JP5973728B2 - バッチ式熱処理装置及び該装置に適用されるヒータ - Google Patents
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Description
10 基板
12 ホルダ
100 チャンバ
102 フレーム
104 ドア
106 カバー
108 ボート
120 主ヒータユニット
140a 第1補助ヒータユニット
140b 第2補助ヒータユニット
150a 第1補助ヒータ
150b 第2補助ヒータ
160 ガス供給管
170 ガス排出管
180 冷却管
200 主ヒータ
200a、200b ヒータ
220a、220b 第1管
240a、240b 第2管
260 第3管
280 固定キャップ
300 第1冷却部
310 第1本体
320 冷却水流入管
330 冷却水流出管
340 フランジ
400 冷却部
410 第2本体
420 ガス管
500 端子部
510、510b 導電管
520 第1固定ナット
530 第1保護ナット
540 第2保護ナット
600 絶縁部
610 絶縁キャップ
620 溝
630 第2固定ナット
Claims (10)
- 複数枚の基板を同時に熱処理するバッチ式熱処理装置であって、
前記複数枚の基板に対して熱処理空間を提供するチャンバと、
前記基板の積載方向に沿って一定間隔で前記チャンバ内部に固定されて配置され、各々が複数の主ヒータで構成されるような複数の主ヒータユニットとを含み、
前記基板が、前記複数の主ヒータユニットの間に配置され、
前記複数の主ヒータが、第1管と、前記第1管と一定の間隔をおいて該第1管を取り囲む第2管とを含み、
前記第1管はその内部または外部に発熱要素を有し、前記第1管は前記第2管から分離可能であり、
前記チャンバ内部の熱損失を防止するための複数の補助ヒータユニットをさらに含み、
前記複数の補助ヒータユニットが、前記基板の短辺と平行に配置される第1補助ヒータユニットと、前記基板の長辺と平行に配置される第2補助ヒータユニットとを含み、
前記第1補助ヒータユニットが、前記主ヒータユニットの両側に前記主ヒータと平行に配置される複数の第1補助ヒータで構成され、
前記第2補助ヒータユニットが、前記主ヒータユニットの両側に前記主ヒータと垂直に配置される複数の第2補助ヒータで構成されることを特徴とするバッチ式熱処理装置。 - 基板を支持する支持部を備えた複数の支柱により上下に間隔をおいて前記複数枚の基板を複数段に水平に搭載支持するボートであって、前記複数の支柱は、前記複数枚の基板の対辺に沿って各辺に2つ以上配置され、前記支持部は、前記複数の支柱の各々から前記複数段の各段毎に前記複数枚の基板の内方側に向かって腕状に延び出す、該ボートをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のバッチ式熱処理装置。
- 前記基板が、前記基板全体をその主面上に載せられるサイズを有し、熱処理工程中に平坦性を保持する板状材である基板ホルダ上に載置された状態で前記ボートに搭載されることを特徴とする請求項2に記載のバッチ式熱処理装置。
- 前記複数の主ヒータが、前記基板の短辺と平行に一定間隔で配置されていることを特徴とする請求項1に記載のバッチ式熱処理装置。
- 任意の主ヒータユニットの主ヒータが、前記任意の主ヒータユニットに最も隣接する主ヒータユニットの主ヒータと整列して配置されていることを特徴とする請求項1に記載のバッチ式熱処理装置。
- 任意の主ヒータユニットの主ヒータが、前記任意の主ヒータユニットに最も隣接する主ヒータユニットの主ヒータからずれて配置されていることを特徴とする請求項1に記載のバッチ式熱処理装置。
- 前記チャンバ内部を冷却するための複数の冷却管をさらに含み、前記冷却管が、前記基板の短辺方向に沿って前記複数の主ヒータの間に配置されることを特徴とする請求項1に記載のバッチ式熱処理装置。
- 前記冷却管の内部には冷却ガスが流れ、前記冷却管は熱伝導率の高い材質からなることを特徴とする請求項7に記載のバッチ式熱処理装置。
- 前記チャンバ内部にプロセスガスを供給するガス供給部と、前記チャンバ内部から排ガスを排出するガス排出部とをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のバッチ式熱処理装置。
- 前記ガス供給部が、プロセスガスが流出する複数の第1ガス孔が形成されたガス供給管を含み、
前記ガス排出部が、排ガスが流入する複数の第2ガス孔が形成されたガス排出管を含むことを特徴とする請求項9に記載のバッチ式熱処理装置。
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