KR101479224B1 - 박판형 운모 히터 - Google Patents

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박석환
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Abstract

박판형 운모 히터 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 전원을 공급하기 위한 공통 단자를 가지고, 일정한 크기의 제1 전력을 갖는 제1 히팅부, 상기 제1 히팅부와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자와 다른 극의 제2 단자를 가지고, 상기 제1 히팅부와 동일한 크기의 제1 전력을 갖는 제2 히팅부, 및 상기 제1 히팅부와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자와 다른 극의 제3 단자를 가지고, 상기 제1, 제2 히팅부와 다른 크기의 제2 전력을 갖는 제3 히팅부를 포함한다.

Description

박판형 운모 히터{THIN PLATE MICA HEATER}
본 발명은 박판형 운모 히터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 종래 박판형 운모 히터의 구조를 개선하여 히팅 시스템에 사용되는 히터 수량을 최소화하여 시스템 제조비용 절감 및 히팅 시스템 구조를 간단하게 하고, 밀폐 시스템에서 히터 전원공급선을 통하여 외부로 손실되는 열을 줄이고, 시스템 내부 온도 균일도도 높일 수 있도록 한 박판형 운모 히터에 관한 것이다.
일반적으로, 박판형 운모 히터는 두께가 얇은 운모판과 운모판 사이에 가는 열선을 고정시킨 후 열선의 양단에 전압을 가하면 열선에 열이 발생하며 그 열은 다시 운모판에 전달되며, 다시 운모판의 열은 열의 발생을 원하는 피사체 전달되어 열기구로서의 목적을 달성하게 만드는 것이다.
이와 같이 운모를 절연체로 사용하는 박판형 운모 히터는 온도에 따른 용량 변화가 적고 절연저항이 높은 장점이 있어 최근 들어 사용이 증가하고 있다.
종래의 박판형 운모 히터는 히팅하고자 하는 부분의 온도 균일도를 향상시키고, 히터 사용 공간의 최소화를 통한 사용공간 제약조건을 극복하고자, 도 1과 같이 열선(1)을 절연하기 위한 절연 모재(Mica plate)(3) 사이에 고온 작동 및 열적 내구성과 공기 등으로부터 부식 방지를 위하여 SUS계열이나 순니켈선 계열의 히팅 열선을 사용하였다. 또한, 절연 모재(3)는 고온에서의 내구성이 우수하고, 박판제조가 가능한 운모(Mica) 절연재를 이용하였다.
종래기술의 박판형 운모(Mica) 히터를 이용하면 도 2와 같이 히팅하고자 하는 영역이 Zone1은 200W, Zone2는 100, Zone3는 200W인 경우 각각의 영역을 히팅하기 위하여 도 3과 같이 3개의 히터(10, 20, 30)를 사용하고, 각각의 히터(10, 20, 30)를 제어하기 위하여 3개의 제어시스템이 필요로 하게 된다.
따라서, 히터 3개 사용으로 인하여 히팅 시스템 비용이 상승하게 되고, 히팅 시스템이 복잡하게 된다. 또한, 각각의 히터 전원선(11, 12, 21, 22, 31, 32)을 2개씩 사용하여 전체 6개의 전원공급선을 사용함으로 인해 밀폐된 시스템에서는 전원공급선을 통하여 많은 열이 외부로 손실되게 되는 문제점이 발생하게 된다. 또한, 전원공급선을 통한 열손실이 크면 밀폐 시스템에서 열손실도 커지지만, 시스템 내부 온도 균일도가 떨어지는 문제점이 발생되었다.
본 발명은 종래 박판형운모 히터의 구조를 개선하여 히팅 시스템에 사용되는 히터 수량을 최소화하여 시스템 제조비용 절감 및 히팅 시스템 구조를 간단하게 하고, 밀폐 시스템에서 히터 전원공급선을 통하여 외부로 손실되는 열을 줄이고, 시스템 내부 온도 균일도도 높일 수 있도록 한 박판형 운모 히터 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 전원을 공급하기 위한 공통 단자를 가지고, 일정한 크기의 제1 전력을 갖는 제1 히팅부,
상기 제1 히팅부와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자와 다른 극의 제2 단자를 가지고, 상기 제1 히팅부와 동일한 크기의 제1 전력을 갖는 제2 히팅부, 및
상기 제1 히팅부와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자와 다른 극의 제3 단자를 가지고, 상기 제1, 제2 히팅부와 다른 크기의 제2 전력을 갖는 제3 히팅부를 포함하는 박판형 운모 히터가 제공될 수 있다.
상기 제3 히팅부는 상기 제1 히팅부와 상기 제2 히팅부 사이에 배치될 수 있다.
상기 제1 히팅부는 상기 공통 단자와 연결되고, 전원이 인가되면 제1 전력을 생성할 수 있도록 열을 발생하는 제1 열선과,
상기 제1 열선을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제1 열선을 절연하기 위한 제1 절연 모재를 포함할 수 있다.
상기 제2 히팅부는 상기 제2 단자와 연결되고, 전원이 인가되면 제1 전력을 발생할 수 있도록 열을 발생하는 제2 열선과,
