JP2001059896A - 放射光ビームライン分光器 - Google Patents

放射光ビームライン分光器

Info

Publication number
JP2001059896A
JP2001059896A JP11235221A JP23522199A JP2001059896A JP 2001059896 A JP2001059896 A JP 2001059896A JP 11235221 A JP11235221 A JP 11235221A JP 23522199 A JP23522199 A JP 23522199A JP 2001059896 A JP2001059896 A JP 2001059896A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal plate
beam line
synchrotron radiation
radiation beam
sagittal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11235221A
Other languages
English (en)
Inventor
Motoharu Marushita
元治 丸下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP11235221A priority Critical patent/JP2001059896A/ja
Publication of JP2001059896A publication Critical patent/JP2001059896A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 結晶板の中央反射面のずれをなくして高精度
な定位置出射及びサジタル集光を行うことができる新規
な放射光ビームライン分光器の提供。 【解決手段】 放射光ビームラインを反射させて分光す
る矩形状の結晶板1の両端をそれぞれ上下一対のホール
ドローラ2で支持すると共に、これら上下一対のホール
ドローラ2をそれぞれ斜め上方に回動させて上記結晶板
1の両端を起立させるように曲げるようにした放射光ビ
ームライン分光器において、上記結晶板1の中央下面に
支持部材12を備える。これによって、結晶板1の中央反
射面のずれがなくなり、高精度な定位置出射及びサジタ
ル集光を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シンクロトロン放
射光のビームラインの分光分析を行うための放射光ビー
ムライン分光器に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
シンクロトロン放射光等のビームラインに対してサジタ
ル集光を行い、かつ定位置出射を行うためには、例え
ば、図4に示すような4点ホールド式の放射光ビームラ
イン分光器が用いられている。
【0003】この放射光ビームライン分光器(以下、分
光器と称す)は、図4に示すように、高純度のシリコン
やゲルマニウム等からなる矩形状の結晶板1と、この結
晶板1の両端をそれぞれ上下から4点支持するための上
下一対のホールドローラー2,2,2,2と、このホー
ルドローラー2,2,2,2を上下一対ずつ回転自在に
軸支する断面コ字状の結晶板受け台3,3と、この結晶
板1の直下に位置する昇降テーブル4と、この昇降テー
ブル4を昇降自在に支持するベースプレート5と、この
昇降テーブル4の中央部にその下部から螺合する送りね
じ6と、この送りねじに設けられたウォームホイール7
と、このウォームホイール7を回転するステッピングモ
ータ8と、このベースプレート5を固定してその角度を
調整する基台9とから主に構成されている。
【0004】そして、図5に示すように、ステッピング
モータ8を駆動してウォームホイール7及び送りねじ6
を回転させて昇降テーブル4を上昇させると、この昇降
テーブル4の両端上面に位置する昇降シャフト10,1
0が上昇し、その上に載っている結晶板受け台3,3が
持ち上げられることになる。この結晶板受け台3,3
は、図示するように、その下部中央側がそれぞれ固定シ
ャフト11,11を軸として揺動自在となっていること
から、この結晶板受け台3,3が固定シャフト11,1
1を軸として上方に持ち上がるように揺動することによ
り、図6に示すように、結晶板1の両端が上方に起立す
るように凹面状に曲げられ、これによって結晶板1上面
に入射された放射光ビームラインのサジタル集光及び定
位置出射が行なわれるようになっている。
【0005】すなわち、ホールドローラー2,2,2,
2による4点ホールドでそのまま結晶板1を曲げた場
合、図7(B)に示すように、その曲げ中心がその結晶
板1の中央部から外側になるため、その反力によって結
晶板1の中心部の反射面が下方に撓んでしまい、出射位
置が当初より下方にずれてしまう。そのため、従来の分
光器では、図6(B)に示すようにホールドローラー
2,2,2,2全体が固定シャフト11,11を軸とし
て上方に移動して結晶板1全体を持ち上げ、曲げ中心が
上方になるようにすることでこの出射位置のずれを無く
して図7(A)に示すように定位置出射を達成するよう
な構造となっている。
【0006】しかしながら、このような作用は、ホール
ドローラー2,2,2,2が結晶板1の表面をスムーズ
に転がることが前提となっているが、実際、この結晶板
1の曲率は極めて小さいことからホールドローラー2,
2,2,2が結晶板1の表面をスムーズに転がることは
困難であり、その結果、図7(B)に示すようにその結
晶板1の中心部が定位置よりも下方にずれて(撓んで)
しまい、良好な定位置出射を行うことができないといっ
た問題があった。
【0007】そこで、本発明はこのような課題を有効に
解決するために案出されたものであり、その目的は、結
晶板の中央反射面のずれをなくして高精度な定位置出射
及びサジタル集光を行うことができる新規な放射光ビー
ムライン分光器を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、放射光ビームラインを反射させて分光する
矩形状の結晶板の両端をそれぞれ上下一対のホールドロ
ーラで4点支持すると共に、これら上下一対のホールド
ローラをそれぞれ斜め上方に回動させて上記結晶板の両
端を起立させるように凹面状に曲げてサジタル集光及び
定位置出射を行うようにした放射光ビームライン分光器
において、上記結晶板を曲げた時にその中央部の反射面
の降下を防止すべくその結晶板の中央下面に支持部材を
備えたものである。
【0009】このため、結晶板の曲げ初期において、ホ
ールドローラが結晶板の表面を転がり難く、結晶板の中
心部を下方に押し下げるような反力が働いたとしても、
結晶板の中央部下面が支持部材によって支えられている
ことにより、その結晶板の中心部が下方にずれるような
ことはない。
