JP6014321B2 - 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
炭化珪素半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6014321B2 JP6014321B2 JP2011263674A JP2011263674A JP6014321B2 JP 6014321 B2 JP6014321 B2 JP 6014321B2 JP 2011263674 A JP2011263674 A JP 2011263674A JP 2011263674 A JP2011263674 A JP 2011263674A JP 6014321 B2 JP6014321 B2 JP 6014321B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- semiconductor device
- carbide semiconductor
- film
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
SiC単結晶基板やSiCエピタキシャル膜に欠陥を有するSiCエピタキシャルウェハを用いてデバイスを作製すると、耐圧低下やリーク電流の増大等を招いてしまう。従って、SiCエピタキシャルウェハにおいて欠陥を有さない部分に形成したデバイスと、欠陥を有する部分に形成したデバイスとを識別する必要がある。
また、基板やエピタキシャル膜に欠陥がない場合でも、SiCデバイスの作製時に欠陥あるいは不良箇所が形成されてしまう場合もある。
非特許文献1では、PEMを用いてSiCのpinダイオードの欠陥評価の結果が示されている。
また、特許文献1に示すような発熱解析法では、欠陥部位の発熱を金属電極を介して観察したり、または、その上の液晶を通して観察するので、金属や液晶の熱伝導により横方向に広がり、高分解能で欠陥の位置情報を得ることは困難であった。
(1)炭化珪素基板と、前記炭化珪素基板上に形成されたn型炭化珪素層と、前記n型炭化珪素層の表面近傍に形成されたp型不純物領域と、前記p型不純物領域及び前記n型炭化珪素層上に形成された透明導電膜からなるショットキー電極と、を備えたことを特徴とする炭化珪素半導体装置。
(2)前記透明導電膜がITO、IZO、SnO2、IFO、ATO、FTO、ZnO、及び、CTOの群から選択されたいずれかからなることを特徴とする(1)に記載の炭化珪素半導体装置。
(3)前記透明導電膜の膜厚が50〜1000nmであることを特徴とする(1)又は(2)のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置。
(4)炭化珪素基板上にn型炭化珪素層を形成する工程と、前記n型炭化珪素層の表面近傍にp型不純物領域を形成する工程と、前記p型不純物領域及び前記n型炭化珪素層上に透明導電膜からなるショットキー電極を形成する工程と、を有する、ことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。
本明細書において、SiC単結晶基板上に薄膜を形成したものをウェハということがあり、また、炭化珪素半導体装置の完成前の構造体についても炭化珪素半導体装置ということがある。
図1に、本発明の炭化珪素半導体装置の一例の断面模式図を示す。
図1に示す炭化珪素半導体装置100は、炭化珪素基板1と、炭化珪素基板1上に形成されたn型炭化珪素層2と、n型炭化珪素層2の表面近傍に形成されたp型不純物領域5と、p型不純物領域5及びn型炭化珪素層2上に形成された透明導電膜からなるショットキー電極11と、を備えている。
また、ショットキー電極11上にはおもて面パッド電極12、おもて面パッド電極12の端部12cのみを覆うようにパッシベーション膜13を備え、炭化珪素基板1の裏面には裏面オーミック電極10、裏面パッド電極14を順に備えている。
なお、p型不純物層は透明導電膜ショットキー電極の周辺に、例えば、リング状に配置される。このp型不純物層は、ショットキー電極に逆方向の電圧をかけた場合に、ブレークダウンしやすいシットキー電極周辺に配置しておくことで、その逆方向の耐圧を上げることができる。
p型不純物領域5は、n型エピタキシャル層(n型炭化珪素層)2に例えば、不純物としてアルミニウムがイオン注入することにより形成することができる。
次に、本発明の一実施形態である炭化珪素半導体装置の製造方法について、図面を用いて説明する。
まず、図2に示すように、SiC単結晶基板(炭化珪素基板)1上にn型エピタキシャル層(n型炭化珪素層)2を形成する。なお、以下の説明において、SiC単結晶基板1のn型エピタキシャル層2側をおもて面1a、その反対側を裏面1bという。
次に、n型エピタキシャル層(n型炭化珪素層)2上を清浄化するために洗浄するのが好ましい。洗浄としては例えば、硫酸+過酸化水素、水酸化アンモニウム+過酸化水素、塩酸+過酸化水素、フッ酸水溶液等を用いていわゆるRCA洗浄を行う。
次に、n型エピタキシャル層2の表面を保護するために、表面に酸化膜を形成する。その後、SiC単結晶基板1の裏側のみ、ドライエッチングもしくはCMP研磨等により、n型エピタキシャル層2の形成時に生成した変性層3を取り除く。
図3は、裏面の変性層を除去した時点の状態を示す断面工程図である。
