JP2016120595A - 印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生することがない印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法を得る。【解決手段】金属製メッシュ1に密着重合させて接合めっきにより一体接合され、所望の印刷用開口パターンが設けられたベースメタル5を備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクであって、ベースメタルに設けられる所望の印刷用開口パターンの形成領域は、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含み、ベースメタル5の接合めっき面と反対側の被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面5dとしているが、少なくとも所望の印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面5cとする。【選択図】図12
Description
この発明は、印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法に関するものである。
従来、電鋳により所望の印刷パターンにパターンニングされた多数の開口部を有するマスク基板の片面側に、囲い枠に対して緊張状態で張設した導電性を有するステンレスメッシュを重合密着させてめっきにより一体接合させてなるメッシュ一体型メタルマスクが知られている(例えば、特許文献1参照)。このメッシュ一体型メタルマスクでは、ステンレス製の電鋳母型の表面をそのまま使用しているので、電鋳母型の表面に形成される電着層(マスク基板)は荒らし加工の無い鏡面に近い状態となるため、マスク基板が印刷面に密着し版離れが悪くなる。
また、他の従来技術として、版枠と、版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタル(電着層)とを備えたものにおいて、ベースメタルは、中央部に印刷用開口パターンを形成するとともに、印刷面(基板面側)に印刷時にエアーを逃がすためのエアー抜き用凸部を多数形成したサスペンドメタルマスクが知られている(例えば、特許文献2参照)。
上記他の従来技術のサスペンドメタルマスクにおいては、ベースメタル用SUS母材の表面全体に、電解研磨、化学研磨、ブラスト等で荒らし加工を施すことによりSUS母材表面に微小な凹形状を形成することで、SUS母材の表面に形成されるベースメタルの母材側を印刷体に接する側に使用することで、印刷体に接触する側の全面に微小な凸部が多数形成されているため、印刷時にエアー抜きをすることでカスレを防止することができる。しかし、例えば、タッチパネル用配線パターンに使用されるベースメタルの場合、所望の印刷パターン形状が例えば、幅約50μm以下の複数本の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べられており、極細細線の先端部は端子用の太線に接続されているので、極細細線と端子用の太線が混在した状態となる。このような場合、ベースメタルの印刷パターン全体に荒らし加工による微小な凸部が多数形成されているため、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生し易くなるという問題が発生する。
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生することがない印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法を提供するものである。
この発明に係る印刷用サスペンドメタルマスクにおいては、版枠と、版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、所望の印刷用開口パターンが設けられたベースメタルと、を備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクであって、ベースメタルに設けられる所望の印刷用開口パターンの形成領域は、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含み、ベースメタルの接合めっき面と反対側の被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも所望の印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面としたものである。
また、ベースメタルのブラスト加工表面は、凸曲面状の微小凸部が多数形成されているものである。
また、幅15〜200μm以下の複数本の極細細線を、極細細線相互間の間隔が幅15〜200μm以下となるように平行に並べたものである。
また、複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線の幅を、他の極細細線の幅の2倍以上に設定したものである。
また、複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線の幅を、他の極細細線の幅の2倍以上に設定し、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線のスキージ進行方向の入口側の1/2の部分を荒らし加工がされていない鏡面に近い表面とし、スキージ進行方向の出口側の1/2の部分を荒らし加工が施されたブラスト加工表面としたものである。
また、この発明に係る印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法においては、SUS材の表面の一部に目隠しのパターンレジスト膜を形成し、その上面からブラスト加工を施し、目隠しのパターンレジスト膜で保護されていない箇所の表面を荒らし加工が施されたブラスト加工表面とし、目隠しのパターンレジスト膜で保護されている箇所の表面を荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面とした部分荒らしSUS母材を作製する工程と、部分荒らしSUS母材を用い、荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面に、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含む印刷用開口パターンを形成するためのパターンレジスト膜を形成し、部分荒らしSUS母材の上面からめっき加工を施すことにより、ベースメタルの接合めっき面と反対側の被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面としたベースメタルを作製する工程と、を含むものである。
また、部分荒らしSUS母材のブラスト加工表面は、凹曲面状の微小凹部が多数形成されており、ベースメタルのブラスト加工表面は、凸曲面状の微小凸部が多数形成されているものである。
また、この発明に係る印刷用メタルマスクにおいては、メタルマスクに設けられる所望の印刷用開口パターンの形成領域は、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含み、メタルマスクの被印刷面は球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも所望の印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、球状のビーズによる荒らし加工がされていない鏡面に近い表面とし、メタルマスクのブラスト加工表面は、球状の一部からなる凸曲面状の微小凸部が多数形成されているものである。