상기 제2 열선을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제2 열선을 절연하기 위한 제2 절연 모재를 포함할 수 있다.
상기 제3 히팅부는 상기 공통 단자 및 상기 제3 단자와 연결되고, 전원이 인가되면 제2 전력을 발생할 수 있도록 열을 발생하는 제3 열선과,
상기 제3 열선을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제3 열선을 절연하기 위한 제3 절연 모재를 포함할 수 있다.
상기 제1 열선과 상기 제2 열선은 동일한 크기의 전력을 생산할 수 있도록 동일한 열선으로 이루어질 수 있다.
상기 제2 열선은 상기 제1 열선과 연결 열선에 의하여 일체로 연결될 수 있다.
상기 공통 단자는 양극 단자 또는 음극 단자로 이루어지고, 상기 제2 단자 및 제3 단자는 음극 단자 또는 양극 단자로 이루어질 수 있다.
상기 제1 히팅부의 제1 열선과 제1 절연 모재는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 중 어느 한가지 방식으로 제조될 수 있다.
상기 제2 히팅부의 제2 열선과 제2 절연 모재는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 중 어느 한가지 방식으로 제조될 수 있다.
상기 제3 히팅부의 제3 열선과 제3 절연 모재는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 중 어느 한가지 방식으로 제조될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 히팅 시스템에 사용되는 히터 수량을 최소화함으로써, 즉, 히터 수량 3개를 1개로 줄임으로써 시스템 제조비용을 30%이상 절감 할 수 있으며, 히터 전원공급선을 6개에서 3개 사용으로 기존 대비 열손실을 50% 감소시킬 수 있고, 시스템 내부 온도 균일도도 매우 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 박판형 운모 히터 구조를 도시한 개략적인 구성도이다.
도 2는 종래기술에 따른 박판형 운모 히터의 히팅 존을 도시한 도면이다.
도 3은 종래기술에 따른 박판형 운모 히터의 히팅 시스템의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 박판형 운모 히터의 히팅 시스템의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.
이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함하는” 의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
이하에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 박판형 운모 히터의 히팅 시스템의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 박판형 운모 히터는, 전원을 공급하기 위한 공통 단자(110)를 가지고, 일정한 크기의 제1 전력을 갖는 제1 히팅부(100),
상기 제1 히팅부(100)와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자(110)와 다른 극의 제2 단자(210)를 가지고, 상기 제1 히팅부(100)와 동일한 크기의 제1 전력을 갖는 제2 히팅부(200),
상기 제1 히팅부(100)와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자(110)와 다른 극의 제3 단자(310)를 가지고, 상기 제1, 제2 히팅부(100, 200)와 다른 크기의 제2 전력을 갖는 제3 히팅부(300)를 포함할 수 있다.
상기 제3 히팅부(300)는 상기 제1 히팅부(100)와 상기 제2 히팅부(200) 사이에 배치될 수 있다.
여기에서는 히팅부가 3개인 경우, 즉, 히팅 영역이 3개인 경우를 예시하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고 히팅 전력량을 고려하여 히팅 영역이 3개 이상인 경우에도 본 발명에 따른 원리에 따라 동일한 방식으로 적용될 수 있음은 물론이다.
상기 제1 히팅부(100)는 상기 공통 단자(110)와 연결되고, 전원이 인가되면 제1 전력을 생성할 수 있도록 열을 발생하는 제1 열선(120)과,
상기 제1 열선(120)을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제1 열선(120)을 절연하기 위한 제1 절연 모재(130)를 포함할 수 있다.
상기 제2 히팅부(200)는 상기 제2 단자(210)와 연결되고, 전원이 인가되면 제1 전력을 발생할수 있도록 열을 발생하는 제2 열선(220)과,
상기 제2 열선(220)을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제2 열선(220)을 절연하기 위한 제2 절연 모재(230)를 포함할 수 있다.