次に、図4に示すように、素子パターンの形成のために、n型エピタキシャル層2の素子形成領域以外に、位置決めマーカー4を形成する。
具体的には例えば、フォトリソグラフィー法で、ステッパーおよびコーターデベロッパーを用いてレジストをパターニングし、ドライエッチングにより、n型エピタキシャル層2の所定の位置に所定の形状の溝(位置決めマーカー)を形成する。最後にレジストを有機洗浄により除去する。
次に、n型エピタキシャル層2上に例えば、酸化膜(SiO2)からなる不純物注入用のマスク(図示せず)を形成する。このマスクは、ステッパーおよびコーターデベロッパーを用いたフォトリソグラフィーによりパターニングして、n型エピタキシャル層2の表面を覆い、不純物注入によってp型不純物領域5を形成しようとする領域に開口部を有するように形成する。そして、この開口部から露出するn型エピタキシャル層2の表面層にp型領域を形成するための不純物、例えばアルミニウム(Al)イオンを加速電圧(エネルギー)および打ち込み量を例えば、数段階制御する。具体的には例えば、加速電圧を240kV,150kV,95kV,55kV,27kV,10kVとした合計6段のイオン注入を行ない(6段注入法)、約0.3μmの深さまで均一な濃度分布に打ち込む。こうして、p型不純物領域5を形成する。
その後、フッ化水素(HF)処理により、酸化膜(SiO2)マスクを除去する。
図5は、酸化膜(SiO2)マスクを除去した時点の状態を示す断面工程図である。
次に、図6に示すように、高温度の活性化アニール処理(活性化熱処理)による表面荒れ及びバンチング、さらに基板の反りを抑制するために、ウェハのおもて面および裏面に保護膜として炭化膜6f及び6rを形成する。
具体的には、まず、酸化膜(SiO2)マスクを除去したウェハをRCA洗浄した後、コーターデベロッパーにてレジストをウェハのおもて面および裏面に塗布し、クリーンオーブン中で予備ベーキングにより約5μm程度の膜とする。これを、Ar雰囲気中で800℃程度で10分間程度保持して炭化し、ウェハのおもて面および裏面に炭化膜を形成する。
保護膜としての炭化膜は、スパッタ法またはCVD法による炭化膜、あるいは高周波プラズマCVD法などによるDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜などを用いることもできる。
CVD法によって炭化膜を形成する場合は、最初にウェハのおもて面側を気相反応雰囲気側(プラズマ雰囲気側)に向け、裏面側を基板載置側に接するように設置して、おもて面側に炭化膜を成膜する。その後、基板を反転して、裏面側を気相反応雰囲気側(プラズマ雰囲気側)に向け、おもて面側を基板載置側に接するように設置し、裏面側に成膜する。
次に、注入した不純物(例えば、Al)が電気的キャリアとして作用するようにするために、炭化膜を両面の保護膜としてウェハを活性化熱処理(アニール)して不純物ドープ領域を形成する。活性化熱処理は、1×10―2Pa未満の真空アニール方式によって行うのが好ましい。
加熱温度は、1600〜2000℃の範囲が好ましく、1700〜1900℃の範囲がより好ましく、1700〜1850℃の範囲がもっとも好ましい。加熱温度が1600℃未満であると、注入した不純物の活性化が不十分となり好ましくない。また、2000℃を超えると保護膜があってもウェハの表面が炭化して表面が荒れる可能性があるため好ましくない。
次に、保護膜として用いた炭化膜6f及び6rを除去する。炭化膜の除去は、酸素雰囲気の熱酸化により炭化膜を灰化して除去する。
具体的には、熱酸化炉内に基板を設置し、例えば、流量3.5L/minの酸素を供給して1125℃で90分間加熱する条件を用いることによって、n型エピタキシャル層2及びp型不純物領域5の上の炭化膜6f及びウェハ裏面の炭化膜6rを除去することができる。次いで、フッ化水素(HF)処理により、表面酸化層を除去する。
図7は、炭化膜6f及び6rを除去した時点の状態を示す断面工程図である。
本実施形態では、アルミニウムの活性化率は約80%であり、十分な活性化が行なわれる。このような保護膜除去工程により、高い活性化率のp型不純物領域5を有すると共に表面が平滑なウェハを製造することができる。
また、本実施形態においては、熱酸化を利用して炭化膜を除去したが、酸素を用いたプラズマ処理やオゾン処理によっても、炭化膜を除去することができる
次に、電極形成時の表面保護のために、ウェハのおもて面に熱酸化膜(SiO2)9fを形成する。
具体的にはまず、ウェハをRCA洗浄後、酸素雰囲気中で1200℃程度で約30分間保持して、犠牲酸化として、20nm程度の熱酸化膜(SiO2)を形成する。これは、ウェハ表面清浄化を目的とするものであり、その後、そのままフッ化水素(HF)処理により、除去する。
次に、ウェハをRCA洗浄後、酸素雰囲気中で1200℃程度で2時間程度保持し、保護膜として50nm程度の熱酸化膜9fを形成する。この際に、ウェハ裏面にも、熱酸化膜9rが形成される。
図8は、熱酸化膜9f及び熱酸化膜9rを形成した時点の状態を示す断面工程図である。
次に、ウェハの裏側すなわち、SiC単結晶基板1の裏側に、裏面オーミック電極10を形成する。
具体的にはまず、コーターデベロッパーでウェハのおもて面にレジストを塗布して保護した後、フッ酸処理で裏面の熱酸化膜9rを除去する。
次に、例えば、スパッタ法または蒸着法で、SiC単結晶基板1の裏面に、例えば、Niからなる金属膜を100nm程度形成する。