【0010】従って、結晶板の中央部の反射面の位置が
常に一定となるため、良好な定位置出射及びサジタル集
光を行うことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明を実施する好適一形
態を添付図面を参照しながら説明する。
【0012】図1は、本発明に係る放射光ビームライン
分光器の実施の一形態を示したものであり、その構成
は、結晶板1の中央下面に支持部材12を設けると共に
この結晶板1の両端面にプランジャー15,15を当接
させて設けた他は上述した従来の放射光ビームライン分
光器と全く同様である。
【0013】すなわち、本発明に係る放射光ビームライ
ン分光器は、結晶板1の中央下面にこれを横断するよう
に位置するロッド状の支持部材12を備えたものであ
る。そして、この支持部材12は、結晶板1の中央下面
に接する水平ロッド13と、この水平ロッド13をベー
スプレート1側から支持する支持ロッド14から構成さ
れており、結晶板1の中央部の降下を規制するようにな
っている。
【0014】従って、図2及び図3に示すように、結晶
板1の両端を起立させるように結晶板1全体を凹面状に
曲げた際に、結晶板1の曲げ中心から中央の部分が下方
に移動するような反力が働くことになるが、この支持部
材12によって結晶板1の中央部の降下が規制されてい
ることから、結晶板1の中央部が降下することがなくな
る。この結果、結晶板1の中央反射面の位置が曲げ前と
全く変化しなくなるため、曲げ前と曲げ後に拘わらず常
に高精度な定位置出射を行うことが可能となる。
【0015】一方、この曲げ反力による結晶板1の中央
部の降下を規制することにより、その応力が結晶板1の
曲げ中心側に分散し、曲げ中心の位置を押し下げるよう
な応力となるが、結晶板1自体の弾性力によってその応
力が幅方向の伸びとなるため、結果的にホールドローラ
ー2,2,2,2が強制的に結晶板1の表面を転がって
その伸びを許容することとなる。この結果、ホールドロ
ーラー2,2,2,2が確実に結晶板1の表面を転がっ
て相対変位を許容することになるため、結晶板1の曲率
の不均一などといった不都合を招くことはない。
【0016】また、この本発明に係る放射光ビームライ
ン分光器は、図示するように、ホールドローラー2,
2,2,2が設けられる結晶板受け台3,3内にそれぞ
れプランジャー15,15を設け、これらプランジャー
15,15を結晶板1の両端面に当接させるようにして
いる。すなわち、このプランジャー15,15は、例え
ば、金属球とスプリングからなるボールプランジャー等
が用いられ、その先端の金属球が結晶板1の両端面に常
時当接し、これを中心方向に押しつけることで、結晶板
1を曲げたときのサジタル円弧を長くすることで高精度
なサジタル集光が達成されることになる。
【0017】このように本発明は、比較的簡単な構成で
結晶板1の中央部の降下を規制することが可能となるた
め、結晶板1の中央部の反射面の位置が常に一定とな
り、高精度な定位置出射が行えると共に、結晶板1を曲
げたときのサジタル円弧を長くすることができるため、
良好なサジタル集光を行うことができる。
【0018】尚、本実施の形態では、支持部材12とし
てロッド状のものを用いたが、この支持部材12の形態
は結晶板1の中央部の降下を規制でき、かつ、昇降テー
ブル4の昇降や結晶板受け台3の回動と干渉しないもの
であればこれに限定されるものでなく、例えば結晶板1
と水平に位置する平板状のもの等であっても良い。
【0019】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、以下に示
すような優れた効果を発揮することができる。
【0020】結晶板を曲げた際にその中央部の反射面
のずれ(降下)を防止することができるため、曲げ前後
の定位置出射を達成することができる。
【0021】放射光に対する高精度のサジタル集光も
同時に行うことができるため、分光器の精度と信頼性を
高めることができる。
【0022】比較的簡単な構成であるため、製造コス
トも安価となる。
【0023】また、従来の分光器の構成をそのまま利
用することができるため、既存の分光器への適用も容易
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る放射光ビームライン分光器の実施
の一形態を示す断面図である。
【図2】図1中A部を示す部分拡大図である。
【図3】図2中X−X線断面図である。
【図4】従来の放射光ビームライン分光器を示す断面図
である。
【図5】従来の放射光ビームライン分光器の作用を示す
概念図である。
【図6】従来の放射光ビームライン分光器の作用を示す
概念図である。
【図7】(A)は、理想的な結晶板の曲げ状態を示す概
念図である。(B)は、実際の結晶板の曲げ状態を示す
概念図である。
【符号の説明】
1 結晶板 2 ホールドローラー 3 結晶板受け台 4 昇降テーブル 5 ベースプレート 6 送りねじ 7 ウォームホイール 8 ステッピングモータ 12 支持部材 15 プランジャー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 放射光ビームラインを反射させて分光す
    る矩形状の結晶板の両端をそれぞれ上下一対のホールド
    ローラで4点支持すると共に、これら上下一対のホール
    ドローラをそれぞれ斜め上方に回動させて上記結晶板の
    両端を起立させるように凹面状に曲げてサジタル集光及
    び定位置出射を行うようにした放射光ビームライン分光
    器において、上記結晶板を曲げた時にその中央部の反射
    面の位置降下を防止すべくその結晶板の中央下面に支持
    部材を備えたことを特徴とする放射光ビームライン分光
    器。
  2. 【請求項2】 上記結晶板のホールドローラで支持され
    る両端面に、この結晶板を湾曲させたときのサジタル円
    弧を長くするためにそれぞれプランジャを押し当てて設
    けたことを特徴とする請求項1に記載の放射光ビームラ
    イン分光器。
JP11235221A 1999-08-23 1999-08-23 放射光ビームライン分光器 Pending JP2001059896A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11235221A JP2001059896A (ja) 1999-08-23 1999-08-23 放射光ビームライン分光器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11235221A JP2001059896A (ja) 1999-08-23 1999-08-23 放射光ビームライン分光器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001059896A true JP2001059896A (ja) 2001-03-06

