CN110656316B - 夹具及具有其的镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及具有其的镀膜设备，夹具包括本体部、压条以及第一限位板；压条设置在本体部上，压条为多个，相邻两个压条与本体部之间形成用于夹设工件的容纳空间，容纳空间的至少部分位于压条的下方；第一限位板设置在本体部上，且位于相邻两个压条的端部，以限制工件从容纳空间的一端滑出；其中，相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，以调节容纳空间的大小。由于相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，即容纳空间可以适应不同大小的工件，从而实现了对多尺寸工件的放置。

Description

夹具及具有其的镀膜设备

技术领域

本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及具有其的镀膜设备。

背景技术

产品的装夹固定在PVD物理气相沉积(真空镀膜等)领域中是一项必不可少的工作。PVD物理气相沉积领域中，绝大部份的产品都很单薄，现阶段多般采用以下二种方式对产品进行固定。

第一种是采用高温胶带将产品固定在基板上，再把基板挂在设备转架上。基板围绕着转架挂满一圈，在成膜过程中绕着转架中心进行快速旋转，很多时候基板上的产品在旋转过程中，由于高温胶带失效或贴不紧导致产品被甩掉。这种方法的缺点很明显：装卸产品过程繁琐，要装产品摆正后，再人工贴高温胶带，工作量大，费时费力，浪费生产成本，而且甩出来的产品属于废品，直接影响产品的不良率。

第二种方法是根据产品规格大小制作相应固定的夹具，不同规格尺寸的产品对应不同规格的固定夹具。这种方法的缺点是：产品规格种类多的生产厂家，需要针对不同的产品备制不同的夹具，每更换一种产品，需要更换一批夹具，增加夹具的制造成本及夹具管理成本。

发明内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种夹具及具有其的镀膜设备。

根据本发明的第一个方面，提供了一种夹具，包括：

本体部；

压条，压条设置在本体部上，压条为多个，相邻两个压条与本体部之间形成用于夹设工件的容纳空间，容纳空间的至少部分位于压条的下方；

第一限位板，第一限位板设置在本体部上，且位于相邻两个压条的端部，以限制工件从容纳空间的一端滑出；

其中，相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，以调节容纳空间的大小。

在本发明的一个实施例中，相邻两个压条中的至少一个为L型板或T型板，以与本体部之间形成预设空间，预设空间为容纳空间的至少部分。

在本发明的一个实施例中，相邻两个压条平行设置，以使容纳空间为矩形空间；

其中，多个压条的长度可不相等。

在本发明的一个实施例中，本体部上设置有滑槽，夹具还包括：

滑块，滑块与压条相连接，滑块设置在滑槽内，以使压条通过滑块设置在本体部上；

其中，滑块具有与本体部相贴合的第一状态和与本体部相分离的第二状态，当滑块具有第一状态时，滑块与滑槽相对固定设置，当滑块具有第二状态时，滑块沿滑槽可移动地设置。

在本发明的一个实施例中，滑块沿滑槽的高度方向可移动地设置，以使滑块与本体部背离压条的一面相贴合或相分离。

在本发明的一个实施例中，滑块包括：

滑动段，滑动段设置在滑槽内，且与压条相连接；

止挡段，止挡段与滑动段相连接，止挡段位于本体部背离压条的一侧；

其中，当滑块具有第一状态时，止挡段与本体部相贴合，且止挡在滑槽的端口上，当滑块具有第二状态时，止挡段与本体部相分离。

在本发明的一个实施例中，夹具还包括：

第二限位板，第二限位板设置在本体部背离压条的一侧，第二限位板上设置有容纳槽，容纳槽与滑槽相对设置，且与滑槽的延伸方向相一致；

其中，止挡段位于容纳槽内，容纳槽的高度大于止挡段的厚度，以使止挡段沿容纳槽的高度方向可移动地设置。

在本发明的一个实施例中，夹具还包括：

紧固螺钉，紧固螺钉穿过压条后与滑动段相连接，并在转动紧固螺钉时，使滑动段沿紧固螺钉移动，以使滑块在第一状态和第二状态之间移动。

在本发明的一个实施例中，滑槽为多个，滑块为多个；

其中，压条上连接有多个滑块，滑槽内设置有多个滑块，第一限位板上连接有滑块。

根据本发明的第二方面，提供了一种镀膜设备，包括上述的夹具和镀膜设备本体，安装有工件的夹具用于放置在镀膜设备本体内。

本发明的夹具通过设置在本体部上的压条和第一限位板能够将工件可靠地设置在容纳空间内。其中，容纳空间由相邻两个压条和本体部形成，且工件的至少部分位于压条的下方，即压条用于对工件进行限位，而结合位于相邻两个压条端部的第一限位板可以将工件可靠地设置在容纳空间内。由于相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，即容纳空间可以适应不同大小的工件，从而实现了对多尺寸工件的放置。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本公开的优选实施方式的详细说明，本公开的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本公开的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是根据一示例性实施方式示出的一种夹具的第一个视角的结构示意图；

图2是根据一示例性实施方式示出的一种夹具的第二个视角的结构示意图；

图3是根据一示例性实施方式示出的一种夹具的第三个视角的结构示意图；

图4是图2中A-A处剖面结构示意图；

图5是图2中C-C处剖面结构示意图；

图6是图5中B处的滑块处于第二状态的局部放大结构示意图；

图7是图5中B处的滑块处于第一状态的局部放大结构示意图。

附图标记说明如下：

10、本体部；11、滑槽；20、压条；21、容纳空间；30、第一限位板；40、滑块；41、滑动段；42、止挡段；50、第二限位板；51、容纳槽；60、紧固螺钉；70、第一挡板；71、第一挂孔；72、钩槽；80、第二挡板；81、第二挂孔；82、限位卡槽；90、摆放导向板；91、导向槽。

具体实施方式

体现本公开特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本公开能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本公开的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本公开。

在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构，系统和步骤。应理解的是，可以使用部件，结构，示例性装置，系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”，“之间”，“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。

本发明的一个实施例提供了一种夹具，请参考图1至图7，夹具包括：本体部10；压条20，压条20设置在本体部10上，压条20为多个，相邻两个压条20与本体部10之间形成用于夹设工件的容纳空间21，容纳空间21的至少部分位于压条20的下方；第一限位板30，第一限位板30设置在本体部10上，且位于相邻两个压条20的端部，以限制工件从容纳空间21的一端滑出；其中，相邻两个压条20中的至少一个可移动地设置，以调节容纳空间21的大小。

本发明一个实施例的夹具通过设置在本体部10上的压条20和第一限位板30能够将工件可靠地设置在容纳空间21内。其中，容纳空间21由相邻两个压条20和本体部10形成，且工件的至少部分位于压条20的下方，即压条20用于对工件进行限位，而结合位于相邻两个压条20端部的第一限位板30可以将工件可靠地设置在容纳空间21内。由于相邻两个压条20中的至少一个可移动地设置，即容纳空间21可以适应不同大小的工件，从而实现了对多尺寸工件的放置，解决了现有技术中的夹具只能够用于单一工件的问题。

在一个实施例中，第一限位板30可以设置在相邻两个压条20之间，也可以设置在相邻两个压条20的外侧，其主要目的是防止工件从容纳空间21的一端滑出。

在一个实施例中，第一限位板30的位置可调节地设置，即其相对于相邻两个压条20的端部可移动地设置，从而调节其相对于两个压条20的位置关系。

在一个实施例中，第一限位板30可以直接固定在本体部10上。

在一个实施例中，第一限位板30为多个，相邻两个压条20都可以对应一个第一限位板30，而多个第一限位板30可以固定设置在本体部10上，也可以位置可调节地设置在本体部10上。

在一个实施例中，相邻两个压条20中的至少一个为L型板或T型板，以与本体部10之间形成预设空间，预设空间为容纳空间21的至少部分。其中，当压条20为L型板时，其形成的L型空间朝向与其形成容纳空间21的另一个压条20，此处的L型类似在一个板体上切出一个L型，此L型与本体部10形成了一个矩形槽，而工件的侧端位于此矩形槽内。当压条20为T型板时，可以理解为在其两侧形成了两个L型空间。