次に、熱処理(例えば、950℃の熱処理)を不活性ガス雰囲気または真空中で3分間程度行って、SiC単結晶基板とオーミックコンタクトをする裏面オーミック電極10とする。これにより、裏面オーミック電極10は、SiCとNiの反応層が形成されることにより、SiC単結晶基板1の裏面と良好なオーミックコンタクトを形成する。
図9は、裏面オーミック電極10を形成した時点の状態を示す断面工程図である。
次に、p型不純物領域5及びn型エピタキシャル層2上に、透明導電膜からなるショットキー電極11を形成する。
次に、コーターデベロッパーおよびステッパーを用いたフォトリソグラフィーによりレジストを保護膜としたショットキー電極パターンを形成し、ITO膜を溶解するエッチング液を用いたウェットエッチングによって、ITOからなるショットキー電極11を形成する。その後、レジストをアセトンやIPAなどの有機溶剤により除去する。
最後に、紫外および可視光に対する透過率の向上および導電性の向上、さらに電気特性の安定なショットキーバリア形成のための熱処理を行う。透過率の向上は、フォトルミネッセンス(PL)測定を可能にし、欠陥との対応をより詳細に解析できる利点がある。熱処理は例えば、アルゴン雰囲気下で400〜600℃の温度で1〜60分間行うことが好ましい。
こうして、ウェハ上の多数の炭化珪素半導体装置(完成前)のそれぞれについて、透明導電膜からなるショットキー電極11を形成する。
図11は、ショットキー電極11を形成した時点の状態を示すものである。
このウェハは、ショットキー電極としてITO膜を500nm形成したものである。S1〜S6は各炭化珪素半導体装置(完成前)を示すものである。S1の周囲に配置して観察される十字マーク、及び、S1とS2との間の長方形マークは、複数枚のフォトリソマスクの位置を重ね合わせるためのマーキングである。ITO膜とn型エピタキシャル層との界面だけでなく、ITO膜を介して裏面オーミック電極までが透けて見えているのがわかる。
欠陥がない炭化珪素半導体装置については、順バイアス電圧が0.4V程度まで10−12A程度だった順方向電流がそれ以上の電圧で上昇し、ショットキー障壁を有することに起因するショットキー接合特有のIV特性が得られていることがわかる。これにより、裏面オーミック電極とITO膜からなるショットキー電極との間に、通常の金属からなるショットキー電極の場合と同様な、ショットキー電極が形成されていることが確認できた。
また、欠陥(ダウンフォール(DF)及び三角欠陥)を有する炭化珪素半導体装置については、ショットキー接合特有のIV特性が得られておらず、このIV特性からも欠陥の有無を確認することができる。
欠陥がない炭化珪素半導体装置の場合に比べて、ダウンフォール及び三角欠陥を有する炭化珪素半導体装置は、5桁以上の高い逆方向電流が流れ、このIV特性からも欠陥の有無を確認することができる。
平均すると、Φbとして1.43eV、n値として1.04が得られた。なお、通常の金属のショットキー電極の場合は、Φbは1.0〜1.6eV程度である。
次に、炭化珪素基板の裏面に備える裏面オーミック電極(裏面電極)とITO膜からなるショットキー電極との間に逆バイアス電圧を印加することによって発生する発光を透明導電膜を介して検出することによって、炭化珪素半導体装置が有する欠陥の有無を検査する。
また、 図17は、図16A〜図16Cで示した像を得るために用いた、フォトエミッション顕微鏡(PEM)を含むシステムの概略と、それを用いてPEM像を得るところを摸式的に示す図である。図19において、符号21は光学顕微鏡、符号21aは対物レンズ、符号22は光検出器、符号23はCCDカメラ、符号24は画像処理装置、符号25はモニター、符号30はプローブである。
このように、本発明の製造方法を用いてウェハ上に、ショットキー電極及び裏面オーミック電極を形成した段階の炭化珪素半導体装置について、裏面オーミック電極とショットキー電極との間に逆バイアス電圧を印加することによりその炭化珪素半導体装置に内在する欠陥に対応する位置において、発光を観察することができる。この発光の有無から、炭化珪素半導体装置が有する欠陥の有無を調べることができる。すなわち、ショットキー界面に欠陥が存在する場合、逆バイアスを印加しても通常はほとんど流れない電圧で電流が流れてしまう。そして、この電流に起因して生ずる発光現象に基づいて欠陥の検出が可能となる。また、発光の位置から、炭化珪素半導体装置内の欠陥の位置を特定することができる。
なお、フォトエミッション顕微鏡(PEM)法を用いて発光の有無から炭化珪素半導体装置が有する欠陥の有無を調べる場合、発熱解析法と比較すると、ITO等の透明導電膜は一般に金属より熱伝導率が低いため、発熱点からの横方向への熱拡散が小さく、より高い分解能で欠陥の位置を特定することが可能となる。
次に、ショットキー電極11上に、おもて面パッド電極12を形成する。
次に例えば、スパッタ法又は蒸着法で、窓部を形成したレジスト上に例えば、ショットキー電極を構成する透明導電膜にオーミックコンタクトする金属例えば、ITO膜の場合Crなどの金属を介してその上にTi,Al,Au,Agなどの金属膜を形成する。
次に、そのレジストを除去(リフトオフ)することにより、窓部に形成された金属膜のみをショットキー電極を覆うように残すことができる。
これにより、ショットキー電極に接続されたおもて面パッド電極12を形成する。
図18は、この時点の状態を示す断面工程図である。
