両端に対称的な曲げ力を印加するようになる。

このために、前記駆動部１４０は、連結部材１４１-１でそれぞれ連結された一対の第１・第２の板バネ１４１、１４２、及び一対のアクチュエータ１４３を含んでなっていてもよい。

前記第１の板バネ１４１は、ミラー１０と並んで回動ブロック１２０ａ、１２０ｂの一端部にそれぞれ固定され、第２の板バネ１４２は、連結部材１４１-１を介して第１スプリング１４１に所定の距離分だけ離隔した状態で互いに並んで第１の板バネ１４１の他端に一端部が固定される。

そして、前記一対のアクチュエータ１４３は、押圧部材１４３-１を移送させ、第２の板バネ１４２の他端部を第１の板バネ１４１側に押圧または解除する役割をする。

前記アクチュエータ１４３が、このように第１・第２の板バネ１４１、１４２を介して回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに外力を印加するように具現されると、押圧部材１４３-１が第２の板バネ１４１を押圧するように移送される長さに比べて、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに印加される力の大きさを微細に調節することができる。

すなわち、第２の板バネ１４２が、押圧部材１４３-１によって所定の長さだけ押圧されても、第２の板バネ１４２の弾性変形により第１の板バネ１４１ははるかに短い長さ分だけ押圧され、第１の板バネ１４１も弾性変形されて、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに伝達される最終的な力は、非常に小くなる。

したがって、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂが回動する角度を微細に調整することができ、これにより、ミラー１０の曲率も非常に微細に調整することができる。

本発明の第１実施例において、前記駆動部１４０は、第１・第２の板バネ１４１、１４２を含む形態で具現されているが、板バネが具備される個数がこれに限定されるものではなく、１つまたは３つ以上を備えていてもよい。

また、前記駆動部１４０は、板バネではなく、多様な種類の弾性部材を用いてミラー１０の曲率を微細に調整することができるように具現されていてもよい。

一対の変位センサ１５０は、図４に示されたように、一対のアクチュエータ１４３とそれぞれ連結するように設けられ、一対のアクチュエータ１４３が押圧部材１４３-１を介して第２の板バネ１４２を押圧した変位をそれぞれ測定する。

このような変位センサ１５０の測定値、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂの回動値、及びミラー１０の曲率調整値は、いずれも線形比例の関係にあるため、この変位センサ１５０の測定値を確認しつつアクチュエータ１４３を作動することにより、ミラー１０の曲率を調整することができる。

このような変位センサ１５０は、本発明にかかるミラーの曲率調整装置において必須的な構成要素ではなく、これを代替することができる、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂの回動角度を直接測定する別のセンサが備えられていてもよい。

以下、図８を参照して、本発明の第１実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００の動作及び使用状態を、ミラー１０の曲率調整作業が進められる順を基準にして具体的に説明する。

先ず、ミラー１０の曲率を調整するためには、駆動部１４０のアクチュエータ１４３を作動し、押圧部材１４３-１で第２の板バネ１４２の一端部を押圧する。そうすると、前記第２の板バネ１４２は、押圧部材１４３-１で押圧されることによって弾性変形され、第１の板バネ１４１と連結部材１４１-１で連結された他端部が下降する。

次いで、このような第１の板バネ１４１の一端部の下降によって第１の板バネ１４１が弾性変形されて、その他端部に連結された回動ブロック１２０ａ、１２０ｂにモーメントを印加する。

その次に、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂは、第１板バネ１４１を介して印加されたモーメントによって第１の弾性体１２１が弾性変形されて第１の回動点ＲＰ１を中心として回動し、これに伴い、回動ブロック１２０ａ、１２０ｂに固設された支持ブロック１３０も回動される。

これにより、ミラー１０の両端に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰは、図８を基準にして上側に移動され、一対の支持ブロック１３０を介して印加される曲げ力により、ミラー１０は、凹に曲率が調整される。

ここで、ミラー１０が凹に曲率が調整され、相対的にミラー１０の両端に比してミラー１０の中心点ＭＣが下側に移動するようになるが、これは、ミラー１０の両端の支持点ＳＰの上側移動により打ち消されることにより、ベースブロック１１０を基準にしたミラー１０の中心点ＭＣの位置は、移動せずに、固定される。

以下、図９を参照して、本発明の第１実施例にかかるミラー調整システムを具体的に説明する。

本発明の第１実施例にかかるミラー調整システムは、支持台２００と、位置調整装置３００と、角度調整装置４００と、上述したような曲率調整装置１００とを含んでなる。
前記支持台２００は、底面に設けられて、他の構成要素を支持する役割をする。前記支持台２００の上面には、所定の厚さの遮断部２１０がチャンバ２１３を形成している。

このように遮断部２１０により形成されたチャンバ２１３は、その内部に備えられた位置調整装置３００、角度調整装置４００、及び曲率調整装置１００を外部から保護すると共に、不活性気体であるヘリウムなどで満たされるか、又はその内部が真空で形成されることにより、電磁気波の大気による減衰を低減し、空気によるミラー１０の表面の腐食を遅延させる。

さらに、前記遮断部２１０には、電磁気波がミラー１０に入射可能となるように光入射口２１１と、ミラー１０から反射された電磁気波が出射可能となるように光出射口２１２とが備えられ、このような光入射口２１１と光出射口２１２は、カプトンフィルムやベリリウム窓口によって形成することができる。

前記位置調整装置３００は、支持フレーム２２０を介してチャンバ２１３内部の支持台２００の上面に固設され、上側に備えられた取付けプレート３１０を、支持台２００に対して前後、左右及び上下に移送する。また、本発明の第１実施例にかかるミラー調整システムでは、位置調整装置３００に備えられている三つの上下調整用アクチュエータであって、位置調整装置３００が、前後及び左右の傾きも調整することができるように備えられる。

