JP5996587B2 - 無機偏光板及びその製造方法 - Google Patents
無機偏光板及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5996587B2 JP5996587B2 JP2014169274A JP2014169274A JP5996587B2 JP 5996587 B2 JP5996587 B2 JP 5996587B2 JP 2014169274 A JP2014169274 A JP 2014169274A JP 2014169274 A JP2014169274 A JP 2014169274A JP 5996587 B2 JP5996587 B2 JP 5996587B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- polarizing plate
- layer
- inorganic polarizing
- metal layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/12—Gaseous compositions
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/08—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of polarising materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0136—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour for the control of polarisation, e.g. state of polarisation [SOP] control, polarisation scrambling, TE-TM mode conversion or separation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133528—Polarisers
- G02F1/133548—Wire-grid polarisers
Description
また、特許文献2には、アルミニウムを塩素プラズマにより除去すると記述されているが、通常そのようにエッチングした場合には、アルミニウムパターンの側壁に塩化物が付着する。市販のウエットエッチング液(例えば、東京応化工業のSST−A2)により塩化物の除去が可能であるが、アルミニウム塩化物に反応するこのような薬液は、アルミニウムにもエッチング速度は遅いながらも反応はするので、述べられているような方法で所望のパターン形状を実現することは難しい。
さらに、特許文献2には、別な方法として、パターン化されたフォトレジスト上に斜め成膜によりアルミニウムを堆積し、フォトレジストを除去する方法が記述されている(段落[0045]、[0047])。しかし、このような方法では、基板とアルミニウムとの密着性を得るために、ある程度基板面にもアルミニウムを堆積する必要があるものと考えられる。しかし、これは堆積したアルミニウム膜の形状が段落[0015]に記述されている適当な形状である扁長の楕円体を含む扁長の球体とは異なることを意味する。また、段落[0047]には、表面に垂直な異方性エッチングにより過沈積分を除去すると記述されている。偏光板として機能させるには、アルミニウムの形状異方性は極めて重要である。従って、レジスト部と基板面とに堆積するアルミニウムの量をエッチングにより所望の形状が得られるように調整する必要があると考えられるが、段落[0047]に記述されているような0.05μmというサブミクロン以下のサイズでこれらを制御することは非常に困難と考えられ、生産性の高い製作方法として適しているか疑問である。また、偏光板の特性として透過軸方向については高い透過率が求められるが、通常、基板にガラスを用いた場合、ガラス界面から数%の反射は避けられず、高い透過率を得ることは難しい。
<1> 使用帯域の光に対して透明な基板と、複数の線状金属層と、複数の線状誘電体層と、光吸収作用を有する複数の線状光吸収層とをこの順で有し、
前記複数の線状金属層が、前記光の波長より短い間隔で前記基板上に離間して配列され、
前記複数の線状誘電体層における各々の線状誘電体層が、前記複数の線状金属層の各々の線状金属層上に配され、
前記複数の線状光吸収層における各々の線状光吸収層が、前記複数の線状誘電体層の前記各々の線状誘電体層上に配され、
前記線状金属層の長手方向に直交する断面における前記線状金属層の断面形状が、前記基板側を下底とし、前記線状誘電体層側を上底とする台形であり、前記下底の長さが、前記上底の長さよりも長いことを特徴とする無機偏光板である。
<2> 線状金属層の断面形状において、下底の長さと、上底の長さとの差〔(下底の長さ)−(上底の長さ)〕が、1.0nm〜20.0nmである前記<1>に記載の無機偏光板である。
<3> 線状金属層の平均厚みが、20nm〜400nmである前記<1>から<2>のいずれかに記載の無機偏光板である。
<4> 線状金属層の材質が、アルミニウム、及びアルミニウム合金のいずれかである前記<1>から<3>のいずれかに記載の無機偏光板である。
<5> 線状誘電体層の材質が、SiO2である前記<1>から<4>のいずれかに記載の無機偏光板である。
<6> 線状光吸収層の材質が、Si、及びシリサイドのいずれかである前記<1>から<5>のいずれかに記載の無機偏光板である。
<7> シリサイドが、Feを10atm%以下で含有するシリサイドである前記<6>に記載の無機偏光板である。
<8> シリサイドが、Taを40atm%以下で含有するシリサイドである前記<6>に記載の無機偏光板である。