在一个实施例中，相邻两个压条20平行设置，以使容纳空间21为矩形空间；其中，多个压条20的长度可不相等。如图1所示，此时，压条20为3对，其中一对为长压条20，另外两对为短压条20，其能够用于放置不同长度的工件，且用于放置的工件大小可以是多种类型。

在一个实施例中，压条20的分布方式可以是多种，其长短选择可以根据不同工件的需求进行选择。

如图2和图4所示，本体部10上设置有滑槽11，夹具还包括：滑块40，滑块40与压条20相连接，滑块40设置在滑槽11内，以使压条20通过滑块40设置在本体部10上；其中，滑块40具有与本体部10相贴合的第一状态和与本体部10相分离的第二状态，当滑块40具有第一状态时，滑块40与滑槽11相对固定设置，当滑块40具有第二状态时，滑块40沿滑槽11可移动地设置。

在一个实施例中，压条20通过滑块40相对于本体部10移动，而滑块40可以与本体部10相贴合也可以与本体部10相分离，从而可以使得滑块40与滑槽11相对固定或者相对可移动。

在一个实施例中，滑块40沿滑槽11的高度方向可移动地设置，以使滑块40与本体部10背离压条20的一面相贴合或相分离。滑块40的部分段体和压条20位于本体部10的两侧，而通过滑块40沿滑槽11的高度方向移动，可以使得滑块40与本体部10相贴紧或相分离，从而实现滑块40相对于滑槽11的固定与移动。

如图6和图7所示，滑块40包括：滑动段41，滑动段41设置在滑槽11内，且与压条20相连接；止挡段42，止挡段42与滑动段41相连接，止挡段42位于本体部10背离压条20的一侧；其中，当滑块40具有第一状态时，止挡段42与本体部10相贴合，且止挡在滑槽11的端口上，当滑块40具有第二状态时，止挡段42与本体部10相分离。

在一个实施例中，如图6所示，止挡段42与本体部10之间具有间隙，即滑块40可以相对于滑槽11移动，即压条20位置可调节地设置。

在一个实施例中，如图7所示，止挡段42与本体部10之间相贴合，此时，滑块40相对于滑槽11固定设置，即压条20不可以移动。

在一个实施例中，滑槽11的延伸方向垂直于压条20的延伸方向，从而保证相邻两个压条20之间的距离可调节地设置。

如图3和图6所示，夹具还包括：第二限位板50，第二限位板50设置在本体部10背离压条20的一侧，第二限位板50上设置有容纳槽51，容纳槽51与滑槽11相对设置，且与滑槽11的延伸方向相一致；其中，止挡段42位于容纳槽51内，容纳槽51的高度大于止挡段42的厚度，以使止挡段42沿容纳槽51的高度方向可移动地设置。

在一个实施例中，本体部10上设置有安装槽，第二限位板50的至少部分位于安装槽内，第二限位板50与压条20分别位于本体部10的两侧，而止挡段42的两侧分别于本体部10和第二限位板50相对设置，止挡段42在第二限位板50的容纳槽51内可移动地设置，从而满足止挡段42与本体部10的分离与贴合状态。

在一个实施例中，第二限位板50与本体部10螺钉连接，或卡接，或者粘结，第二限位板50可拆卸地设置在本体部10上，也方便滑块40的安装与取出。

如图6和图7所示，夹具还包括：紧固螺钉60，紧固螺钉60穿过压条20后与滑动段41相连接，并在转动紧固螺钉60时，使滑动段41沿紧固螺钉60移动，以使滑块40在第一状态和第二状态之间移动。

在一个实施例中，紧固螺钉60即起到连接压条20与滑块40的作用，也起到驱动滑块40移动的作用，即使得滑块40在第一状态和第二状态之间切换，二者之间由于属于螺纹连接，其驱动原理类似丝杠丝母的驱动原理。

在一个实施例中，滑槽11为多个，滑块40为多个；其中，压条20上连接有多个滑块40，滑槽11内设置有多个滑块40，第一限位板30上连接有滑块40。

在一个实施例中，压条20连接有至少两个滑块40，从而可以防止压条20出现转动。

在一个实施例中，第一限位板30通过滑块40相对于本体部10移动。

在一个实施例中，本体部10为板体，其上设置有多个滑槽11。

在一个实施例中，如图3和图4所示，镀膜设备还包括设置在镀膜设备本体内的挂架，夹具还包括：摆放导向板90，摆放导向板90设置在本体部10背离压条20的一侧，摆放导向板90与本体部10之间具有导向槽91；第二挡板80，第二挡板80上设置有限位卡槽82，导向槽91和限位卡槽82用于将夹具放置在预设摆放工件上。

摆放导向板90的设置主要方便夹具的收纳，即其通过摆放导向板90与本体部10之间具有导向槽91可以方便地收纳在收纳工具内。

在一个实施例中，摆放导向板90和第二挡板80相互配合方便夹具的收纳，即工具通过导向槽91和限位卡槽82可以与预设摆放工件相互配合，从而对夹具进行定位放置。

本发明的一个实施例还提供了一种镀膜设备，包括上述的夹具和镀膜设备本体，安装有工件的夹具用于放置在镀膜设备本体内。

如图2和图3所示，镀膜设备还包括设置在镀膜设备本体内的挂架，夹具还包括：第一挡板70，第一挡板70设置在本体部10的一端，第一挡板70上设置有第一挂孔71和钩槽72，第一挂孔71挂设在挂架上；第二挡板80，第二挡板80设置在本体部10远离第一挡板70的另一端，第二挡板80上设置有第二挂孔81，第二挂孔81挂设在挂架上。

在一个实施例中，第一挡板70分为第一挂钩挡板和第二挂钩板，第一挂钩挡板和第二挂钩板位于本体部10的两侧，第一挂钩挡板与压条20位于同一面上，且上开有钩槽72，即可用专用工具或机械手钩住钩槽72，将夹具拿出，方便大批量的生产装载。第二挂钩板上至少开设有第一挂孔71和钩槽72，第一挂孔71的作用是使夹具能稳固的挂上挂架的挂钩上。

在一个实施例中，第二挡板80由设置在本体部10两侧的挡板和定位钩板组成，挡板上设置有限位卡槽82，限位卡槽82用于与导向槽91配合可以将夹具放置在料框里，起到导向和定位作用，夹具不会倾斜或掉下，防止伤人。定位钩板上至少设置有第二挂孔81，用于挂设在挂架上。

在一个实施例中，夹具可用于PVD物理气相沉积、真空镀膜等工作环境，其是一种可调式的活动夹具，该夹具可简单快速实现不同规格产品的装夹，根据产品的规格大小，移动中间的滑块40，滑块40上装有产品压条20，相邻两个压条20之间会形成一个T型槽(容纳空间21，即类似一个两端开口，上部开口的结构)，移动滑块40可以调节两个压条之间的距离，产品可以轻松快速的装载在T型槽里面。甚至可以在同一块基板(本体部10)上，同时实现多个不同尺寸规格的产品装载，装载位置任意可调。

其中，可调式夹具是由基板(本体部10)、长压条20、短压条20、滑块40、滑块限位板(第二限位板50)、限位板(第一限位板30)、下挡板(第二挡板80)、辅助摆放导向块(摆放导向板90)、螺钉等组成。

本夹具在PVD物理气相沉积(真空镀膜等)领域下使用，根据设备的大小，制作相对应的基板。基板上安装若干个滑块限位板，装上滑块40，压条20装在滑块40上面，滑块40在第二限位板50里面移动，相邻两个压条20之间形成一个T型槽，根据产品的大小调整两个滑块40，上紧压条上的螺钉(紧固螺钉60)，确保产品能顺利的放进两个压条之间的T型槽里面。压条20的底部或中间装有第一限位板30，防止产品从底部滑落。每做一炉更换产品时，只需要把产品从T型槽上面缺口推出来，再把新的产品从T型槽缺口插进去即可。

该夹具结构简单，产品装载轻松便捷，采用T型槽卡位，定位安全可靠，可实现多种规格尺寸产品的装载，节省大量工装成本、人工成本及时间成本，特别适合产品规格种类多的生产厂家使用。另外由于可在同一块基板上实现不同规格产品同时装截，且装截的区域在基板上任意可调，该夹具也适合用于试验设备或者需要测试基片上某个区域的产品的镀膜效果。

本发明的夹具可以方便、快速的实现产品的装夹固件，安全可靠，产品在制作过程中，不会因为高温胶带的失效被甩旧，大大提高生产效率。针对不同大小的产品，只需要调整压条的间距，简单快捷，不需要更换夹具，减少夹具制作成本和夹具管理成本，适用于产品规格繁多的生产任务。同一夹具可摆放不同规格的产品，且可摆放在本体部上的任意区域，提高了产品测试数据的可靠性。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本发明旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和示例实施方式仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种夹具，其特征在于，包括：

本体部(10)；

压条(20)，所述压条(20)设置在所述本体部(10)上，所述压条(20)为多个，相邻两个所述压条(20)与所述本体部(10)之间形成用于夹设工件的容纳空间(21)，所述容纳空间(21)的至少部分位于所述压条(20)的下方；

第一限位板(30)，所述第一限位板(30)设置在所述本体部(10)上，且位于相邻两个所述压条(20)的端部，以限制所述工件从所述容纳空间(21)的一端滑出；

其中，相邻两个所述压条(20)中的至少一个可移动地设置，以调节所述容纳空间(21)的大小。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，相邻两个所述压条(20)中的至少一个为L型板或T型板，以与所述本体部(10)之间形成预设空间，所述预设空间为所述容纳空间(21)的至少部分。

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，相邻两个所述压条(20)平行设置，以使所述容纳空间(21)为矩形空间；

其中，多个所述压条(20)的长度不相等。

4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述本体部(10)上设置有滑槽(11)，所述夹具还包括：

滑块(40)，所述滑块(40)与所述压条(20)相连接，所述滑块(40)设置在所述滑槽(11)内，以使所述压条(20)通过所述滑块(40)设置在所述本体部(10)上；

其中，所述滑块(40)具有与所述本体部(10)相贴合的第一状态和与所述本体部(10)相分离的第二状态，当所述滑块(40)具有所述第一状态时，所述滑块(40)与所述滑槽(11)相对固定设置，当所述滑块(40)具有所述第二状态时，所述滑块(40)沿所述滑槽(11)可移动地设置。

5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述滑块(40)沿所述滑槽(11)的高度方向可移动地设置，以使所述滑块(40)与所述本体部(10)背离所述压条(20)的一面相贴合或相分离。

6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述滑块(40)包括：

滑动段(41)，所述滑动段(41)设置在所述滑槽(11)内，且与所述压条(20)相连接；

止挡段(42)，所述止挡段(42)与所述滑动段(41)相连接，所述止挡段(42)位于所述本体部(10)背离所述压条(20)的一侧；

其中，当所述滑块(40)具有所述第一状态时，所述止挡段(42)与所述本体部(10)相贴合，且止挡在所述滑槽(11)的端口上，当所述滑块(40)具有所述第二状态时，所述止挡段(42)与所述本体部(10)相分离。

7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括：

第二限位板(50)，所述第二限位板(50)设置在所述本体部(10)背离所述压条(20)的一侧，所述第二限位板(50)上设置有容纳槽(51)，所述容纳槽(51)与所述滑槽(11)相对设置，且与所述滑槽(11)的延伸方向相一致；

其中，所述止挡段(42)位于所述容纳槽(51)内，所述容纳槽(51)的高度大于所述止挡段(42)的厚度，以使所述止挡段(42)沿所述容纳槽(51)的高度方向可移动地设置。

8.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括：

紧固螺钉(60)，所述紧固螺钉(60)穿过所述压条(20)后与所述滑动段(41)相连接，并在转动所述紧固螺钉(60)时，使所述滑动段(41)沿所述紧固螺钉(60)移动，以使所述滑块(40)在所述第一状态和所述第二状态之间移动。

9.根据权利要求4至8中任一项所述的夹具，其特征在于，所述滑槽(11)为多个，所述滑块(40)为多个；

其中，所述压条(20)上连接有多个所述滑块(40)，所述滑槽(11)内设置有多个滑块(40)，所述第一限位板(30)上连接有所述滑块(40)。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的夹具和镀膜设备本体，安装有工件的所述夹具用于放置在所述镀膜设备本体内。

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