JP5990925B2 - 冷却装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
実施形態の他の一観点によれば、対向する一対の表面に形成された複数のスリットによって画定された複数のブロックを有し、前記複数のブロックのそれぞれに、前記ブロックの延在方向に貫通孔が形成された基板と、前記複数のスリット内に形成されたカーボンナノチューブとを有する冷却装置が提供される。
第1実施形態による冷却装置及びその製造方法についてについて図1乃至図10を用いて説明する。
第2実施形態による冷却装置及びその製造方法について図11乃至図14を用いて説明する。図1乃至図10に示す第1実施形態による冷却装置及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
第3実施形態による冷却装置及びその製造方法について図15及び図16を用いて説明する。図1乃至図14に示す第1及び第2実施形態による冷却装置及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
第4実施形態による冷却装置及びその製造方法について図17及び図18を用いて説明する。図1乃至図16に示す第1乃至第3実施形態による冷却装置及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し又は簡潔にする。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
前記複数のスリット内に形成されたカーボンナノチューブと
を有することを特徴とする冷却装置。
前記複数のスリットは、前記基板の一の表面に形成されている
ことを特徴とする冷却装置。
前記複数のスリットは、前記基板の対向する一対の表面にそれぞれ形成されている
ことを特徴とする冷却装置。
前記基板は、前記基板を貫通する前記複数のスリットによって前記複数のブロックに分割されている
ことを特徴とする冷却装置。
前記基板の表面に、前記貫通孔の延在する方向と交差する方向に延在する複数の溝が更に形成されている
ことを特徴とする冷却装置。
前記複数の基板上にカーボンナノチューブを成長する工程と、
前記カーボンナノチューブが形成された前記複数の基板を、前記カーボンナノチューブを介して互いに接続する工程と
を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
前記基板に、前記貫通孔が形成されたブロックを互いに分離するように複数のスリットを形成する工程と、
前記複数のスリット内にカーボンナノチューブを成長する工程と
を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
前記カーボンナノチューブを成長する工程では、前記スリットの側壁部分から選択的に前記カーボンナノチューブを成長する
ことを特徴とする冷却装置の製造方法。
前記基板の表面に、前記貫通孔と交差する方向に延在する複数の溝を形成する工程を更に有する
ことを特徴とする冷却装置の製造方法。
12…フォトレジスト膜
14…開口部
16…溝
18,24,38…カーボンナノチューブ
22…触媒金属膜
30…マイクロチャネルチップ
32…マイクロチャネル
34…スリット
34…溝
40…冷却装置
42…TIM
44…CPUチップ
46…バンプ
48…回路基板
Claims (6)
- 一の表面に形成された複数のスリットによって画定された複数のブロックを有し、前記複数のブロックのそれぞれに、前記ブロックの延在方向に貫通孔が形成された基板と、
前記複数のスリット内に形成されたカーボンナノチューブと
を有することを特徴とする冷却装置。 - 対向する一対の表面に形成された複数のスリットによって画定された複数のブロックを有し、前記複数のブロックのそれぞれに、前記ブロックの延在方向に貫通孔が形成された基板と、
前記複数のスリット内に形成されたカーボンナノチューブと
を有することを特徴とする冷却装置。 - 請求項1又は2記載の冷却装置において、
前記基板の表面に、前記貫通孔の延在する方向と交差する方向に延在する複数の溝が更に形成されている
ことを特徴とする冷却装置。 - 表面に平行な方向に延在する複数の貫通孔を有する基板を形成する工程と、
前記基板に、前記貫通孔が形成されたブロックを互いに分離するように複数のスリットを形成する工程と、
前記複数のスリット内にカーボンナノチューブを成長する工程と
を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。 - 請求項4記載の冷却装置の製造方法において、
前記カーボンナノチューブを成長する工程では、前記スリットの側壁部分から選択的に前記カーボンナノチューブを成長する
ことを特徴とする冷却装置の製造方法。 - 請求項4又は5記載の冷却装置の製造方法において、
前記基板の表面に、前記貫通孔と交差する方向に延在する複数の溝を形成する工程を更に有する
ことを特徴とする冷却装置の製造方法。
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