<9> 基板の材質が、ガラス、水晶、及びサファイアのいずれかである前記<1>から<8>のいずれかに記載の無機偏光板である。
<10> 前記<1>から<9>のいずれかに記載の無機偏光板の製造方法であって、
基板上に形成された金属層を、N2を含有するエッチングガスを用いてエッチングする金属層エッチング工程を含むことを特徴とする無機偏光板の製造方法である。
<11> エッチングガスが、Cl2及びBCl3を含有する前記<10>に記載の無機偏光板の製造方法である。
本発明の無機偏光板は、基板と、複数の線状金属層と、複数の線状誘電体層と、複数の線状光吸収層とをこの順で少なくとも有し、更に必要に応じて、その他の部材を有する。
前記無機偏光板は、いわゆるワイヤーグリッド偏光板である。
前記基板としては、使用帯域の光に対して透明であれば、その材質、形状、大きさ、構造は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
また、前記基板の材質としては、屈折率が、1.1〜2.2の材料が好ましい。
前記複数の線状金属層は、前記無機偏光板において、前記光の波長より短い間隔で前記基板上に離間して配列されている。
前記下底の長さは、前記上底の長さよりも長い。
前記下底の長さ、及び前記上底の長さは、前記線状金属層について、前記線状金属層の長手方向に直交する断面を観察することにより求めることができる。前記断面の観察は、例えば、走査型電子顕微鏡観察、又は透過型電子顕微鏡観察により行うことができる。
前記線状金属層としては、Al及びAlSi合金のいずれかを含有することが、偏光特性及びプロセスの容易性の点で好ましい。
ここで、本明細書において、平均厚みとは、前記線状金属層の長手方向に直交する断面における台形の金属層の高さの算術平均値であり、例えば、走査型電子顕微鏡観察、透過型電子顕微鏡観察により求めることができる。例えば、任意の10箇所の前記高さを測定して、その算術平均値から、平均厚みを求める。
前記線状金属層の平均幅は、例えば、走査型電子顕微鏡観察、透過型電子顕微鏡観察により求めることができる。例えば、4本の線状金属層について、任意の箇所の幅を測定して、その算術平均値から、平均幅を求める。なお、前記幅は、前記線状金属層の頂部において測定する。
前記平均間隔は、例えば、走査型電子顕微鏡観察、透過型電子顕微鏡観察により求めることができる。例えば、任意の4箇所の線状金属層の間隔(ピッチ)について測定して、その算術平均値から、平均間隔を求める。なお、前記間隔(ピッチ)は、隣接する2つの線状金属層における、一方の線状金属層の頂部における他方の線状金属層側の端部と、他方の線状金属層の頂部における一方の線状金属層側と反対側の端部との距離である。
前記複数の線状誘電体層において、各々の線状誘電体層は、前記複数の線状金属層の各々の線状金属層上に配されている。
前記平均厚みは、前記線状金属層の平均厚みと同様にして求めることができる。
前記複数の線状光吸収層において、各々の線状光吸収層は、前記複数の線状誘電体層の前記各々の線状誘電体層上に配されている。
ここで、光吸収作用とは、前記無機偏光板内に形成される格子(グリッド)に平行な電界成分を持つ偏光波(TE波(S波))を減衰させる作用を意味する。なお、前記線状光吸収層は、前記格子に垂直な電界成分を持つ偏光波(TM波(P波))を透過する。
これらの中でも、Si、シリサイドが、可視領域に対して高いコントラスト(消光比:透過軸透過率/吸収軸透過率)を備えた無機偏光板が得られる点で好ましい。前記シリサイドとしては、例えば、Feを含有するシリサイド、Taを含有するシリサイドが好ましい。
前記線状光吸収層が、金属又は半導体と、金属含有半導体とから形成される2層構造であることにより、反射を抑制し、透過率を向上させることができ、コントラストを増大させることができる。
前記平均厚みは、前記線状金属層の平均厚みと同様にして求めることができる。
前記その他の部材としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、誘電体層、保護層などが挙げられる。
前記誘電体層は、例えば、前記基板と、前記複数の線状金属層との間に配される。
前記誘電体層の材質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、SiO2層であることが、屈折率がガラスに近いこと及びエッチング性がよいことから、透過率を高めやすい点で好ましい。
前記保護層は、例えば、前記線状光吸収層を覆うように配される。
前記保護層の材質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、SiO2などが挙げられる。
前記無機偏光板は、前記保護層を有することにより、信頼性を向上させることができる。
図1に示すPが、2つの線状金属層2間の間隔(ピッチ)に該当し、Wが、線状金属層2の幅に該当する。
本発明の無機偏光板においては、線状光吸収層4側から光が入射される。
本発明の無機偏光板の製造方法は、金属層エッチング工程を少なくとも含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
前記金属層エッチング工程は、基板上に形成された金属層を、N2を含有するエッチングガスを用いてエッチングする工程である。
前記エッチングにより、前記基板上に、光の波長より短い間隔で離間して配列され複数の線状金属層が形成される。そして、その際に、前記線状金属層の長手方向に直交する断面における前記線状金属層の断面形状は、前記基板側を下底とし、前記線状誘電体層側を上底とし、前記下底の長さが、前記上底の長さよりも長い台形となる。
前記エッチングガスがN2を含有することにより、前記台形を容易に作製することができる。また、前記線状金属層の側面の粗さを低減することができ、その結果、偏光特性をより向上させることができる。