Family

ID=16982887

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11235221A Pending JP2001059896A (ja) 1999-08-23 1999-08-23 放射光ビームライン分光器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001059896A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2685461A2 (en) * 2011-03-08 2014-01-15 Postech Academy-industry Foundation Device for adjusting curvature of mirror, and mirror adjustment system comprising same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2685461A2 (en) * 2011-03-08 2014-01-15 Postech Academy-industry Foundation Device for adjusting curvature of mirror, and mirror adjustment system comprising same
EP2685461A4 (en) * 2011-03-08 2014-08-20 Postech Acad Ind Found DEVICE FOR ADJUSTING THE BOLT OF A MIRROR AND MIRROR ADJUSTING SYSTEM COMPRISING THE SAME

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100744215B1 (ko) 기판 열처리 장치
TWI277836B (en) Method and apparatus for forming pattern on thin-substrate or the like
JPS587688A (ja) Crtディスプレイ端末用傾斜台座装置
JP3322167B2 (ja) マスク保持フレームの支持構造
JP2001267401A (ja) 基板の方向を調整する方法及び装置
JP2001059896A (ja) 放射光ビームライン分光器
US6359741B1 (en) Adjusting device for attitude and position of optical elements
JP2002113657A (ja) ワーク研削用治具
US6948821B2 (en) Mirror for reflecting electromagnetic radiation as well as illumination and imaging method employing the same
US6561486B2 (en) Motorized support jack
JP2002131490A (ja) 集光形分光器
JP2002366047A (ja) ディスプレイ装置用の画面角度調整装置
JP3661910B2 (ja) ガラス製品の基準面出し装置
JPH0778860A (ja) 基板搬送装置
JP2003148951A (ja) 表面粗さ測定方法および測定装置
JPS61214518A (ja) 電子ビ−ム描画装置の試料載置装置
CN117832148B (zh) 一种晶圆平台
KR100502142B1 (ko) 마스크보존프레임의지지구조
JP2008275468A (ja) 測定方法及び測定冶具
JP2000072241A (ja) ターンテーブル装置
JP3654698B2 (ja) 位置調整装置および液晶プロジェクタ装置
JP2004104001A (ja) 試料移動機構
JPH0637892Y2 (ja) 砥石保持装置
JP2000146504A (ja) 製品の歪み・平面度測定用製品支持具
KR200150523Y1 (ko) 브라운관의 패널위치 세팅장치