JP5970561B2 - 印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法 - Google Patents
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Description
金属製メッシュに密着した状態で接合めっきにより一体接合され、中央部に多数の印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたものにおいて、ベースメタルに形成される各印刷用開口パターンの開口形状は、開口上端部にオーバーハングして金属製メッシュとの接合めっき面積を増大させるとともに、ベースメタルの印刷用開口パターンの開口上端部の開口寸法を縊れさせた庇部を形成したものである。
図1はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な各構成要素を分離して示す斜視図、図2〜図7はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の製造工程を示す断面図、図8〜図10は従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの印刷開口パターン形成用レジストを剥離する前後の状態をそれぞれ示す断面図、図11〜図13はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの印刷開口パターン形成用レジストを剥離する前後の状態をそれぞれ示す断面図である。
本実施例で使用されるレジストは通常ドライフィルムタイプであるが、目的の厚さのドライフィルムが無い場合は、液レジスト、電着レジスト等を用いて目的のレジスト厚に形成しても良い。また、庇部5cの長さと厚みは1〜5μm、好ましくは2〜3μmが良い。
本実施例では、ベースメタル用SUS母材4上に施される印刷開口パターン形成用レジスト5aの上端部を下端部よりも大きくし、ベースメタルの印刷用開口パターンの開口形状を、上端部(被印刷体側)の開口寸法を下端部(印刷側)の開口寸法よりも大きくしている。
図14はこの発明の実施の形態2における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの印刷開口パターン形成用レジストを施した後、レジストの厚みよりも薄くなるように1回目のめっきを行った状態を示す断面図、図15は1回目のめっきよりも上方に突出している印刷開口パターン形成用レジストの上端部を研磨等で除去して1回目のめっきの上面と同じ高さにした状態を示す断面図、図16は印刷開口パターン形成用レジストの上端部を研磨等で除去して1回目のめっきの上面と同じ高さにした後、1回目のめっきの上面に2回目のめっきを行い、めっきのサイドスプレット現象でオーバーハングした庇部を有る状態を示す断面図である。
この実施の形態2によれば、手間は増えるが、印刷開口パターン形成用レジスト5aの厚みに捕われずにめっきの厚みを調節できるという利点がある。また、印刷開口パターン形成用レジスト5aの上端部を研磨することで、1回目のめっきの上面と同じ高さにできるので、2回目のめっきを行う際の面内のバラツキを抑えることができるという利点がある。
また、1回目のニッケルめっき5−1よりも上方に突出している印刷開口パターン形成用レジスト5aの上端部を研磨して削除し、1回目のめっき5−1の上面と同じ高さの印刷開口パターン形成用レジスト5a−1にした後、1回目のニッケルめっき5−1の表面を酸等で活性化することで、2回目のめっきとの密着性を向上させる処理を施しても良い。
また、開口部にオーバーハングする庇部5cの形成は、1回目のニッケルめっき5−1の終了後に庇部の長さを目的の長さにするために、1回目のレジスト上に庇長さを調整するためのレジストを別に形成してから、2回目のめっきを施すことにより製造することができる。
図17はこの発明の実施の形態3における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの印刷開口パターン形成用レジストを施した後、レジストの厚みよりも薄くなるように1回目のめっきを行った状態を示す断面図、図18は1回目のめっきよりも上方に突出している印刷開口パターン形成用レジストの上端部を研磨等で除去して1回目のめっきの上面と同じ高さにした状態を示す断面図である。
この実施の形態3によれば、印刷開口パターン形成用レジスト5aの下端部を上端部よりも大きくしているので、レジストの剥離を容易にすることができ、印刷時の抜け性の向上を図ることができる。
2 テトロンメッシュ
3 金属製版枠
4 ベースメタル用SUS母材
5 ベースメタル
5−1 1回目のめっき
5−2 2回目のめっき
5a 印刷開口パターン形成用レジスト
5a−1 研磨後の印刷開口パターン形成用レジスト
5b 印刷用開口パターン
5c 庇部
5d 隙間
6 テトロンメッシュ
7 接合補助用金属製版枠
8 スポンジ
9 粘着テープ
10 陰極
11 めっき槽
12 ニッケル
13 陽極
Claims (6)
- 版枠と、
前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着した状態で接合めっきにより一体接合され、中央部に多数の印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルに形成される前記各印刷用開口パターンの開口形状は、開口上端部にオーバーハングして前記金属製メッシュとの接合めっき面積を増大させるとともに、前記ベースメタルの印刷用開口パターンの開口上端部の開口寸法を縊れさせた庇部を形成したことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。 - ベースメタルに形成される印刷用開口パターンの開口形状は、上端部側の開口寸法を下端部側の開口寸法よりも大きくしたことを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- ベースメタルに形成される印刷用開口パターンの開口形状は、上端部側の開口寸法を下端部側の開口寸法よりも小さくしたことを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- ベースメタルの庇部の長さが庇部の板厚と同等であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- 版枠と、前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
母材上に印刷開口パターン形成用レジストを施し、その上からめっきを行い、印刷開口パターン形成用レジストの上端部にオーバーハングした庇部を有するベースメタルを形成する工程と、
前記庇部を有するベースメタルと前記金属製メッシュとを接合めっきにより一体接合する際、前記印刷開口パターン形成用レジストの上端部と前記金属製メッシュとの間に前記庇部の存在により隙間を形成しておく工程と
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。 - 母材上に印刷開口パターン形成用レジストを施し、その上からめっきを行い、印刷開口パターン形成用レジストの上端部にオーバーハングした庇部を有するベースメタルを形成する工程は、母材上に印刷開口パターン形成用レジストを厚く施し、その上から前記印刷開口パターン形成用レジストの厚みよりも薄くなるように1回目のめっきを行い、次に前記1回目のめっきよりも上方に突出している前記印刷開口パターン形成用レジストの上端部を研磨して削除し、1回目のめっきの上面と同じ高さの印刷開口パターン形成用レジストとし、更に前記1回目のめっきの上と1回目のめっきと同じ高さの印刷開口パターン形成用レジストの上から2回目のめっきを行い、印刷開口パターン形成用レジストの上端部にオーバーハングした庇部を有するベースメタルを形成することを特徴とする請求項5記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
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