次に、おもて面パッド電極12上に、パッシベーション膜13を形成する。
次に、フォトリソグラフィーにより、パターン化されたパッシベーション膜10を形成する。次いで、窒素雰囲気中で熱処理を行ってパッシベーション膜13を硬化させる。
図19は、この時点の状態を示す断面工程図であって、おもて面パッド電極12の表面の一部が露出され、おもて面パッド電極12の端部12cのみを覆うようにパッシベーション膜13が形成されている。
次に、裏面オーミック電極10上に、裏面パッド電極14を形成する。
図20は、この時点の状態を示す断面工程図である。
次に、ウェハに作製された炭化珪素半導体装置ごとに、ダイシングして個片化する。
図21は、この時点の状態を示す断面工程図である。
2 n型エピタキシャル層(n型炭化珪素層)
5 p型不純物領域
10 裏面オーミック電極
11 ショットキー電極11
100 ショットキーバリアダイオード(炭化珪素半導体装置)
Claims (7)
- 炭化珪素基板と、
前記炭化珪素基板上に形成されたn型炭化珪素層と、
前記n型炭化珪素層の表面近傍に形成されたp型不純物領域と、
前記p型不純物領域及び前記n型炭化珪素層上に形成された透明導電膜からなるショットキー電極と、
前記ショットキー電極上に形成されたおもて面パッド電極と、を備えたことを特徴とする炭化珪素半導体装置。 - 前記透明導電膜がITO、IZO、SnO2、IFO、ATO、FTO、ZnO、及び、CTOの群から選択されたいずれかからなることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記透明導電膜の膜厚が50〜1000nmであることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記おもて面パッド電極がTi、Al、Au、Agの金属膜であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記おもて面パッド電極と前記ショットキー電極との間に、Cr金属が介されていることを特徴とする請求項4に記載の炭化珪素半導体装置。
- 炭化珪素基板上にn型炭化珪素層を形成する工程と、
前記n型炭化珪素層の表面近傍にp型不純物領域を形成する工程と、
前記p型不純物領域及び前記n型炭化珪素層上に透明導電膜からなるショットキー電極を形成する工程と、
前記ショットキー電極上に、おもて面パッド電極を形成する工程と、
を有する、ことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ショットキー電極を形成する工程の前に、前記炭化珪素基板の前記n型炭化珪素層と反対側の表面に裏面電極を形成する工程を有し、
前記透明導電膜からなるショットキー電極を形成する工程と前記おもて面パッド電極を形成する工程との間に、前記裏面電極と前記ショットキー電極との間に逆バイアス電圧を印加することによって発生する発光を、前記透明導電膜を介して検出する欠陥検査工程を有することを特徴とする請求項6に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011263674A JP6014321B2 (ja) | 2011-12-01 | 2011-12-01 | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011263674A JP6014321B2 (ja) | 2011-12-01 | 2011-12-01 | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013118213A JP2013118213A (ja) | 2013-06-13 |
JP6014321B2 true JP6014321B2 (ja) | 2016-10-25 |
Family
ID=48712597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011263674A Expired - Fee Related JP6014321B2 (ja) | 2011-12-01 | 2011-12-01 | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6014321B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6136731B2 (ja) * | 2013-08-06 | 2017-05-31 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体基板およびその製造方法、ならびに炭化珪素半導体装置の製造方法 |
CN106104780B (zh) | 2014-03-06 | 2018-12-21 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置以及其试验方法 |
US11125803B2 (en) | 2016-09-01 | 2021-09-21 | Mitsubishi Electric Corporation | Method of measuring semiconductor device by applying voltage to the semiconductor device using probe needle |
JP7153268B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-10-14 | 昭和電工株式会社 | 欠陥識別方法、SiCエピタキシャルウェハの評価方法及びSiCエピタキシャルウェハの製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06112525A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Nisshin Steel Co Ltd | 発光デバイス用ヘテロ接合素子 |
JP3856729B2 (ja) * | 2001-06-04 | 2006-12-13 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006228929A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Nagoya Institute Of Technology | 紫外線検出素子 |
-
2011
- 2011-12-01 JP JP2011263674A patent/JP6014321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013118213A (ja) | 2013-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5443908B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6014321B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 | |
JPWO2009088081A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5975627B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法及びその検査方法、並びに、炭化珪素半導体ウェハの製造方法及びその検査方法 | |
JP6585799B1 (ja) | SiC基板の評価方法及びSiCエピタキシャルウェハの製造方法 | |
KR101692000B1 (ko) | SiC 전력 반도체 소자용 열산화막의 제조 방법 및 SiC 전력 반도체 소자의 제조 방법 | |
TW201350881A (zh) | 半導體基板之評價方法、評價用半導體基板、半導體裝置 | |
JP5343721B2 (ja) | シリコン基板の評価方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP5099024B2 (ja) | エピタキシャルウエーハの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP5967019B2 (ja) | 半導体ウェーハの評価方法 | |
JP5615251B2 (ja) | 結晶欠陥検出方法、炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP5561245B2 (ja) | 半導体基板の評価方法 | |
JP5652379B2 (ja) | 半導体基板の評価方法および評価用半導体基板 | |
JP2020013939A (ja) | SiCデバイスの製造方法および評価方法 | |
US9761453B2 (en) | Method for manufacturing a silicon carbide semiconductor element | |
JP2011134815A (ja) | ショットキーダイオードと製造方法と製造装置 | |
CN112242451B (zh) | 半导体器件 | |
JP2008244056A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP5463884B2 (ja) | 半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法 | |
JP4501450B2 (ja) | シリコンウェーハの評価方法 | |
JP5670303B2 (ja) | イオン注入機の基板保持具の劣化判定方法 | |
JP2022115642A (ja) | シリコン単結晶のdlts評価方法 | |
JP2021150543A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20180277453A1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP2005209964A (ja) | 半導体ウェーハの評価方法及び評価用ウェーハ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160302 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160830 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6014321 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |