JP5974109B2 - チップ供給装置 - Google Patents

Description

本明細書に開示する技術は、基板にチップを実装する実装機にチップを供給するチップ供給装置に関する。

特開２０１０−２６８０１５号公報に、基板にチップを実装する実装機にチップを供給するチップ供給装置が開示されている。そのチップ供給装置は、実装機の作業ヘッドがチップを受け取ることが可能な位置で、ウエハシートを保持するウエハテーブルを備えている。なお、本明細書でいうウエハシートとは、中央に開口を有するウエハ保持板に、所望のチップ形状にダイシングされたウエハが貼着されたダイシングシートを装着したものをいう。

チップ供給装置において、異なるサイズのウエハからチップを供給したい場合がある。従来技術のチップ供給装置では、ウエハのサイズが異なる場合でも、ウエハ保持板の外形形状を全て同一のトレイ形状としておくことで、同一のウエハテーブルによってウエハシートを保持可能としている。従来技術のチップ供給装置では、ウエハ保持板の外形形状が異なり、従ってウエハシートのサイズが異なる場合には、同一のウエハテーブルによってウエハシートを保持することができない。ウエハシートのサイズが異なる場合であっても、同一のウエハテーブルで保持することが可能な技術が期待されている。

本明細書は、基板にチップを実装する実装機にチップを供給するチップ供給装置を開示する。そのチップ供給装置は、実装機の作業ヘッドがチップを受け取ることが可能な位置で、ウエハシートを保持するウエハテーブルを備えている。そのチップ供給装置では、ウエハテーブルが、フレームと、フレームの前部中央に固定されており、ウエハシートの前端と当接するストッパと、フレームに支持されており、ウエハシートの両側端をクランプする一対のクランプ機構を備えている。そのチップ供給装置では、一対のクランプ機構のフレームに対する左右方向の位置が、多段階に変更可能である。

上記のチップ供給装置では、ウエハシートの前端がストッパと当接し、ウエハシートの両側端が一対のクランプ機構によりクランプされることで、ウエハシートがウエハテーブルに対して前後方向と左右方向に位置決めされて保持される。上記のチップ供給装置では、一対のクランプ機構のフレームに対する左右方向の位置を変更することによって、同一のウエハテーブルで異なるサイズのウエハシートを保持することができる。

チップ供給装置１０の外観を示す図である。 チップ供給装置１０を実装機Ｍに組付けた状態を側方から見た断面図である。 ウエハテーブル３８が６インチのウエハシートＷを保持した状態を示す図である。 ウエハテーブル３８が８インチのウエハシートＷを保持した状態を示す図である。 ウエハテーブル３８が１２インチのウエハシートＷを保持した状態を示す図である。 ウエハテーブル３８を下面側から見た図である。 図６のＡ−Ａの詳細を示す拡大図である。 図６のＢ−Ｂの詳細を示す拡大図である。

上記のチップ供給装置は、フレームが、前方フレームプレートと、後方フレームプレートと、側方フレームプレートを備えており、クランプ機構が、前方フレームプレートと後方フレームプレートによって支持されており、クランプ機構の前端近傍に前方係合部が形成されており、後端近傍に後方係合部が形成されており、前方フレームプレートに前方係合部と係合可能な前方被係合部が複数形成されており、前方被係合部の位置に対応する位置に、後方フレームプレートに後方係合部と係合可能な後方被係合部が複数形成されているように構成することができる。

上記のチップ供給装置によれば、簡素な構成によって、一対のクランプ機構のフレームに対する左右方向の位置を多段階に変更可能とすることができる。

上記のチップ供給装置は、クランプ機構が、メインプレートと、前方フレームプレートの後面と当接する前方ブロックと、後方フレームプレートの前面と当接する後方ブロックと、前方ブロックと後方ブロックの間に配置されており、メインプレートに固定された中間ブロックを備えており、前方ブロックおよび後方ブロックの一方が、メインプレートに対して前後方向にスライド可能に支持されており、中間ブロックと弾性体を介して接続されており、前方ブロックおよび後方ブロックの他方が、メインプレートに対して固定されており、弾性体が圧縮される方向に、メインプレートをフレームに対して移動させることで、前方係合部と前方被係合部の係合が解除され、かつ後方係合部と後方被係合部の係合が解除されるように構成することができる。

上記のチップ供給装置では、オペレータがメインプレートを把持して、弾性体が圧縮される方向に、メインプレートをフレームに対して移動させることで、前方係合部と前方被係合部の係合が解除され、かつ後方係合部と後方被係合部の係合が解除される。この状態のまま、オペレータがメインプレートをフレームに対して左右方向に移動させることで、クランプ機構を異なる位置でロックすることができる。工具を用いることなく、簡易な作業で、ウエハテーブルのサイズ換えを行うことができる。

上記のチップ供給装置は、前方被係合部および後方被係合部の少なくとも一方に、弾性体を介してフレームに支持されたガタツキ防止プレートが設けられているように構成することができる。

上記のチップ供給装置によれば、ガタツキ防止プレートが設けられた箇所の係合部と被係合部の間でガタツキが発生することを防ぐことができる。

上記のチップ供給装置は、メインプレートの上面に、識別マークが設けられているように構成することができる。

上記のチップ供給装置によれば、ウエハシートを撮像するためのカメラを用いて識別マークを撮像し、画像処理によってその位置を検出することで、クランプ機構のフレームに対する左右方向の位置を認識することができる。

図１に示すチップ供給装置１０は、実装機に対してチップを供給する。実装機は、上流側の生産装置から搬入される基板に対して、チップ供給装置１０から供給されるチップを実装し、チップが実装された基板を下流側の生産装置へ搬出する。チップ供給装置１０は、マガジン収容部１２と、ウエハ搬送部１４を備えている。なお、以下ではチップ供給装置１０を実装機に組付けた状態で、チップ供給装置１０から見て実装機が位置する方向を前方といい、その反対方向を後方という。また、以下で左右方向、上下方向という場合、チップ供給装置１０から見て実装機が位置する方向を前方とした場合の左右方向、上下方向を意味する。

図２はチップ供給装置１０を実装機Ｍに組付けた状態を示している。図２に示すように、チップ供給装置１０を実装機Ｍに組付けた状態では、ウエハ搬送部１４の前方の部分は、実装機Ｍの内部に配置される。

チップ供給装置１０のマガジン収容部１２は、ハウジング２０と、マガジン２２と、マガジン昇降機構２４を備えている。

ハウジング２０は、マガジン２２とマガジン昇降機構２４を収容する。ハウジング２０の前面には、マガジン２２に収容されたウエハシートＷを搬出する搬出口２６が形成されている。本実施例のウエハシートＷは、中央に略円形の開口を有するウエハ保持板に、所望のチップ形状にダイシングされたウエハが貼着されたダイシングシートを装着したものをいう。また、ハウジング２０の後面には、オペレータにより開閉される開閉蓋２０ａが形成されている。

マガジン２２は、ウエハシートＷを収容する複数のウエハシート収容部２８を備えている。複数のウエハシート収容部２８は、高さ方向に積層されている。各ウエハシート収容部２８には、ウエハシートＷが収容されている。マガジン２２は、前面および後面が開口した角筒形状に形成されている。チップ供給装置１０のオペレータは、ハウジング２０の開閉蓋２０ａを開いて、マガジン２２の後面よりウエハシート収容部２８にウエハシートＷを補給することができる。

マガジン昇降機構２４は、ボールねじ３０と、ボールねじ３０を回転させるモータ３２を有している。ボールねじ３０と係合するナット（図示しない）は、マガジン２２に固定されている。このため、モータ３２によりボールねじ３０を回転させると、マガジン２２がハウジング２０内を上下方向に移動する。マガジン２２を上下方向に移動させることで、マガジン２２の任意のウエハシート収容部２８を、ハウジング２０の搬出口２６の高さに一致させることができる。これによって、ウエハシート収容部２８から搬出口２６を通ってウエハ搬送部１４にウエハシートＷを搬出することができる。

ウエハ搬送部１４は、ステージ３４と、ステージ３４を昇降するステージ昇降機構３６と、ウエハテーブル３８と、作業ヘッド４０等を備えている。

ステージ昇降機構３６は、ステージ３４を上下方向に移動させる。ステージ昇降機構３６は、ボールねじ４２と、ボールねじ４２を回転させるモータ４４を有している。ボールねじ４２と係合するナット（図示しない）は、ステージ３４に固定されている。このため、モータ４４によりボールねじ４２を回転させると、ステージ３４が上下方向に移動する。

ウエハテーブル３８は、ステージ３４に対して、前後方向にスライド可能に支持されている。ウエハテーブル３８は、マガジン２２から搬出されたウエハシートＷを保持することができる。ウエハテーブル３８は、アクチュエータ（図示せず）を駆動することで、ウエハ搬送部１４の後方に位置するウエハシート供給位置３８ａと、ウエハ搬送部１４の前方に位置するチップ供給位置３８ｂの間で移動可能である。また、ウエハテーブル３８は、ステージ３４に対して、鉛直軸周りに回動可能である。ウエハテーブル３８は、モータ（図示せず）を駆動することで、ステージ３４に対する鉛直軸周りの角度を調整可能である。

作業ヘッド４０は、ステージ３４に対して、前後方向と、左右方向に移動可能に支持されている。作業ヘッド４０は、アクチュエータ（図示せず）を駆動することで、ステージ３４に対して、前後方向および左右方向に相対移動する。作業ヘッド４０は、ウエハ引き出し機構４６と、吸着ノズル４８と、カメラ５０を搭載している。ウエハ引き出し機構４６は、マガジン収容部１２のウエハシート収容部２８からウエハシートＷを引き出して、ウエハシート供給位置３８ａにあるウエハテーブル３８に搬送する。吸着ノズル４８は、ウエハテーブル３８がウエハシート供給位置３８ａにある状態で、ウエハシートＷから所望のチップを吸着することができる。カメラ５０は、ウエハテーブル３８がウエハシート供給位置３８ａにある状態で、ウエハテーブル３８に保持されたウエハシートＷを上面から撮像する。カメラ５０が撮像した画像から、吸着ノズル４８や後述する吸着ノズルＮが吸着対象とするチップの位置および姿勢や、ウエハテーブル３８の状態を認識することができる。

ウエハテーブル３８のチップ供給位置３８ｂの上方では、ウエハ搬送部１４の上部が開口している。このため、ウエハテーブル３８がチップ供給位置３８ｂにある状態では、実装機Ｍからウエハテーブル３８に保持されたウエハシートＷにアクセスすることができる。実装機Ｍは、実装ヘッドＨを備えている。実装ヘッドＨは、吸着ノズルＮとカメラＣを有している。吸着ノズルＮは、ウエハテーブル３８がチップ供給位置３８ｂにある状態で、ウエハシートＷから所望のチップを吸着することができる。吸着ノズルＮは、カメラ５０が撮像した画像から認識されるチップの位置および姿勢に基づいて動作するが、カメラＣが撮像した画像からチップの位置および姿勢を認識して動作させてもよい。実装ヘッドＨは実装機Ｍの内部で前後方向および左右方向に移動可能であり、吸着ノズルＮが吸着したチップを基板に実装することができる。

なお、ステージ３４には、ウエハ搬送部１４の吸着ノズル４８や実装機Ｍの吸着ノズルＮがチップを吸着する際にウエハテーブル３８の下方からウエハシートＷを突き上げることでダイシングシートからのチップの剥離を容易にする突き上げ機構や、突き上げ機構のポッドを交換するポッドチェンジャや、吸着ノズル４８を交換するノズルチェンジャなども搭載されている。

本実施例のウエハテーブル３８は、６インチ、８インチ、あるいは１２インチといった、様々なサイズのウエハシートを保持することができる。図３は、ウエハテーブル３８が６インチのウエハシートＷを保持する場合を示している。図４は、ウエハテーブル３８が８インチのウエハシートＷを保持する場合を示している。図５は、ウエハテーブル３８が１２インチのウエハシートＷを保持する場合を示している。

図３から図５に示すように、ウエハテーブル３８は、フレーム６０と、ストッパ６２と、一対のクランプ機構６４，６６を備えている。

フレーム６０は、中央に開口を有する長方形の枠形状に形成されている。フレーム６０は、前方フレームプレート６０ａと、後方フレームプレート６０ｂと、一対の側方フレームプレート６０ｃ，６０ｄを備える。前方フレームプレート６０ａの中央部の上面には、ストッパ６２が設けられている。ウエハシートＷの前端がストッパ６２と当接することによって、ウエハシートＷがウエハテーブル３８に対して前後方向に位置決めされる。

クランプ機構６４，６６は、それぞれメインプレート６８，７０と、サブプレート７２，７４を備えている。また、一方のクランプ機構６４は、サイドプレート７６を備えており、他方のクランプ機構６６は、サイドストッパ７８を備えている。

メインプレート６８、７０は、フレーム６０の開口を前後方向に掛け渡すように、前方フレームプレート６０ａと後方フレームプレート６０ｂによって支持されている。メインプレート６８、７０の前方側では、メインプレート６８，７０は前方フレームプレート６０ａの上面と重なるように伸びている。メインプレート６８，７０の後方側では、メインプレート６８，７０は後方フレームプレート６０ｂの上面と重なるように伸びている。メインプレート６８、７０は、フレーム６０に対して左右方向にスライド可能に支持されている。メインプレート６８、７０は、保持するウエハシートＷの大きさに応じて予め設定された位置で、フレーム６０に対してロックされる。ウエハ引き出し機構４６によって引き出されたウエハシートＷは、両側端がメインプレート６８，７０の上面に載置された状態で、前端がストッパ６２と当接するまで前方へ移動させられる。

サイドストッパ７８は、メインプレート７０とサブプレート７４の間に配置されている。サイドストッパ７８は、メインプレート７０に対して固定されている。サイドストッパ７８は、ウエハシートＷの前方への移動を案内するとともに、ウエハシートＷの側端の位置決めをする。サイドプレート７６は、メインプレート６８とサブプレート７２の間に配置されている。サイドプレート７６は、メインプレート６８に対して左右方向にスライド可能に支持されており、エアシリンダの駆動によって左右方向にスライドする。ウエハテーブル３８では、ウエハシートＷがメインプレート６８，７０上を前方に向けて移動し、ウエハシートＷの前端がストッパ６２と当接すると、サイドプレート７６をサイドストッパ７８に向けてスライドさせる。これによって、ウエハシートＷがサイドストッパ７８とサイドプレート７６により左右から挟持されて、ウエハシートＷがウエハテーブル３８に対して左右方向に位置決めされる。

サブプレート７２、７４は、メインプレート６８、７０に対して上下方向に移動可能に支持されており、エアシリンダの駆動によって上下方向に移動する。ウエハテーブル３８では、ウエハシートＷの前端がストッパ６２と当接し、さらにサイドストッパ７８とサイドプレート７６によりウエハシートＷが左右から挟持されると、サブプレート７２，７４をメインプレート６８，７０に向けて移動させる。これによって、ウエハシートＷの側端部がメインプレート６８、７０とサブプレート７２，７４により上下から挟持される。これによって、ウエハシートＷの側端部がクランプされて、ウエハシートＷがウエハテーブル３８に保持される。

なお、メインプレート６８，７０の上面には、識別マーク６８ａ、７０ａが設けられている。ウエハ搬送部１４のカメラ５０や、実装機ＭのカメラＣが撮像した画像において、識別マーク６８ａ、７０ａの位置を検出することで、ウエハテーブル３８が保持可能なウエハシートＷのサイズを認識することができる。

以下では図６−図８を参照しながら、ウエハテーブル３８が保持するウエハシートＷのサイズを変更する際のサイズ換えについて、クランプ機構６４を例として説明する。クランプ機構６６についても、クランプ機構６４と同様である。図６はウエハテーブル３８を下面側から見た図である。また、図７は図６のＡ−Ａ部の拡大図であり、図８は図６のＢ−Ｂ部の拡大図である。

図７に示すように、メインプレート６８の下面側の前方には、前方フレームプレート６０ａの後面と当接する前方ブロック８０が設けられている。前方ブロック８０は、メインプレート６８に対して固定されている。前方ブロック８０には、前方フレームプレート６０ａの下面側に形成された係合溝８２と係合する係合爪８４が形成されている。係合爪８４は、先端に向かうにつれて幅が狭くなる台形形状に形成されており、係合溝８２も奥に向かうにつれて幅が狭くなる台形形状に形成されている。これによって、係合爪８４の係合溝８２への係合および離脱を容易に行うことができる。係合爪８４が係合溝８２に係合すると、メインプレート６８の前方側は前方フレームプレート６０ａに対して左右方向の移動が禁止される。図７に示すように、係合溝８２は、ウエハテーブル３８が保持するウエハシートＷのサイズに応じた位置に、複数形成されている。

図８に示すように、メインプレート６８の下面側の後方には、後方フレームプレート６０ｂの前面と当接する後方ブロック８６と、後方ブロック８６とばね８８を介して連結した中間ブロック９０が設けられている。中間ブロック９０は、前方ブロック８０と後方ブロック８６の間の位置で、メインプレート６８に対して固定されている。後方ブロック８６は、メインプレート６８に対して前後方向にスライド可能に支持されている。後方ブロック８６には、後方フレームプレート６０ｂの下面に重なるように伸びるフランジ９２が形成されている。また、メインプレート６８の下面側の後端には、後方フレームプレート６０ｂの外側に形成された位置決め溝９４と係合する位置決めピン９６が固定されている。図８に示すように、位置決め溝９４は、ウエハテーブル３８が保持するウエハシートＷのサイズに応じた位置に、複数形成されている。後方フレームプレート６０ｂで位置決め溝９４が形成されている位置と、前方フレームプレート６０ａで係合溝８２が形成されている位置は、互いに対応している。

クランプ機構６４をフレーム６０に取り付けた状態では、ばね８８は圧縮されており、後方ブロック８６と中間ブロック９０に、互いを離反する方向の弾性復元力が作用する。これによって、後方ブロック８６は後方フレームプレート６０ｂの前面に対して押し付けられるとともに、前方ブロック８０は前方フレームプレート６０ａの後面に対して押し付けられる。これにより、係合爪８４が係合溝８２に確実に係合し、かつ位置決めピン９６が位置決め溝９４に確実に係合して、クランプ機構６４がフレーム６０に対してロックされる。

クランプ機構６４をフレーム６０に対して左右方向にスライドさせる場合には、まず、オペレータがメインプレート６８を把持して、フレーム６０に対してメインプレート６８を後方に引き下げる。これにより、ばね８８が圧縮して、メインプレート６８全体が後方にスライドし、前方ブロック８０の係合爪８４が係合溝８２から離脱するとともに、位置決めピン９６が位置決め溝９４から離脱する。この状態を維持したまま、オペレータがメインプレート６８をフレーム６０に対して左右方向にスライドさせる。所望の係合溝８２および位置決め溝９４の位置までメインプレート６８が移動させられて、オペレータがメインプレート６８を後方に引き下げる力を弱めると、ばね８８の弾性復元力により、前方ブロック８０の係合爪８４が係合溝８２に係合するとともに、位置決めピン９６が位置決め溝９４に係合する。これによって、クランプ機構６４のフレーム６０に対する左右方向の位置を、段階的に変更することができる。

なお、後方フレームプレート６０ｂの下面側には、ガタツキ防止プレート９８が設けられている。ガタツキ防止プレート９８は、後方フレームプレート６０ｂに対して、左右方向にわずかに（具体的には、位置決め溝９４の幅よりも小さい範囲で）スライド可能に支持されている。ガタツキ防止プレート９８には、位置決め溝９４と略同じ形状のガイド溝１００が形成されている。ガタツキ防止プレート９８は、ばね１０２を介して、後方フレームプレート６０ｂに固定されたブロック１０４に接続されている。ばね１０２は圧縮された状態で取り付けられており、ガタツキ防止プレート９８を左右方向の外側に向けて付勢する。位置決めピン９６が位置決め溝９４に係合する際には、位置決めピン９６がガイド溝１００と当接しながら押し込まれて、ガタツキ防止プレート９８はばね１０２からの付勢に抗して左右方向の内側にスライドする。位置決めピン９６が位置決め溝９４に係合した状態では、ばね１０２に付勢されたガタツキ防止プレート９８によって、位置決めピン９６が位置決め溝９４に対して左右方向の外側に向けて押圧される。これによって、位置決めピン９６の位置決め溝９４内でのガタツキが防止される。

以上のように、本実施例によれば、オペレータが工具を用いることなく、クランプ機構の左右方向の位置を変更することができる。ウエハテーブル３８のサイズ換え作業を、極めて容易に行うことができる。

本実施例によれば、どのようなサイズのウエハシートＷについても、ウエハテーブル３８に対して、前端中央を基準として位置決めがなされる。これにより、どのようなサイズのウエハシートＷについても、実装機Ｍに最も近い位置で保持することができる。実装機Ｍの実装ヘッドＨの移動距離を小さくすることができる。

なお、ウエハシートＷとして、サイズの異なるウエハを同一のトレイ形状のウエハ保持板に装着することで、ウエハテーブル３８のサイズを変更することなく、異なるサイズのウエハを扱うように構成することもできる。

本発明の代表的かつ非限定的な具体例について、図面を参照して詳細に説明した。この詳細な説明は、本発明の好ましい例を実施するための詳細を当業者に示すことを単純に意図しており、本発明の範囲を限定することを意図したものではない。また、開示された追加的な特徴ならびに発明は、さらに改善されたチップ供給装置を提供するために、他の特徴や発明とは別に、又は共に用いることができる。

また、上記の詳細な説明で開示された特徴や工程の組み合わせは、最も広い意味において本発明を実施する際に必須のものではなく、特に本発明の代表的な具体例を説明するためにのみ記載されるものである。さらに、上記の代表的な具体例の様々な特徴、ならびに、独立及び従属クレームに記載されるものの様々な特徴は、本発明の追加的かつ有用な実施形態を提供するにあたって、ここに記載される具体例のとおりに、あるいは列挙された順番のとおりに組合せなければならないものではない。

本明細書及び／又はクレームに記載された全ての特徴は、実施例及び／又はクレームに記載された特徴の構成とは別に、出願当初の開示ならびにクレームされた特定事項に対する限定として、個別に、かつ互いに独立して開示されることを意図するものである。さらに、全ての数値範囲及びグループ又は集団に関する記載は、出願当初の開示ならびにクレームされた特定事項に対する限定として、それらの中間の構成を開示する意図を持ってなされている。

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

Claims (5)

1. 基板にチップを実装する実装機にチップを供給するチップ供給装置であり、
   実装機の作業ヘッドがチップを受け取ることが可能な位置で、ウエハシートを保持するウエハテーブルを備えており、
   ウエハテーブルが、
   フレームと、
   フレームの前部中央に固定されており、ウエハシートの前端と当接するストッパと、
   フレームに支持されており、ウエハシートの両側端をクランプする一対のクランプ機構を備えており、
   一対のクランプ機構のフレームに対する左右方向の位置が、多段階に変更可能であるチップ供給装置。
2. フレームが、前方フレームプレートと、後方フレームプレートと、一対の側方フレームプレートを備えており、
   一対のクランプ機構のそれぞれが、前方フレームプレートと後方フレームプレートによって支持されており、
   一対のクランプ機構のそれぞれの前端近傍に前方係合部が形成されており、後端近傍に後方係合部が形成されており、
   前方フレームプレートに前方係合部と係合可能な前方被係合部が複数形成されており、
   前方被係合部の位置と対応する位置で、後方フレームプレートに後方係合部と係合可能な後方被係合部が複数形成されている請求項１のチップ供給装置。
3. 一対のクランプ機構のそれぞれが、
   メインプレートと、
   前方フレームプレートの後面と当接する前方ブロックと、
   後方フレームプレートの前面と当接する後方ブロックと、
   前方ブロックと後方ブロックの間に配置されており、メインプレートに固定された中間ブロックを備えており、
   前方ブロックおよび後方ブロックの一方が、メインプレートに対して前後方向にスライド可能に支持されており、中間ブロックと弾性体を介して接続されており、
   前方ブロックおよび後方ブロックの他方が、メインプレートに対して固定されており、
   弾性体が圧縮される方向に、メインプレートをフレームに対して移動させることで、前方係合部と前方被係合部の係合が解除され、かつ後方係合部と後方被係合部の係合が解除される請求項２のチップ供給装置。
4. 前方被係合部および後方被係合部の少なくとも一方に、弾性体を介してフレームに支持されたガタツキ防止プレートが設けられている請求項３のチップ供給装置。
5. メインプレートの上面に、識別マークが設けられている請求項１から４の何れか一項のチップ供給装置。

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