CN110164813B - 一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动。该装置结构简单，在不额外增加研发成本，以及保持原有的效率情况下，能够快速的完成8吋和12吋的wafer晶圆夹持进给机构的切换，并完成8吋(12吋)wafer晶圆夹持进给机构在X和Y两个方向的精准运动。

Description

一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置
技术领域
本发明提供了一种用于RFID标签热压生产中使用到的wafer晶圆夹持进给装置，尤其涉及一种适用于多尺寸规格的晶圆的夹持进给装置，属于机械装置技术领域。
背景技术
目前市场上生产RFID用的主流芯片载体是8寸wafer晶圆，现有的RFID封装设备的wafer晶圆夹持进给机构基本只能适应8寸wafer晶圆，但近几年12寸的wafer晶圆需求量在不断的增加，生产过程中，为了使用12寸的wafer晶圆，就需要一套12寸的wafer晶圆夹持进给机构，如此若要同时适应8寸和12寸的wafer晶圆，一台RFID封装设备就必须同时准备两套分别适应8寸和12寸的wafer晶圆夹持进给机构，这样不仅增加了研发成本，而且还增加了使用过程更换wafer晶圆夹持进给机构的时间，降低了效率。为了尽量不额外增加研发成本或增加很少量成本，并保持原有的效率，本领域需要发明一种能够同时适用8寸和12寸的wafer晶圆夹持进给机构。
发明内容
本发明提供了一种适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置，解决了现有技术中的不足，该装置结构简单，在不额外增加研发成本，以及保持原有的效率情况下，能够快速的完成8寸和12寸的wafer晶圆夹持进给机构的切换，并完成8寸(12寸)wafer晶圆夹持进给机构在X和Y两个方向的精准运动。
实现本发明上述目的所采用的技术方案为：
一种适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构，所述下拖板通过两根Y向直线导轨安装于底座上并能够沿Y向滑动，下拖板和底座之间还设置有Y向滚动丝杆组件，Y向滚动丝杆组件通过螺母座与下拖板连接，Y向电机安装于底座上并且与Y向滚动丝杆组件连接；所述上拖板通过两根X向直线导轨安装于下拖板上并能够沿X向滑动，上拖板和下拖板之间还设置有X向滚动丝杆组件，X向滚动丝杆组件通过螺母座与上拖板连接，X向电机安装于下拖板上并且与X向滚动丝杆组件连接；Y向电机驱动Y向滚动丝杆组件转动并进一步驱动下拖板连同上拖板沿着Y向直线导轨滑动，X向电机驱动X向滚动丝杆组件转动并进一步驱动上拖板沿着X向直线导轨滑动；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动。
所述下拖板的前侧面设置有T型槽，T型槽的两端分别设置有用于限位的X向传感器组件，T型槽的中部设置有用于定位的X向传感器组件，上拖板的前侧面设置有与X向传感器组件对应的X向传感器挡片，所述X向传感器挡片与上拖板一起相对于下拖板在T型槽内向X向运动。
所述底座的前侧面设置有T型槽，T型槽的两端分别设置有用于限位的Y向传感器组件，T型槽的中部设置有用于定位的Y向传感器组件，下拖板的右侧面设置有与Y向传感器组件对应的Y向传感器挡片，所述Y向传感器挡片与下拖板一起相对于底座在T型槽内向Y向运动。
所述导向导轨中的滑块通过滑块连接板与托板固定连接，导向导轨中的导轨条通过滑块固定板与上拖板固定连接。
所述气缸中的缸体通过固定板与上拖板固定连接，气缸中的活塞杆通过螺钉与托板固定连接。
与现有技术相比，本发明提供的适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置具有以下优点：该装置结构简单，在不额外增加研发成本，以及保持原有的效率情况下，能够快速的完成8寸和12寸的wafer晶圆夹持进给机构的切换，并完成8寸(12寸)wafer晶圆夹持进给机构在X和Y两个方向的精准运动。
附图说明
图1为本发明提供的wafer晶圆夹持进给装置的俯视图；
图2为图1的K向右旋90度视图；
图中：1-下拖板，2-X向滚动丝杆组件，3-X向直线导轨，4-托板，5-撑紧圈，6-压板，7-导向导轨，8-气缸，9-Y向传感器组件，10-Y向传感器挡片，11-上拖板，12-底座，13-Y向直线导轨，14-Y向滚动丝杆组件，15-X向传感器组件，16-X向传感器挡片，17-X向电机，18-Y向电机。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明做详细具体的说明。
本发明提供的适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置的结构如图1和图2所示，至少包括底座和夹持组件，底座12上设置有上下层叠布局的上拖板11和下拖板1，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构，所述下拖板通过两根Y向直线导轨13安装于底座上并能够沿Y向滑动，下拖板和底座之间还设置有Y向滚动丝杆组件14，Y向滚动丝杆组件14通过螺母座与下拖板连接，Y向电机18安装于底座上并且与Y向滚动丝杆组件连接。所述下拖板的边沿处设置有Y向传感器组件9，所述Y向传感器组件随下拖板一起在Y向运动，底座的边沿上设置有两个用于限位保护的Y向传感器挡片10，所述两个Y向传感器挡片设置于Y向传感器组件运行轨道的两端。Y向电机驱动Y向滚动丝杆组件转动并进一步驱动下拖板连同上拖板沿着Y向直线导轨滑动。
所述上拖板通过两根X向直线导轨3安装于下拖板上并能够沿X向滑动，上拖板和下拖板之间还设置有X向滚动丝杆组件2，X向滚动丝杆组件2通过螺母座与上拖板连接，X向电机17安装于下拖板上并且与X向滚动丝杆组件连接。
所述下拖板的前侧面设置有三组X向传感器组件15，所述X向传感器组件暂时固定于下拖板前侧面的T型槽里，其位置可以根据具体情况进行移动，其中置于T型槽两端的X向传感器组件起到限位作用，置于T型槽中间的X向传感器组件起到定位作用，与X向传感器组件对应的X向传感器挡片16固定于上拖板的前侧面，所述的X向传感器挡片与上拖板一起相对于下拖板向X向运动。
所述底座的右侧面设置有三组Y向传感器组件9，所述Y向传感器组件暂时固定于底座右侧面的T型槽里，其位置可以根据具体情况进行移动，其中置于T型槽两端的Y向传感器组件起到限位作用，置于T型槽中间的Y向传感器组件起到定位作用，与Y向传感器组件对应的Y向传感器挡片10固定于下拖板的右侧面，所述的Y向传感器挡片与下拖板一起相对于底座在Y向运动。
夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板4、撑紧圈5以及压板6，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨7和气缸8，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动。所述导向导轨中的滑块通过滑块连接板与托板固定连接，导向导轨中的导轨条通过滑块固定板与上拖板固定连接。所述气缸中的缸体通过固定板与上拖板固定连接，气缸中的活塞杆通过螺钉与托板固定连接。
本实施例中，8寸和12寸的wafer晶圆夹持进给机构的切换具体流程如下：(1)用扳手松开导向导轨与托板的连接螺钉，以及气缸与托板的连接螺钉，然后取下托板、压板；(2)接着松开撑紧圈与上拖板的连接螺钉，取下撑紧圈，此时已经取下了8寸的夹持组件。(3)将准备好的12寸的夹持组件中的撑紧圈用螺钉固定在上拖板上；(4)将12寸夹持组件中的托板、压板事先用螺钉连接好，成为一个整体，然后将连接好的整体用螺钉分别与导向导轨和气缸连接，此时已初步完成12寸的夹持组件切换的过程；(4)微调相关螺钉的松紧度，包括托板与导向导轨、气缸之间的连接螺钉，以及导向导轨中滑块与滑块连接板的连接螺钉，这是最关键的一步，直到夹持组件中的托板和压板能够顺畅的用手抬起。

Claims (3)

1.一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，其特征在于：底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构，所述下拖板通过两根Y向直线导轨安装于底座上并能够沿Y向滑动，下拖板和底座之间还设置有Y向滚动丝杆组件，Y向滚动丝杆组件通过螺母座与下拖板连接，Y向电机安装于底座上并且与Y向滚动丝杆组件连接；所述上拖板通过两根X向直线导轨安装于下拖板上并能够沿X向滑动，上拖板和下拖板之间还设置有X向滚动丝杆组件，X向滚动丝杆组件通过螺母座与上拖板连接，X向电机安装于下拖板上并且与X向滚动丝杆组件连接；Y向电机驱动Y向滚动丝杆组件转动并进一步驱动下拖板连同上拖板沿着Y向直线导轨滑动，X向电机驱动X向滚动丝杆组件转动并进一步驱动上拖板沿着X向直线导轨滑动；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动；
所述下拖板的前侧面设置有T型槽，T型槽的两端分别设置有用于限位的X向传感器组件，T型槽的中部设置有用于定位的X向传感器组件，上拖板的前侧面设置有与X向传感器组件对应的X向传感器挡片，所述X向传感器挡片与上拖板一起相对于下拖板在T型槽内向X向运动；
所述底座的前侧面设置有T型槽，T型槽的两端分别设置有用于限位的Y向传感器组件，T型槽的中部设置有用于定位的Y向传感器组件，下拖板的右侧面设置有与Y向传感器组件对应的Y向传感器挡片，所述Y向传感器挡片与下拖板一起相对于底座在T型槽内向Y向运动。
2.根据权利要求1所述的适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置，其特征在于：所述导向导轨中的滑块通过滑块连接板与托板固定连接，导向导轨中的导轨条通过滑块固定板与上拖板固定连接。
3.根据权利要求1所述的适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置，其特征在于：所述气缸中的缸体通过固定板与上拖板固定连接，气缸中的活塞杆通过螺钉与托板固定连接。
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