前記エッチングガスにおけるN2の量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、エッチングスピード及び粗さ低減の点から、10体積%〜50体積%が好ましい。
まず、基板1上に、線状金属層の前駆体である金属層2’と、線状誘電体層の前駆体である誘電体層3’と、線状光吸収層の前駆体である光吸収層4’と、第1のマスク層6と、第2のマスク層7と、反射防止層8と、パターン化されたレジスト膜9とがこの順で積層された積層体を用意する(図2A)。
パターン化されたレジスト膜の形成方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ナノインプリント、フォトリソグラフィーなどが挙げられる。
前記第1のマスク層の材質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルミニウムなどが挙げられる。
前記第2のマスク層の材質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、SiO2などが挙げられる。
前記反射防止層の材質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
反射防止層8のエッチングは、例えば、Ar/O2を用いたドライエッチングで行う。第2のマスク層7のエッチングは、例えば、Cl2を用いたドライエッチングで行う。残ったレジスト膜9及び反射防止層8の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
この際のエッチングは、例えば、CF4を用いたドライエッチングで行う。
この際のエッチングは、N2を含有するエッチングガスを用いることが、線状金属層の断面形状を台形にしやすい点で、好ましい。また、N2を含有するエッチングガスを用いることで、線状金属層の側面の粗さを低減させることができ、より優れた偏光特性を有する無機偏光板を得ることができる。
Grating Solver Development社のグレーティングシミュレータGsolverを用いたRigorous Coupled Wave Analysis(RCWA)による電磁界シミュレーションを行った。
図3A、図3B、図3C、及び図3Dの無機偏光板においては、基板1上に、誘電体層5(SiO2:30nm)、線状金属層2(Al:190nm)、線状誘電体層3(SiO2:7.5nm)、及び線状光吸収層4(FeSi(Fe5atm%):25nm)がこの順で形成されている。図3A、図3B、図3C、及び図3Dにおいて、誘電体層5、線状金属層2、線状誘電体層3、及び線状光吸収層4は、それぞれ同体積とした。また、格子間の間隔(ピッチ)は、141nmとした。線状金属層3における断面の上部幅、中部幅、下部幅を表1に示した。
線状光吸収層4側から光を入射させた際の520nm〜590nmにおける偏光特性を評価した。結果を表1に示した。
Tp:透過軸透過率
CR:コントラスト(透過軸透過率/吸収軸透過率)
Rp:透過軸反射率
Rs:吸収軸反射率
線状金属層の形状を変化させたサンプルを作製し、偏光特性を評価した。
具体的には、図4A〜図4Eに示す断面形状(SEM写真)を有する無機偏光板を作製し、偏光特性を評価した。
サンプルは、基板(ガラス)上に、誘電体層(SiO2:35nm)、線状金属層(Al:200nm)、線状誘電体層(SiO2:10nm)、及び線状光吸収層(FeSi(Fe5atm%):25nm)がこの順で形成された構成である。また、格子間の間隔(ピッチ)は、141nmとした。線状金属層の断面形状は、エッチング条件を変動させることにより変化させた。具体的には、Cl2/BCl3エッチングガスにおけるN2量を変動させることにより、線状金属層の断面形状を変化させた。
なお、偏光特性の評価は、透過率については日立ハイテクノロジーズ社製のU−4100を、反射率については日本分光社製のV−570を用いて行った。光は、線状光吸収層側から入射した。結果を表2に示した。また、図4A〜図4Eにおける、線状金属層の上部(Top)の幅、及び下部(Bottom)の幅の差(Top−Bottom)も表2に示した。
Grating Solver Development社のグレーティングシミュレータGsolverを用いたRigorous Coupled Wave Analysis(RCWA)による電磁界シミュレーションを行った。
電磁界シミュレーションでは、下記表3に示すように、線状光吸収層の材料を変化させた際の偏光特性を評価した。なお、各線状光吸収層材料の光学乗数に合わせて吸収軸反射率Rsが低くなるように、線状光吸収層と線状誘電体層の膜厚を調整している。また、シミュレーションのモデルは図3D(条件4)とし、格子間の間隔(ピッチ)は、141nmとした。線状光吸収層材料にTaSi(Taを含有するシリサイド)を用いることにより、更なる吸収軸反射率の低減が可能となり、図5に示すように、広い波長帯域で低反射率が得られることが確認できた。Taの含有率について20atm%、25atm%、及び33atm%を評価した。表3及び図5に示すように吸収軸反射率については同等レベルが得られるものの、表3及び図6に示すように、Taの含有率を増やすと透過軸透過率が低下する傾向がある。よって高透過率と低反射率の両立が望まれる偏光板においては、Ta含有率は40atm%以下とすることが好ましく、30atm%以下とすることがより好ましい。
本発明の無機偏光板の作製において、線状金属層を作製する際のエッチングガスがN2を含有する場合に、線状金属層の側面の平滑性が向上することを確認するための試験を行った。
具体的には、アルミニウム膜が形成されたガラス基板におけるアルミニウム膜を、N2濃度を変化させたエッチングガスでエッチングして、アルミニウム膜表面の平滑性(算術平均粗さ:Ra)を測定した。アルミニウム膜は、スパッタリングにより形成した。
Raは、AFM(原子間力顕微鏡)により測定した。測定面積は1μm×1μmである。
結果を表5に示した。
2 線状金属層
2’ 金属層
3 線状誘電体層
3’ 誘電体層
4 線状光吸収層
4’ 光吸収層
5 誘電体層
6 第1のマスク層
6’ パターン化された第1のマスク層
7 第2のマスク層
7’ パターン化された第2のマスク層
8 反射防止層
9 レジスト膜
Claims (10)
- 使用帯域の光に対して透明な基板と、複数の線状金属層と、複数の線状誘電体層と、光吸収作用を有する複数の線状光吸収層とをこの順で有し、
前記複数の線状金属層が、前記光の波長より短い間隔で前記基板上に離間して配列され、
前記複数の線状誘電体層における各々の線状誘電体層が、前記複数の線状金属層の各々の線状金属層上に配され、
前記複数の線状光吸収層における各々の線状光吸収層が、前記複数の線状誘電体層の前記各々の線状誘電体層上に配され、
前記線状金属層の長手方向に直交する断面における前記線状金属層の断面形状が、前記基板側を下底とし、前記線状誘電体層側を上底とする台形であって、前記下底の長さが、前記上底の長さよりも1.0nm〜20.0nm長いものであり、
前記線状光吸収層層及び前記線状誘電体の長手方向に直交する断面において、前記線状光吸収層層の断面の下辺が前記線状誘電体の断面の上辺と同じ長さであり、
前記線状光吸収層の平均厚さが5nm〜40nmであり、
前記線状光吸収層の材質が、Taを30atm%以下で含有するシリサイド、及びFeを10atm%以下で含有するシリサイドのいずれかであることを特徴とする無機偏光板。 - 線状誘電体層の平均厚みが、3nm〜80nmである請求項1に記載の無機偏光板。
- 線状金属層の平均厚みが、20nm〜400nmである請求項1から2のいずれかに記載の無機偏光板。
- 線状金属層の材質が、アルミニウム、及びアルミニウム合金のいずれかである請求項1から3のいずれかに記載の無機偏光板。
- 線状誘電体層の材質が、SiO2である請求項1から4のいずれかに記載の無機偏光板。
- 基板と線状金属層の間に平均厚みが3nm〜80nmの誘電体層を有する請求項1から5のいずれかに記載の無機偏光板。
- 基板の材質が、ガラス、水晶、及びサファイアのいずれかである請求項1から6のいずれかに記載の無機偏光板。
- 請求項1から7のいずれかに記載の無機偏光板の製造方法であって、
基板上に形成された金属層を、N 2 を含有するエッチングガスを用いてエッチングする金属層エッチング工程を含むことを特徴とする無機偏光板の製造方法。 - エッチングガスが、Cl 2 及びBCl 3 を含有する請求項8に記載の無機偏光板の製造方法。
- エッチング後の金属層の表面のRaが4.071nm以下である請求項8から9に記載の無機偏光板の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169274A JP5996587B2 (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 無機偏光板及びその製造方法 |
US14/820,286 US9988724B2 (en) | 2014-08-22 | 2015-08-06 | Inorganic polarizing plate having trapezoid shaped metal layers and production method thereof |
CN201510524640.7A CN105388551B (zh) | 2014-08-22 | 2015-08-24 | 无机偏光板及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169274A JP5996587B2 (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 無機偏光板及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016045345A JP2016045345A (ja) | 2016-04-04 |
JP5996587B2 true JP5996587B2 (ja) | 2016-09-21 |
Family
ID=55348173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014169274A Active JP5996587B2 (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 無機偏光板及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9988724B2 (ja) |
JP (1) | JP5996587B2 (ja) |
CN (1) | CN105388551B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013167823A (ja) | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Dexerials Corp | 無機偏光板 |
JP5996587B2 (ja) * | 2014-08-22 | 2016-09-21 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板及びその製造方法 |
JP6836360B2 (ja) * | 2016-09-06 | 2021-03-03 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板及びその製造方法 |
JP6302040B1 (ja) | 2016-12-28 | 2018-03-28 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
JP6230689B1 (ja) | 2016-12-28 | 2017-11-15 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
CN106597748A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-04-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示用基板、液晶显示面板及液晶显示装置 |
JP6312917B1 (ja) * | 2017-02-07 | 2018-04-18 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
JP6922279B2 (ja) * | 2017-03-14 | 2021-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | ワイヤーグリッド偏光素子および投射型表示装置 |
JP6410906B1 (ja) | 2017-09-26 | 2018-10-24 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光素子及び光学機器 |
JP2019144334A (ja) * | 2018-02-19 | 2019-08-29 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
CN110308507B (zh) * | 2018-03-20 | 2021-12-03 | 海信视像科技股份有限公司 | 一种金属线栅偏振片及其制造方法、显示面板及显示装置 |
CN108649140B (zh) * | 2018-05-11 | 2019-09-20 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | Oled显示面板及oled显示装置 |
JP6826073B2 (ja) * | 2018-05-31 | 2021-02-03 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
JP6609351B1 (ja) | 2018-06-18 | 2019-11-20 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板およびその製造方法 |
JP7332324B2 (ja) * | 2019-04-10 | 2023-08-23 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
PH12020050192A1 (en) * | 2019-07-17 | 2021-05-17 | Moxtek Inc | Reflective wire grid polarizer with transparent cap |
JP7204611B2 (ja) * | 2019-08-05 | 2023-01-16 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板およびその製造方法 |
JP7219735B2 (ja) * | 2020-03-26 | 2023-02-08 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19829970C2 (de) | 1998-07-04 | 2000-07-13 | F O B Gmbh | Verfahren zur Herstellung von UV-Polarisatoren |
EP0999459A3 (en) | 1998-11-03 | 2001-12-05 | Corning Incorporated | UV-visible light polarizer and methods |
US6243199B1 (en) | 1999-09-07 | 2001-06-05 | Moxtek | Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region |
JP3891266B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2007-03-14 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 導光板及びこの導光板を備えた液晶表示装置 |
JP2002372620A (ja) | 2001-06-13 | 2002-12-26 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 偏光制御素子及びその製造方法 |
US7768018B2 (en) * | 2003-10-10 | 2010-08-03 | Wostec, Inc. | Polarizer based on a nanowire grid |
JP2005172844A (ja) | 2003-12-05 | 2005-06-30 | Enplas Corp | ワイヤグリッド偏光子 |
US20050275944A1 (en) | 2004-06-11 | 2005-12-15 | Wang Jian J | Optical films and methods of making the same |
JP2006058615A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 金属細線が埋め込まれた偏光分離素子 |
JP5380796B2 (ja) * | 2006-07-07 | 2014-01-08 | ソニー株式会社 | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP5933910B2 (ja) * | 2006-08-15 | 2016-06-15 | ポラリゼーション ソリューションズ エルエルシー | 偏光子薄膜及びこの製作方法 |
US7957062B2 (en) * | 2007-02-06 | 2011-06-07 | Sony Corporation | Polarizing element and liquid crystal projector |
JP4488033B2 (ja) | 2007-02-06 | 2010-06-23 | ソニー株式会社 | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
US8493658B2 (en) * | 2007-07-06 | 2013-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Polarizer and display device including polarizer |
JP5353666B2 (ja) | 2009-11-30 | 2013-11-27 | 旭硝子株式会社 | ワイヤグリッド型偏光子および光ヘッド装置 |
JP2012027221A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Asahi Kasei Corp | ワイヤーグリッド偏光子 |
JP2012073484A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Asahi Glass Co Ltd | ワイヤグリッド型偏光子および液晶表示装置 |
JP5760388B2 (ja) * | 2010-11-01 | 2015-08-12 | セイコーエプソン株式会社 | 偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器 |
JP6100492B2 (ja) * | 2012-09-05 | 2017-03-22 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光素子、プロジェクター及び偏光素子の製造方法 |
JP5996587B2 (ja) * | 2014-08-22 | 2016-09-21 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-08-22 JP JP2014169274A patent/JP5996587B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-06 US US14/820,286 patent/US9988724B2/en active Active
- 2015-08-24 CN CN201510524640.7A patent/CN105388551B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105388551A (zh) | 2016-03-09 |
US9988724B2 (en) | 2018-06-05 |
US20160054497A1 (en) | 2016-02-25 |
CN105388551B (zh) | 2019-12-27 |
JP2016045345A (ja) | 2016-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5996587B2 (ja) | 無機偏光板及びその製造方法 | |
JP6580199B2 (ja) | バンドル構造の製造方法 | |
JP6285131B2 (ja) | 偏光板、及び偏光板の製造方法 | |
JP4935209B2 (ja) | 偏光素子及びその製造方法 | |
JP5938016B2 (ja) | 液晶プロジェクター | |
JP5333615B2 (ja) | 偏光素子、及び透過型液晶プロジェクター | |
US9360608B2 (en) | Polarizing element | |
JP6100492B2 (ja) | 偏光素子、プロジェクター及び偏光素子の製造方法 | |
JP2016534418A (ja) | ワイヤ間距離が可変な偏光子 | |
JP6170985B2 (ja) | 無機偏光板及びその製造方法 | |
JP5936727B2 (ja) | 偏光素子 | |
JP6527211B2 (ja) | 偏光板、及び偏光板の製造方法 | |
JP2019144334A (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP2019035802A (ja) | 偏光板及び光学機器 | |
JP2008158460A (ja) | 偏光素子の製造方法 | |
JP7075372B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7333168B2 (ja) | 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160106 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20160106 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20160330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5996587 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |