JP5981402B2 - サセプタ - Google Patents
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Description
実施形態に係るサセプタは、ウェハが載置されるウェハ載置面を有する板状の第1部材と、前記ウェハ載置面に対して直交する方向において前記第1部材と積層されており、前記第1部材を支持する第2部材とを備える。前記第1部材の熱伝導率は、前記第2部材の熱伝導率よりも高い。
(サセプタの構成)
以下において、第1実施形態に係るサセプタについて、図面を参照しながら説明する。図1及び図2は、第1実施形態に係るサセプタ100を示す図である。図1は、サセプタ100の主面(ウェハ載置面)を示す図である。図2は、サセプタ100の断面(図1に示すA−A断面)を模式的に示す図である。
第1実施形態では、ウェハ配置面を有する板状の第1部材10の熱伝導率が第2部材20の熱伝導率よりも高い。従って、サセプタ100の昇温速度及び熱利用効率の低下が抑制される。一方で、第1部材10よりもヒータ側に配置される第2部材20の熱伝導率が第1部材10の熱伝導率よりも低い。従って、ヒータのパターンが直接的にウェハに転写されることが抑制され、ウェハ配置面における均熱性を向上することができる。
以下において、第1実施形態の変更例1について説明する。以下においては、第1実施形態に対する相違点について主として説明する。
以下において、第1実施形態の変更例2について説明する。以下においては、第1実施形態に対する相違点について主として説明する。
以下において、第1実施形態の変更例3について説明する。以下においては、第1実施形態に対する相違点について主として説明する。
本発明は上述した実施形態によって説明したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、この発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
Claims (7)
- ウェハが載置されるウェハ載置面を有する板状の第1部材と、
前記ウェハ載置面に対して直交する方向において前記第1部材と積層されており、前記第1部材を支持する第2部材とを備え、
前記第1部材の熱伝導率は、前記第2部材の熱伝導率よりも高く、
前記第1部材は、6N以上の純度を有する炭化ケイ素によって構成され、
前記第2部材の熱伝導率は、140〜170W/m・K(RT)の範囲であることを特徴とするサセプタ。 - 前記第1部材は、前記第2部材に対して着脱可能に構成されることを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
- 前記第2部材は、2N〜3Nの純度を有する炭化ケイ素によって構成されることを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
- 前記第2部材は、グラファイトによって構成されることを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
- 前記第2部材の厚みは、5〜15mmの範囲であることを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
- 前記第2部材の熱抵抗値は、5.8×10−3〜7.1×10−3m・K(RT)/Wの範囲であることを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
- 前記第2部材は、板状形状又はリング形状を有することを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
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