したがって、前記取付けプレート３１０の上側に備えられている角度調整装置４００、曲率調整装置１００及びミラー１０は、この位置調整装置３００により全てが共に前後、左右及び上下に移送され、前後及び左右の傾きも調整される。

前記角度調整装置４００は、取付けプレート３１０上に固設され、その下面に対して上面の回転角度を調整可能に備えられることで、その上面に備えられている曲率調整装置１００及びミラー１０のピッチ（ｐｉｔｃｈ）角を調整する。

上述したような曲率調整装置１００は、角度調整装置４００の上面に設けられ、設けられたミラー１０の曲率を調整することにより電磁気波を集束する。このようなミラーの曲率調整装置１００の具体的な構成及び動作は以上で十分説明してきたので、それを参照されたい。よって、ミラー調整システムを説明するに当たっては、さらに詳細な説明は割愛することとする。

前記ミラー調整システムには、調整装置３００と、角度調整装置４００と、曲率調整装置１００とを駆動するアクチュエータを制御するための電線類を、チャンバ２１３の内・外部の間に連結設置するためのフィードスルー（ｆｅｅｄｔｈｒｏｕｇｈ）５００が備えられていてもよい。

このようなミラー調整システムを用いてミラーを調整する過程は、以下のように行われる。

先ず、光入射口２１１を介して入ってくる電磁気波を、ミラー１０の中心点ＭＣに一致させる作業を行う。放射光は、可視光線ではなく、この段階の光線もそのサイズが非常に小さいので、ミラー１０から反射された電磁気波を光量測定器で測定し、測定された多数の光量値を分析することにより、電磁気波のミラー１０に対する相対的な位置が分かる。

したがって、ミラー１０の前後、左右及び上下の位置と、ミラー１０の傾きとを調整可能な位置調整装置３００、ミラー１０のピッチ角を調整する角度調整装置４００、及び上述した光量測定器を組み合わせて用いることにより、ミラー１０に入射する電磁気波をミラー１０の中心点ＭＣに一致させるようになる。

以後、ミラー１０から反射される電磁気波を集束する作業を行い、光線の大きさを減少させる。光線の大きさは、ミラー１０の曲率だけでなく、ミラー１０のピッチ角に対する関数であるため、曲率調整装置１００とともに角度調整装置４００を交互に反復的に用いながら、光線の大きさを最小化するミラー１０の曲率とピッチ角を探索することにより、最終的に光線の大きさを最小化する。

このとき、本発明にかかるミラーの曲率調整装置は、ミラー１０の曲率を調整しても、先に位置調整と角度調整を経たミラー１０の中心点ＭＣの位置が移動せずに、固定されるため、既存の曲率調整装置のように電磁気波をミラー１０の中心点ＭＣに入射させるための作業を再び行う必要がなく、ミラー１０の調整過程を相当単純化することができる。

本発明にかかるミラー調整システムの第１実施例においては、ミラー１０の反射面が正面で観察される水平ミラー用のミラー調整システムについて説明したが、ミラー１０の反射面が平面や側面から観察される垂直ミラー用のミラー調整システムの場合であっても、以上で説明した方式と類似した方式で具現することができ、先に説明した本発明の第１実施例にかかるミラー調整システムのチャンバ２１３の内部に、水平ミラー用のミラー調整システムとともに設けられて用いられていてもよい。

上述したように、本発明にかかるミラーの曲率調整装置１００及びこれを備えたミラー調整システムによると、支持ブロック１３０が設けられた回動ブロック１２０ａ、１２０ｂをベースブロック１１０に連結する第１の弾性体１２１が、ミラー１０の曲率を調整する時に、ミラー１０に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰが、曲率の変化によるミラー１０の中心点ＭＣの移動方向に対して反対方向に移動することができるように備えられることで、ミラー１０の曲率を調整しても、曲率の変化によるミラー１０の中心点ＭＣの移動が、ミラー１０の両端に位置した支持点ＳＰの移動で打ち消されて、ミラー１０の中心点ＭＣの絶対的な変位を最小化することができるため、すなわち、ミラー１０の曲率調整時に、ミラー１０の中心点ＭＣの位置を固定することができるため、ミラー１０の調整過程を容易且つ簡易に進めることができる。

以下、添付した図１０乃至図１３を参照して、本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００'の構成及び作用効果を具体的に説明する。

本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００'は、ベースブロック１１０'と、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'と、一対の支持ブロック１３０と、駆動部１４０'と、変位センサ１５０とを含んでなる。

前記ベースブロック１１０'は、装置の本体となる部材であって、内部に駆動部１４０'が設けられるように四角形の管状で成り、その一側には、ミラー１０が位置する開放口１１１が形成される。

この開放口１１１の幅方向の両側には、図１２に示されたように、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'が複数の第１の弾性体１２１を介して連結されるように、一対のリブ１１２が、互いに対向するように形成される。

さらに、前記ベースブロック１１０'の中心部には、後述する駆動部１４０'のアクチュエータ１４３'が設けられる支持部材１１３が備えられている。

しかし、本発明の第２実施例において、前記ベースブロック１１０'の形状は例示的なものであって、多様な他の形態で具現することができるのは言うまでも無い。

一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'は、ベースブロック１１０'のリブ１１２に、弾性材質のカンチレバー状からなる第１の弾性体１２１を介してそれぞれ連結されて備えられ、ベースブロック１１０'と第１の弾性体１２１との連結部分である第１の回動点ＲＰ１を中心にしてそれぞれ回動することができるように備えられる。

そして、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'は、図１０に示されたように、下側に延長した形状で備えられ、駆動部１４０'より外力が、その延長された端の部分に印加されるように具現される。

より具体的に説明すると、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'は、駆動部１４０'によってその延長された端の部分へそれぞれ一方向に外力が印加されるが、この外力によって第１の弾性体１２１が弾性変形しながら回動される。そして、このように印加されていた外力が解除されると、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'は、第１の弾性体１２１の弾性復元力によって元の位置にそれぞれ復帰するようになる。

ここで、前記第１の弾性体１２１は、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'が回動することにより、ミラー１０に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰが、ミラー１０の曲率変化によるミラー１０の中心点（ＭＣ、以下、ミラーの中心点とは、ミラーの反射面の中心点と定義する）の移動方向に対して反対方向に移動することができるように、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'をベースブロック１１０'に連結する。

より具体的に説明すると、前記第１の弾性体１２１は、図１０に示されたように、カンチレバー状で備えられ、ミラー１０の反射面に対して直角を成すようにリブ１１２の下側に連結されることで、正面から見るときに、第１の回動点ＲＰ１が、ミラー１０の反射面に隣接された前方側に位置するように備えられる。

これにより、図１３に示されたように、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'が第１の回動点ＲＰ１を中心として回動すると、ミラー１０に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰが上側に移動される。これに対して、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の回動によってミラー１０には曲げ力が印加され、ミラー１０が凹に曲率が増加するように変形されるが、このとき、ミラー１０の中心点ＭＣは、支持点ＳＰに対して下側に移動される。

しかし、このようなミラー１０の中心点ＭＣの移動は、その反対方向である支持点ＳＰの移動によって打ち消され、ベースブロック１１０'を基準にしたミラー１０の中心点ＭＣの絶対的な変位はほぼなくなる。

言い換えれば、前述した第１の弾性体１２１の具現形態、これによる第１の回動点ＲＰ１の位置により、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'を回動させてミラー１０の曲率を調整しても、ミラー１０の中心点ＭＣの位置は、移動せずに、固定することができるものである。

本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００'において、前記第１の弾性体１２１は、カンチレバー状でベースブロック１１０'及び回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'と一体に形成されたが、これに限定されることなく、別途の部材で作成され、ベースブロック１１０'と回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'にそれぞれ固設されるように具現することができ、その形態もまた、カンチレバーではなく、多様な形態で具現されていてもよい。

さらに、前記第１の弾性体１２１は、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'のそれぞれに対して２個ずつ、全体で４個が備えられたが、その具備する個数も、これに限定されるものではない。

また、本発明の第２実施例において、前記第１の弾性体１２１は、図１０に示されたように、正面から見るときに、ミラー１０の反射面に対して直角を成すように具現されているが、これに限定されずに、ミラー１０の反射面と成す角が他の角度で具現されたり、或いはミラー１０の反射面に対して水平にも具現されていてもよく、この場合は、第１の弾性体１２１の位置が適切に変わらなければならない。

一方、ミラー１０及び支持点ＳＰに対する前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、各構成要素の配置及び材質などの情報に基づいて力学的に構造解釈を行うことにより、支持点ＳＰの移動がミラー１０の中心点ＭＣの移動を打ち消し、ベースブロック１１０'に対するミラー１０の中心点ＭＣの絶対変位が最小化される位置に決定することができる。

一般的な各構成要素の配置及び材質などの情報に基づいて構造解釈をする場合、前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、上下方向において、図１０のように正面から見るとき、ミラー１０の反射面上に決定されるか、或いは反射面に隣接するように決定される場合が多い。言い換えれば、前記第１の回動点ＲＰ１の位置は、ミラー１０の反射面に隣接するように、その前方、反射面上またはその後方に決定される場合が多い。

しかし、前述したような構造解釈の結果に基づいてベースブロック１１０'に備えられた第１の弾性体１２１及び第１の回動点ＲＰ１の位置が決定されることになるため、本発明にかかるミラーの曲率調整装置１００'は、上述したような位置と違う場所に第１の回動点ＲＰ１が位置するように具現されていてもよく、一対の第１の回動点ＲＰ１の位置は、曲率調整装置１００'において左右対称的に決定されていてもよいが、その構造解釈の結果によって、左右非対称的に決定されていてもよい。

一方、本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００'は、ミラー１０を凹にその曲率を調整する場合を例にあげて説明したが、ミラー１０を凸にその曲率を調整するように具現されることもできるのは言うまでも無い。このような場合には、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に加えられる外力を、凹な曲率を調整する場合の反対の方向に印加することができる形態で具現される。

一対の支持ブロック１３０は、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に形成されたねじ孔１２２に締結されるねじＳＷを介して、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'にそれぞれ固設されてミラー１０の両端を支持し、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'が回動されることにより、ミラー１０の両端に曲げ力を印加する。

この一対の支持ブロック１３０は、先ず、ミラー１０と組み立てられて組立体を形成した後、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に取り付けられるが、この組立体を一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に取り付ける時、ミラー１０に初期変形が発生しないようにするために、一対の支持ブロック１３０のうち少なくとも１つは、図１０に示されたように、回動ブロック１２０ｂ'に位置調節可能に固定される連結ブロック１３１を介して回動ブロック１２０ｂ'に取り付けられることが好ましい。

より具体的に説明すると、前記回動ブロック１２０ｂ'は、その外側方向の一端に段差部１２３が形成され、この段差部１２３には、ねじＳＷが締結され得るように締結孔１２３-１が垂直に形成されるが、連結ブロック１３１には、このねじＳＷが貫通する孔として、ミラー１０の長手方向に沿って形成された長孔１３１-１が備えられることにおり、連結ブロック１３１は、回動ブロック１２０ｂ'に位置調節可能に固定することができる。

したがって、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の間の距離よりも、設置しようとするミラー１０と一対の支持ブロック１３０の組立体長さが長いか或いは短い場合には、回動ブロック１２０ｂ'への連結ブロック１３１の取り付け位置を調節することにより、該当のミラー１０の設置時に、ミラー１０に不要な曲げ変形が起こることを効果的に防止することができる。