상기 제3 히팅부(300)는 상기 공통 단자(110) 및 상기 제3 단자(310)와 연결되고, 전원이 인가되면 제2 전력을 발생할 수 있도록 열을 발생하는 제3 열선(320)과,
상기 제3 열선(320)을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제3 열선(320)을 절연하기 위한 제3 절연 모재(330)를 포함할 수 있다.
상기 제1 열선(120)과 상기 제2 열선(220)은 동일한 크기의 전력을 생산할 수 있도록 동일한 열선으로 이루어질 수 있다.
상기 제2 열선(220)은 상기 제1 열선(120)과 연결 열선(400)에 의하여 일체로 연결될 수 있다.
상기 연결 열선(400)은 상기 제1 열선(120)의 단부로부터 상기 제3 히팅부(300)를 통과하여 상기 제2 열선(220)의 단부와 일체로 연결될 수 있다.
상기 공통 단자(110)에 공급되는 전원은 DC 또는 AC로 이루어질 수 있다.
상기 공통 단자(110)는 양극 단자 또는 음극 단자로 이루어질 수 있다.
상기 공통 단자(110)가 양극 단자로 이루어지는 경우, 상기 제2 단자(210) 및 제3 단자(310)는 음극 단자로 이루어질 수 있다. 이와는 반대로, 상기 공통 단자(110)가 음극 단자로 이루어지는 경우, 상기 제2 단자(210) 및 제3 단자(310)는 양극 단자로 이루어질 수 있다(도 4에 참조).
또한, 상기 제1 히팅부(100)의 제1 열선(120)과 제1 절연 모재(130)는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 등에서 어느 한가지 방식으로 제조될 수 있다.
상기 제2 히팅부(200)의 제2 열선(220)과 제2 절연 모재(230)는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 등에서 어느 한가지 방식으로 제조될 수 있다.
상기 제3 히팅부(300)의 제3 열선(320)과 제3 절연 모재(330)는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 등에서 어느 한가지 방식으로 제조될 수 있다.
이하에서, 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 박판형 운모 히터의 히팅 시스템의 작동에 대해서 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 박판형 운모 히터는, 일정한 크기의 제1 전력을 갖는 제1 히팅부(100), 상기 제1 히팅부(100)와 동일한 크기의 제1 전력을 갖는 제2 히팅부(200), 및 상기 제1 히팅부(100)와 상기 제2 히팅부(200) 사이에 배치되어 상기 제1, 제2 히팅부(100, 200)와 다른 크기의 제2 전력을 갖는 제3 히팅부(300)를 포함하고 있다.
또한, 상기 제1 히팅부(100)는 상기 공통 단자(110)와, 전원이 인가되면 제1 전력을 생성할 수 있도록 열을 발생하는 제1 열선(120)과, 상기 제1 열선(120)을 절연하기 위한 제1 절연 모재(130)를 포함하고,
상기 제2 히팅부(200)는 상기 제2 단자(210), 전원이 인가되면 제1 전력을 발생할수 있도록 열을 발생하는 제2 열선(220)과, 상기 제2 열선(220)을 절연하기 위한 제2 절연 모재(230)를 포함하고,
상기 제3 히팅부(300)는 상기 제3 단자(310), 전원이 인가되면 제2 전력을 발생할 수 있도록 열을 발생하는 제3 열선(320)과, 상기 제3 열선(320)을 절연하기 위한 제3 절연 모재(330)를 포함하고 있다.
상기 제1 열선(120)과 상기 제2 열선(220)은 동일한 크기의 전력을 생산할 수 있도록 동일한 열선으로 이루어지며, 상기 제1 열선(120)과 연결 열선(400)에 의하여 일체로 연결된다.
여기서, 상기 공통 단자(110)는 도 4에 도시된 바와 같이 음극 단자로 이루어지는 경우를 예를 들어 설명하기로 한다. 상기 공통 단자(110)가 음극 단자로 이루어지는 경우, 상기 제2 단자(210) 및 제3 단자(310)는 양극 단자로 이루어지게 된다.
이와 같이, 히터 전력이 동일한 Zone1과 Zone3 영역을 히팅하기 위한 제1 히팅부 및 제3 히팅부와 Zone2 영역을 히팅하기 위한 제3 히팅부를 이용하여 전체 2개의 열선, 즉 제1 열선+연결 열선+제2 열선, 제3 열선을 이용하여 히터 전력량을 고려하여 패턴화하여 설계하였다. 3개 영역의 히터전력이 다르거나, 히팅 영역이 3개 이상인 경우에도 본 발명의 패턴화 설계 및 전원공급선 구조를 적용 할 수 있다.
전원 공급은 와이어를 최소화하기 위하여 DC 또는 AC 전원인 경우 음극부는 2개의 열선을 공통 전극(110)으로 1개를 이용하고, 양극 단자는 영역별로 2개의 단자(210, 310)를 사용하였다. AC 전원도 DC와 동일하게 1개는 공통 전극(110)으로 하고, 2개의 단자(210, 310)를 사용하여 전체 3개의 와이어를 이용하였다.
100: 제1 히팅부 110: 공통 단자
120: 제1 열선 130: 제1 절연 모재
200: 제2 히팅부 210: 제2 단자
220: 제2 열선 230: 제2 절연 모재
300: 제3 히팅부 310: 제3 단자
320: 제3 열선 330: 제3 절연 모재
400: 연결 열선

Claims (11)

  1. 전원을 공급하기 위한 공통 단자를 가지고, 일정한 크기의 제1 전력을 갖는 제1 히팅부,
    상기 제1 히팅부와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자와 다른 극의 제2 단자를 가지고, 상기 제1 히팅부와 동일한 크기의 제1 전력을 갖는 제2 히팅부, 및
    상기 제1 히팅부와 연결됨과 아울러 상기 공통 단자와 다른 극의 제3 단자를 가지고, 상기 제1, 제2 히팅부와 다른 크기의 제2 전력을 갖는 제3 히팅부
    를 포함하는 박판형 운모 히터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제3 히팅부는 상기 제1 히팅부와 상기 제2 히팅부 사이에 배치되는 박판형 운모 히터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 히팅부는 상기 공통 단자와 연결되고, 전원이 인가되면 제1 전력을 생성할 수 있도록 열을 발생하는 제1 열선과,
    상기 제1 열선을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제1 열선을 절연하기 위한 제1 절연 모재를 포함하는 박판형 운모 히터.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 히팅부는 상기 제2 단자와 연결되고, 전원이 인가되면 제1 전력을 발생할 수 있도록 열을 발생하는 제2 열선과,
    상기 제2 열선을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제2 열선을 절연하기 위한 제2 절연 모재를 포함하는 박판형 운모 히터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제3 히팅부는 상기 공통 단자 및 상기 제3 단자와 연결되고, 전원이 인가되면 제2 전력을 발생할 수 있도록 열을 발생하는 제3 열선과,
    상기 제3 열선을 사이에 두고 서로 접합되고, 상기 제3 열선을 절연하기 위한 제3 절연 모재를 포함하는 박판형 운모 히터.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 열선과 상기 제2 열선은 동일한 크기의 전력을 생산할 수 있도록 동일한 열선으로 이루어지는 박판형 운모 히터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 열선은 상기 제1 열선과 연결 열선에 의하여 일체로 연결되는 박판형 운모 히터.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공통 단자는 양극 단자 또는 음극 단자로 이루어지고, 상기 제2 단자 및 제3 단자는 음극 단자 또는 양극 단자로 이루어지는 박판형 운모 히터.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 제1 히팅부의 제1 열선과 제1 절연 모재는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 중 어느 한가지 방식으로 제조되는 박판형 운모 히터.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 제2 히팅부의 제2 열선과 제2 절연 모재는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 중 어느 한가지 방식으로 제조되는 박판형 운모 히터.
  11. 제5항에 있어서,
    상기 제3 히팅부의 제3 열선과 제3 절연 모재는 진공 열압착 방식, 열압착 방식, 접착 본딩 방식 중 어느 한가지 방식으로 제조되는 박판형 운모 히터.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100583280B1 (ko) 2004-07-15 2006-05-25 김기섭 필름히터에 방열판이 부착된 히팅롤러 및 이의 제조방법
KR101009990B1 (ko) 2008-11-10 2011-01-21 주식회사 테라세미콘 히터
JP2011528501A (ja) 2008-07-16 2011-11-17 株式会社テラセミコン バッチ式熱処理装置及び該装置に適用されるヒータ
KR101334907B1 (ko) 2011-12-08 2013-12-05 김동주 운모히터 및 그 제작방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100583280B1 (ko) 2004-07-15 2006-05-25 김기섭 필름히터에 방열판이 부착된 히팅롤러 및 이의 제조방법
JP2011528501A (ja) 2008-07-16 2011-11-17 株式会社テラセミコン バッチ式熱処理装置及び該装置に適用されるヒータ
KR101009990B1 (ko) 2008-11-10 2011-01-21 주식회사 테라세미콘 히터
KR101334907B1 (ko) 2011-12-08 2013-12-05 김동주 운모히터 및 그 제작방법

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