本発明の第２実施例において、前記支持ブロック１３０は、別途部材である連結ブロック１３１を介して、回動ブロック１２０ｂ'に対して取り付け位置が調節可能に具現されているが、これに限定されるものではない。例えば、前記支持ブロック１３０が‘Ｌ’状に備えられ、長孔が形成されて、回動ブロック１２０ｂ'に位置調節可能に直接取り付けられる形態で具現されていてもよい。

前記駆動部１４０'は、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'にそれぞれ外力を印加し、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'を互いに対称的に回動させる。これにより、一対の支持ブロック１３０が回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'とともに回動しながら、ミラー１０の両端に対称的な曲げ力を印加するようになる。

このために、前記駆動部１４０'は、移送部材１４４と、ガイド部１４５と、単一のアクチュエータ１４３'と、一対の伝達部１４６とを含んでなっていてもよい。

前記移送部材１４４は、所定の幅と長さを有するプレート状で備えられ、その中心部に後述するアクチュエータ１４３'の駆動軸１４３-２が結合されて、この駆動軸１４３-２がアクチュエータ１４３'により往復移送されることにより、一方向に往復移送するように備えられる。

本発明の第２実施例において、前記移送部材１４４は、駆動軸１４３-２に結合して具備されているが、これに限定されるものではなく、駆動軸１４３-２が移送部材１４４に単純接触する形態で具現されていてもよい。このように具現されても、前記移送部材１４４は、駆動軸１４３-２の押圧力によって上昇し、後述する弾性部材１４６-３の弾性力によって下降して復帰することができる。

そして、この場合、前記移送部材１４４には、駆動軸１４３-２との接触部分に駆動軸１４３-２の終端が挿入可能な溝部が形成されることにより、駆動軸１４３-２と移送部材１４４とが安定して接触した状態を維持するように具現されていてもよい。

前記ガイド部１４５は、このような移送部材１４４の往復移送を安定的に案内する役割をする。このために、前記ガイド部１４５は、複数のガイド軸１４５-１と複数のガイド体１４５-２とを含んでなる。

前記複数のガイド軸１４５-１は、軸状で備えられ、支持部材１１３に設けられたアクチュエータ１４３'を中心にして一対の伝達部１４６側に互いに対称に位置され、移送部材１４４の移送方向に沿って並んで支持部材１１３に固定される。

前記複数のガイド体１４５-２は、複数のガイド軸１４５-１にそれぞれかみ合って往復移送され、移送部材１４４に結合される。ここで、複数のガイド体１４５-２は、アクチュエータ１４３'に備えられた駆動軸１４３-２と移送部材１４４の連結部分を中心にして移送部材１４４の両側部に互いに対称に備えられることにより、移送部材１４４が安定して往復移送することができるようにする。

本発明の第２実施例において、前記ガイド軸１４５-１は、軸状で備えられ、各伝達部１４６側に一対ずつ全部で４個が備えられ、ここにかみ合うガイド体１４５-２も４つが備えられているが、その形状及び具備する個数が、これに限定されるものではない。例えば、前記ガイド軸１４５-１は、直線レール状に備えられていてもよく、ガイド軸１４５-１とガイド体１４５-２は、それぞれ複数ではなく、単数で備えられていてもよい。

前記アクチュエータ１４３'は、ベースブロック１１０'の中心部に形成された支持部材１１３に固設され、単一として１つが備えられ、移送部材１４４と駆動軸１４３-２を介して連結されて、移送部材１４４を往復移送させる。

前記アクチュエータ１４３'は、１つ備えられていても移送部材１４４を往復移送させることにより、この移送部材１４４に連結された一対の伝達部１４６を介して一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'にそれぞれ外力を印加することができる。

前述した一対の伝達部１４６は、アクチュエータ１４３'による移送部材１４４の移送力を一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'にそれぞれ伝達し、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'をそれぞれ回動させる。

このために、前記一対の伝達部１４６は、伝達ブロック１４６-１及び弾性部材１４６-３をそれぞれ含んでなっていてもよい。

前記伝達ブロック１４６-１は、図１０に示されたように、ベースブロック１１０'に第２の弾性体１４６-２を介してそれぞれ連結されて備えられ、連結体１４６-４及び弾性部材１４６-３を介して移送部材１４４にヒンジＨＧで連結され、移送部材１４４の移送力が印加されることにより、ベースブロック１１０'と第２の弾性体１４６-２の連結部分である第２の回動点ＲＰ２を中心として回動し、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に外力を印加するか或いは弾性復帰するように備えられる。

本来、ミラー１０に曲率を印加するためには、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に互いに反対方向の外力が印加されなければならないが、伝達ブロック１４６-１を取り入れることによって、伝達ブロック１４６-１に印加される同一の方向の外力でミラー１０の曲率を調整することができるようになる。結果として、単一のアクチュエータ１４３'をもってミラー１０の曲率調整ができるようになることである。

ここで、前記伝達ブロック１４６-１は、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に外力を印加するか或いは弾性復帰する時に、回動ブロック１２０ａ'、１２０ａ'とのスライド接触をスムーズにし、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'との間隔が所定の設計値に対応するように形成されるよう、スライド部材１４６-５が備えられる。

このスライド部材１４６-５は、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の延長された形状の端部分にそれぞれ接触可能となるように、接触部位が曲面にて備えられる。そして、前記スライド部材１４６-５は、伝達ブロック１４６-１に回転自在に備えられていてもよい。

前記スライド部材１４６-５が、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'との間隔を所定の設計値に対応するように形成する役割についてより具体的に説明すると、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'、第１の弾性体１２１、伝達ブロック１４６-１、及び第２の弾性体１４６-２は、ワイヤ放電加工を通じてベースブロック１１０'と一体に形成することができるが、この場合、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'と伝達ブロック１４６-１との間隔は、設計値よりはワイヤ放電加工に用いられるワイヤの直径に依存するようになり、不正確となる。

このとき、スライド部材１４６-５の外形を正確に機械加工した後、伝達ブロック１４６-１に取り付けると、このスライド部材１４６-５によって、伝達ブロック１４６-１と回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の間の間隔は、設計値に対応するように正確に設定することができる。

本発明の第２実施例において、前記スライド部材１４６-５は、伝達ブロック１４６-１に設けられたが、伝達ブロック１４６-１と隣接した回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の延長された形状の端部分に備えられていてもよい。

さらに、本発明の第２実施例において、前記第２の弾性体１４６-２は、カンチレバー状でベースブロック１１０'及び伝達ブロック１４６-１と一体に形成されているが、これに限定されるものではなく、別途の部材で作成され、ベースブロック１１０'と伝達ブロック１４６-１にそれぞれ固設されるように具現されていてもよく、その形態もまた、カンチレバーに限定されることなく、多様に変形具現されていてもよい。

一方、前記弾性部材１４６-３は、移送部材１４４が大きく移送されていても、伝達ブロック１４６-１は少しだけ回動するように弾性変形を通じてその長さが可変されながら、移送部材１４４の移送距離を吸収し、移送部材１４４の移送距離、すなわち、移送部材１４４の変位に比べて伝達ブロック１４６-１に伝達する力の大きさを大きく減らすことで、伝達ブロック１４６-１が回動する角度、さらには、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の回動角度及びミラー１０の曲率を微細に調節することができるようにする。これにより、ミラー１０の曲率調整の精度を向上することができる。

このために、前記弾性部材１４６-３は、引っ張りバネなどのように弾性変形で長さが可変する要素で備えられ、一端はヒンジＨＧで連結される連結体１４６-４を介して伝達ブロック１４６-１に設けられ、その他端は移送部材１４４の一側部にヒンジＨＧで連結される。

前記弾性部材１４６-３は、引っ張りバネと異なる弾性を有する要素からなっていてもよく、その個数も複数で備えられていてもよい。

このような弾性部材１４６-３及び連結体１４６-４は、ミラー１０の曲率調整の精度や組み立ての容易さを向上するための構成要素であって、本発明にかかるミラーの曲率調整装置１００'において必須的な構成要素ではない。

本発明の第２実施例において、前記一対の伝達部１４６は、第２の弾性体１４６-２によりベースブロック１１０'に設けられた伝達ブロック１４６-１を含んで具現されているが、前記伝達部１４６は、移送部材１４４の移送力によって回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'が回動され得るように、その移送力を回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に適切に伝達できるように具現されていればよく、その具現方式がこれに限定されるものではない。

前記変位センサ１５０は、図１０に示されたように、アクチュエータ１４３'の駆動軸１４３-２に連結されるように設けられ、駆動軸１４３-２の変位、すなわち、移送部材１４４の変位を測定する。

このような変位センサ１５０の測定値、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の回動値、及びミラー１０の曲率調整値は、いずれも線形比例の関係にあるため、この変位センサ１５０の測定値を確認しつつアクチュエータ１４３'を作動することにより、ミラー１０の曲率を調整することができる。

このような変位センサ１５０は、本発明にかかるミラーの曲率調整装置において必須的な構成要素ではなく、これを代替することができる、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の回動角度を直接測定する別のセンサが備えられていてもよい。

一方、本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００'のように、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に対するそれぞれの第１の回動点ＲＰ１が、ミラー１０の中心点ＭＣを基準にして互いに対称に備えられるが、この場合、単一のアクチュエータ１４３'でミラー１０の曲率を調整すると、電磁気波を集束させる時に必要な楕円曲率を得ることは難しい。

したがって、本発明の第２実施例の場合、図１１に示されたように、両端に同等の大きさのモーメントが印加された時に楕円曲率に変形され得るように、その幅が変わるミラー(変幅ミラー)を用いることが好ましい。

もし、均一な幅を有する一般のミラーを用いた場合には、楕円曲率が得られるように、一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に対するそれぞれの第１の回動点ＲＰ１の位置を、力学的な構造解釈を通じて非対称的に具現することが好ましい。

以下では、図１０及び図１３を参照して、本発明の第２実施例にかかるミラーの曲率調整装置１００'の動作及び使用状態を、ミラー１０の曲率を増加させる方向にその調整作業が進められる順を基準にして具体的に説明する。

先ず、ミラー１０の曲率を調整するためには、図１０の状態において、駆動部１４０'のアクチュエータ１４３'を作動して、駆動軸１４３-２に連結された移送部材１４４を図１３を基準に上側に押圧する。そうすると、移送部材１４４が、ガイド軸１４５-１とガイド体１４５-２とからなるガイド部１４５により安定的に案内されながら、上側に移送される。

これにより、移送部材１４４の両側部にそれぞれ連結された弾性部材１４６-３が引っ張り力を受けて弾性変形しながら長さが伸び、移送部材１４４の移送力は、その大きさが縮まった状態で伝達ブロック１４６-１に伝達されて、第２の弾性体１４６-２が弾性変形しながら、伝達ブロック１４６-１が第２の回動点ＲＰ２を中心に回転する。

このように、移送部材１４４が上昇し、伝達ブロック１４６-１は回転するようになると、移送部材１４４と弾性部材１４６-３の連結部分と、連結体１４６-４と弾性部材１４６-３の連結部分とは、垂直線上に位置した状態でその位置がずれるようになるが、弾性部材１４６-３は、その両端が移送部材１４４及び連結体１４６-４にそれぞれヒンジＨＧで連結されることにより、移送部材１４４と弾性部材１４６-３の連結部分と、連結体１４６-４と弾性部材１４６-３の連結部分との位置がずれても、弾性部材１４６-３が移送部材１４４及び連結体１４６-４に対して適切に回転しながら、上述したような動作が自然に行われるようになる。

次いで、前記伝達ブロック１４６-１が第２の回動点ＲＰ２を中心にして回転するにより、スライド部材１４６-５を介して回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の延長された端部分が押圧され、この押圧力によって第１の弾性体１２１が弾性変形しながら、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'が第１の回動点ＲＰ１を中心に回転する。そして、これにより、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'に固設された支持ブロック１３０もまた回動する。

その後、支持ブロック１３０が回動することによりミラー１０の両端に曲げ力が印加されると、これによって、ミラー１０は、凹に曲率が増加する。

ここで、ミラー１０が凹に曲率が増加し、相対的にミラー１０の両端に比してミラー１０の中心点ＭＣが下側に移動されるが、これは、ミラー１０の両端の支持点ＳＰの上側移動にて打ち消されることにより、ベースブロック１１０'を基準にしたミラー１０の中心点ＭＣの位置は、移動せずに、固定される。

以下、図１４を参照して、本発明の第２実施例にかかるミラー調整システムを具体的に説明する。

本発明の第２実施例にかかるミラー調整システムは、支持台２００と、位置調整装置３００と、角度調整装置４００と、上述したようなミラーの曲率調整装置１００'とを含んでなる。

前記支持台２００は、底面に設けられ、他の構成要素を支持する役割をする。前記支持台２００の上面には、所定の厚さの遮断部２１０がチャンバ２１３を形成している。

このように遮断部２１０により形成されたチャンバ２１３は、その内部に備えられた位置調整装置３００、角度調整装置４００、及び曲率調整装置１００'を外部から保護すると共に、その内部が不活性気体であるヘリウムなどで満たされるか、又は真空で形成されることにより、電磁気波の大気による減衰を低減し、空気によるミラー１０の表面の腐食を遅延させる。

前記位置調整装置３００は、支持フレーム２２０を介してチャンバ２１３内部の支持台２００の上面に固設され、上側に備えられた取付けプレート３１０を、支持台２００に対して前後、左右及び上下に移送する。また、本発明の第２実施例にかかるミラー調整システムでは、位置調整装置３００に備えられている３つの上下調整用アクチュエータであって、位置調整装置３００が、取付けプレート３１０の前後及び左右の傾きも調整することができるように備えられる。

したがって、前記取付けプレート３１０の上側に備えられている角度調整装置４００、曲率調整装置１００'及びミラー１０は、この位置調整装置３００によりすべてが共に前後、左右及び上下に移送され、前後及び左右の傾きも調整される。

前記角度調整装置４００は、取付けプレート３１０上に固設され、その下面に対して上面の回転角度を調整可能に備えられることで、その上面に備えられている曲率調整装置１００'及びミラー１０のピッチ（ｐｉｔｃｈ）角を調整する。

前記曲率調整装置１００'は、電磁気波を集束することができるようにミラー１０の曲率を調整する。このようなミラーの曲率調整装置１００'の具体的な構成及び動作は先に十分説明してきたので、それを参照されたい。よって、ミラー調整システムを説明するに当たっては、さらに詳細な説明は割愛することとする。

前記ミラー調整システムには、位置調整装置３００と、角度調整装置４００と、曲率調整装置１００'とを駆動するアクチュエータを制御するための電線類を、チャンバ２１３の内・外部の間に連結設置するためのフィードスルー（ｆｅｅｄｔｈｒｏｕｇｈ）５００が備えられていてもよい。

先ず、光入射口２１１を介して入ってくる電磁気波を、ミラー１０の中心点ＭＣに一致させる作業を行う。放射光は、可視光線ではなく、この段階の光線もそのサイズが非常に小さいので、ミラー１０を通過した電磁気波を光量測定器で測定し、測定された多数の光量値を分析することにより、ミラー１０の電磁気波に対する相対的な位置が分かる。

したがって、ミラー１０の前後、左右及び上下位置と、ミラー１０の傾きとを調整可能な位置調整装置３００、ミラー１０のピッチ角を調整する角度調整装置４００、及び上述した光量測定器を組み合わせて用いることにより、ミラー１０に入射する電磁気波をミラー１０の中心点ＭＣに一致させるようになる。

以後、ミラー１０から反射される電磁気波を集束する作業を行い、光線の大きさを減少させる。光線の大きさは、ミラー１０の曲率だけでなく、ミラー１０のピッチ角に対する関数であるため、曲率調整装置１００’とともに角度調整装置４００を交互に反復的に用いながら、光線の大きさを最小化するミラー１０の曲率とピッチ角を探索することにより、最終的に光線の大きさを最小化する。

この時、本発明にかかるミラー調整システムは、ミラー１０の曲率を調整する単一のアクチュエータと、ミラー１０のピッチ角を調整するアクチュエータとに関する２つの入力変数のみを調整しながら、ミラー１０から反射される電磁気波が集束するようにさせる作業を進めることができるため、３つの入力変数を調整しながら進行しなければならない既存のミラー調整システムに比べて、簡単且つ容易に作業を進めることができる。

また、本発明にかかるミラー調整システムに備えられる曲率調整装置１００'は、ミラー１０の曲率を調整しても、先に位置調整と角度調整を経たミラー１０の中心点ＭＣの位置が移動せずに、固定されるため、既存の曲率調整装置のように電磁気波をミラー１０の中心点ＭＣに入射させるための作業を再び行う必要がなく、ミラー１０の調整過程を相当単純化することができる。

本発明にかかるミラー調整システムの第２実施例においては、ミラー１０の反射面が正面で観察される水平ミラー用のミラー調整システムを説明したが、ミラー１０の反射面が平面で観察される垂直ミラー用のミラー調整システムの場合であっても、先に説明した方式と類似した方式で具現可能であり、前に説明した本発明の第２実施例にかかるミラー調整システムのチャンバ２１３の内部に水平ミラー用のミラー調整システムとともに設けられて、用いられていてもよい。

上述したように、本発明にかかるミラーの曲率調整装置１００'及びこれを備えたミラー調整システムによると、ミラー１０の曲率調整のために一対の回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'を回動させる駆動部１４０'が、一対の伝達部１４６と移送部材１４４を備えて単一のアクチュエータ１４３'で具現されるように備えられることで、ミラー１０の曲率を調整する作業を単一のアクチュエータ１４３'の１つに対する入力のみを調整しながら簡易に進めることができるため、電磁気波の集束のためのミラー１０の調整過程を容易に行うことができ、アクチュエータ１４３'による移送部材１４４の移送力が一対の弾性部材１４６-３を介して一対の伝達ブロック１４６-１にそれぞれ印加されるように備えられることで、移送部材１４４の移送変位に比べて、回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'の回動角度及びこれによるミラー１０の曲率調整を、非常に細密に進めることができるだけではなく、支持ブロック１３０が設けられた回動ブロック１２０ａ'、１２０ｂ'をベースブロック１１０'に連結する第１の弾性体１２１が、ミラー１０の曲率を調整する時に、ミラー１０に対する支持ブロック１３０の支持点ＳＰが、曲率の変化によるミラー１０の中心点ＭＣの移動方向に対して反対方向に移動することができるように備えられることで、ミラー１０の曲率調整時に、ミラー１０の中心点ＭＣの位置を固定することができるため、ミラー１０の調整過程を簡単且つ容易に進めることができる。

以上で、本発明は、記載された具体例についてのみ詳しく説明されたが、本発明の技術思想の範囲内で多様な変形及び修正が可能であることは、通常の技術者にとっては明白なことであって、このような変形及び修正が添付の特許請求の範囲に属することは、当然のことである。

１００、１００'：曲率調整装置
１１０、１１０'：ベースブロック
１１１：開放口
１１２：リーブ
１１３：支持部材
１２０ａ、１２０ｂ、１２０ａ'、１２０ｂ'：回動ブロック
１２１：第１の弾性体
１２２：ねじ孔
１２３：段差部
１２３-１：締結孔
１３０：支持ブロック
１３１：連結ブロック
１３１-１：長孔
１４０、１４０'：駆動部
１４１：第１の板バネ
１４１-１：連結部材
１４２：第２の板バネ
１４３、１４３'：アクチュエータ
１４３-１：押圧部材
１４３-２（１４３-１）：駆動軸
１４４（１４１）：移送部材
１４５（１４２）：ガイド部
１４５-１（１４２-１）：ガイド軸
１４５-２（１４２-２）：ガイド体
１４６（１４４）：伝達部
１４６-１（１４４-１）：伝達ブロック
１４６-２（１４４-２）：第２の弾性体
１４６-３（１４４-３）：弾性部材
１４６-４（１４４-４）：連結体
１４６-５（１４４-５）：スライド部材
１５０：変位センサ
２００：支持台
２１０：遮断部
２１１：光入射口
２１２：光出射口
２１３：チャンバ
２２０：支持フレーム
３００：位置調整装置
３１０：取付けプレート
４００：角度調整装置
５００：フィードスルー
１０：ミラー
ＨＧ：ヒンジ
ＭＣ：ミラーの中心点
ＲＰ１：第１の回動点
ＲＰ２：第２の回動点
ＳＰ：支持点
ＳＷ：ねじ

Claims

ミラーの両端に曲げ力を印加または解除して曲率を調整する装置において、
ベースブロック；
前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック；
前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック；及び、
前記一対の回動ブロックを回動させる駆動部；を含み、
前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、上部端部が前記ベースブロックに固定され、かつ下部端部が前記回動ブロックに連結され、第１の回動点（ＲＰ１）が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられ、
前記支持ブロックの支持点（ＳＰ）が、前記回動ブロックの回動による前記ミラーの中心点（ＭＣ）の下方移動に対して上方移動されることにより、前記ミラーの中心点が前記ベースブロックに対して変動しないように備えられることを特徴とするミラーの曲率調整装置。
前記回動ブロックと前記第１の弾性体は、前記ベースブロックと一体に形成されることを特徴とする、請求項１に記載のミラーの曲率調整装置。
前記一対の支持ブロックのうちの少なくとも１つは、前記回動ブロックに位置調節可能に固定される連結ブロックを介して前記回動ブロックに設けられることを特徴とする、請求項１に記載のミラーの曲率調整装置。
前記駆動部は、前記一対の回動ブロックをそれぞれ回動させるように一対が備えられ、一端が前記回動ブロックに固定された第１の板バネ；
前記第１の板バネに並んで所定の距離分だけ離隔した状態で前記第１の板バネの他端に固定されるように、連結部材を介して設けられる第２の板バネ；及び、
前記第２の板バネの他端部を前記第１の板バネ側に押圧または解除するアクチュエータ；
をそれぞれ含むことを特徴とする、請求項１に記載のミラーの曲率調整装置。
ミラーの両端に曲げ力を印加または解除して曲率を調整する装置において、
ベースブロック；
前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック；
前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック；及び、
一方向に往復移送するように備えられた移送部材、前記移送部材を移送する単一のアクチュエータ、及び、前記移送部材の両端部にそれぞれ備えられ、前記アクチュエータによる前記移送部材の移送力を前記一対の回動ブロックに伝達し、前記一対の回動ブロックをそれぞれ回動させる一対の伝達部を含んでなる駆動部；を含み、
前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、上部端部が前記ベースブロックに固定され、かつ下部端部が前記回動ブロックに連結され、第１の回動点（ＲＰ１）が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられ、
前記支持ブロックの支持点（ＳＰ）が、前記回動ブロックの回動による前記ミラーの中心点（ＭＣ）の下方移動に対して上方移動されることにより、前記ミラーの中心点が前記ベースブロックに対して変動しないように備えられることを特徴とするミラーの曲率調整装置。
前記一対の伝達部は、前記ベースブロックに１つ以上の第２の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、前記移送部材にヒンジで連結され、前記移送部材の移送力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第２の弾性体の連結部分を中心として回動し、前記回動ブロックに外力を印加するかもしくは弾性復帰する伝達ブロック；
をそれぞれ含むことを特徴とする、請求項５に記載のミラーの曲率調整装置。
前記一対の伝達部は、弾性変形により長さが可変する弾性部材；をそれぞれさらに含み、
前記伝達ブロックは、前記弾性部材を介して前記移送部材に連結されることを特徴とする、請求項６に記載のミラーの曲率調整装置。
前記駆動部は、前記移送部材の移送方向に沿って前記ベースブロックに固定された１つ以上のガイド軸、及び前記１つ以上のガイド軸にそれぞれかみ合って往復移送され、前記移送部材に結合された１つ以上のガイド体を含んで前記移送部材の往復移送を案内するガイド部；
をさらに含むことを特徴とする、請求項５から７のいずれか１項に記載のミラーの曲率調整装置。
前記伝達ブロックと前記回動ブロックのうちのいずれか１つは、前記伝達ブロックが前記回動ブロックに外力を印加するかもしくは弾性復帰する時に、前記回動ブロックとのスライド接触をスムーズにし、前記回動ブロックと前記伝達ブロックとの間隔を所定の設計値に対応するように形成し、前記伝達ブロックまたは前記回動ブロックとの接触部位が曲面であるスライド部材；
を含むことを特徴とする、請求項６に記載のミラーの曲率調整装置。
前記伝達ブロックと前記第２の弾性体は、前記ベースブロックと一体に形成されることを特徴とする、請求項６に記載のミラーの曲率調整装置。
前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、前記ベースブロックの一側に形成された開放口に位置する前記ミラーの反射面に対して直角を成し、前記ベースブロックとの連結部分である第１の回動点が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられることを特徴とする、請求項５から７のいずれか１項に記載のミラーの曲率調整装置。
前記回動ブロックと前記第１の弾性体は、前記ベースブロックと一体に形成されることを特徴とする、請求項５から７のいずれか１項に記載のミラーの曲率調整装置。
前記一対の支持ブロックのうちの少なくとも１つは、前記回動ブロックに位置調節可能に固定される連結ブロックを介して前記回動ブロックに設けられることを特徴とする、請求項５から７のいずれか１項に記載のミラーの曲率調整装置。
ミラーの位置、角度及び曲率を調整するシステムにおいて、
底面に設けられた支持台；
前記支持台に固設され、前記支持台に対して取付けプレートを前後、左右及び上下に移送して傾きを調整する位置調整装置；
前記取付けプレートに固設され、下面に対して上面の回転角度を調整する角度調整装置；及び、
前記角度調整装置の上面に設けられるベースブロック、前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック、前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック、及び前記一対の回動ブロックを回動させる駆動部を含む曲率調整装置；を含み、
前記曲率調整装置の前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、上部端部が前記ベースブロックに固定され、かつ下部端部が前記回動ブロックに連結され、第１の回動点（ＲＰ１）が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられ、
前記支持ブロックの支持点（ＳＰ）が、前記回動ブロックの回動による前記ミラーの中心点（ＭＣ）の下方移動に対して上方移動されることにより、前記ミラーの中心点が前記ベースブロックに対して変動しないように備えられることを特徴とするミラー調整システム。
前記曲率調整装置の前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、前記ベースブロックの一側に形成された開放口に位置する前記ミラーの反射面に対して直角を成し、前記ベースブロックとの連結部分である第１の回動点が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられることを特徴とする、請求項１４に記載のミラー調整システム。
ミラーの位置、角度及び曲率を調整するシステムにおいて、
底面に設けられた支持台；
前記支持台に固設され、前記支持台に対して取付けプレートを前後、左右及び上下に移送して傾きを調整する位置調整装置；
前記取付けプレートに固設され、下面に対して上面の回転角度を調整する角度調整装置；並びに、
前記角度調整装置の上面に設けられるベースブロック、前記ベースブロックに１つ以上の第１の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、外力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第１の弾性体の連結部分を中心として回動または弾性復帰する一対の回動ブロック、前記一対の回動ブロックにそれぞれ設けられて前記ミラーの両端を支持し、前記一対の回動ブロックが回動することにより、前記ミラーの両端に曲げ力を印加する一対の支持ブロック；及び、前記一対の回動ブロックを回動させる駆動部を含むミラーの曲率調整装置；を含み、
前記駆動部は、一方向に往復移送するように備えられた移送部材、前記移送部材を往復移送する単一のアクチュエータ、及び、前記移送部材の両端部にそれぞれ備えられ、前記アクチュエータによる前記移送部材の移送力を前記一対の回動ブロックに伝達し、前記一対の回動ブロックをそれぞれ回動させる一対の伝達部を含んでなり、
前記第１の弾性体は、カンチレバー状で備えられ、上部端部が前記ベースブロックに固定され、かつ下部端部が前記回動ブロックに連結され、第１の回動点（ＲＰ１）が、正面から見るときに、前記ミラーの反射面上または前記ミラーの反射面に隣接するように備えられ、
前記支持ブロックの支持点（ＳＰ）が、前記回動ブロックの回動による前記ミラーの中心点（ＭＣ）の下方移動に対して上方移動されることにより、前記ミラーの中心点が前記ベースブロックに対して変動しないように備えられることを特徴とする、ミラー調整システム。
前記一対の伝達部は、前記ベースブロックに１つ以上の第２の弾性体を介してそれぞれ連結されて備えられ、前記移送部材にヒンジで連結され、前記移送部材の移送力が印加または解除されることにより、前記ベースブロックと前記第２の弾性体の連結部分を中心として回動し、前記回動ブロックに外力を印加するかもしくは弾性復帰する伝達ブロック；
をそれぞれ含むことを特徴とする、請求項１６に記載のミラー調整システム。
前記一対の伝達部は、弾性変形により長さが可変する弾性部材；をそれぞれさらに含み、
前記伝達ブロックは、前記弾性部材を介して前記移送部材に連結されることを特徴とする、請求項１７に記載のミラー調整システム。