この発明によれば、印刷パターン形状が、例えば幅約15〜200μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約15〜200μm以下となるように平行に並んだものが要求された場合であっても、幅約15〜200μm以下の複数本の極細細線と対応する形成領域のベースメタル5の表面は、荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面となるので、メタルマスクとしての印刷使用時に印刷ムラが発生することがなく、綺麗な印刷になるという効果がある。
この発明をより詳細に説明するため、添付の図面に従ってこれを説明する。なお、各図
中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化な
いし省略する。
中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化な
いし省略する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1において基本となる印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な各構成要素を分離して示す斜視図、図2〜図7はこの発明の実施の形態1において基本となる印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の製造工程を示す断面図、図8はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するSUS母材の作製工程を示す断面図、図9はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するSUS母材の表面状態を示す要部平面図、図10は図9のSUS母材のA部を拡大して示す断面図、図11はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するベースメタルの作製工程を示す断面図、図12はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクを示す要部平面図、図13は図12の一部を拡大して示す平面図、図14は図12のベースメタルのB部を拡大して示す断面図である。
図1はこの発明の実施の形態1において基本となる印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な各構成要素を分離して示す斜視図、図2〜図7はこの発明の実施の形態1において基本となる印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の製造工程を示す断面図、図8はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するSUS母材の作製工程を示す断面図、図9はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するSUS母材の表面状態を示す要部平面図、図10は図9のSUS母材のA部を拡大して示す断面図、図11はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するベースメタルの作製工程を示す断面図、図12はこの発明の実施の形態1における印刷用サスペンドメタルマスクを示す要部平面図、図13は図12の一部を拡大して示す平面図、図14は図12のベースメタルのB部を拡大して示す断面図である。
この発明の基本となる印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な構成要素は、図1に示すように、中央部に設けられた通電性を有するステンレスメッシュ又はニッケルメッシュからなる金属製メッシュ1及びこの金属製メッシュ1の外側に設けられたテトロンメッシュ2とからなるコンビネーションメッシュが内側に張設された四角形状の金属製版枠3と、ベースメタル用SUS母材4上に設けられ、印刷用開口パターンが形成される中央部分に印刷用開口パターン形成用レジスト5aが施されているNi製のベースメタル5と、テトロンメッシュ6が張設された四角形状の接合補助用金属製版枠7と、この接合補助用金属製版枠7のテトロンメッシュ6とベースメタル用SUS母材4との間に介装されるスポンジ8とから構成される。なお、四角形状の金属製版枠3に張設されるメッシュは、中央部の金属製メッシュ1と外側のテトロンメッシュ2とからなるコンビネーションメッシュが好適であるが、コンビネーションメッシュでなく、通電性を有する金属製メッシュ1の単体からなる一枚物であっても良い。上記ベースメタル5は、所望の箇所に印刷用開口パターン5bが形成されている。
この発明の基本となる印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の接合めっき工程に当たっては、図2に示すように、右側に四角形状の金属製版枠3を配置し、左側に四角形状の接合補助用金属製版枠7を配置する。そして、金属製版枠3の金属製メッシュ1と重合して位置するようにベースメタル5を配置し、金属製版枠3と接合補助用金属製版枠7を互いに重合させて粘着テープ9等で締結固定し、ベースメタル用SUS母材4及びスポンジ8を介してベースメタル5と金属製メッシュ1が互いに密着状態となるようにセットする。この密着状態にセットしたものを陰極10に接続するとともに電気的に導通させて、スルファミン酸ニッケル浴が入っためっき槽11内に収容し、ニッケル12を陽極13に接続することにより、ベースメタル5と金属製メッシュ1の間で接合めっきを行い、両者を一体的に接合する。この接合めっき量は、通常片側2μmとし、電鋳めっきと同じめっき法を用いる。また、陽・陰極電流密度は約0.1〜2.0A/dm2、好ましくは0.5〜1.0A/dm2の低電流を用いることにより、接合めっき量の均一性向上と金属製メッシュ1の断線を防止することができる。
次に、接合めっき工程が終了したら、上記密着状態にセットしたものをめっき槽11から取り出し(図3参照)、粘着テープ9を取り外して密着状態にセットしたものを解除する(図4参照)。次に、ベースメタル5からベースメタル用SUS母材4を剥離する(図5及び図6参照)。その後、ベースメタル5と金属製メッシュ1の接合部がめっきにより一体的に接合されている金属製版枠3のベースメタル5から印刷用開口パターン形成用レジスト5aを剥離することにより、印刷用開口パターン5bが形成される(図7参照)。なお、ベースメタル5の印刷用開口パターン形成用レジスト5a及び印刷用開口パターン5bは、簡略化してイメージのみを示したものであり、実際のものとは相違する。なお、詳細は図11を参照。
この基本となる印刷用サスペンドメタルマスクでは、ベースメタル用SUS母材4の表面全体に、電解研磨、化学研磨、ブラスト等で荒らし加工を施すことにより、SUS母材の表面に形成される電着層(ベースメタル)の印刷体に接触する側の全面に微小な凸部が多数形成されているため、印刷時にエアー抜きをすることでカスレを防止することができるが、例えば、タッチパネル用配線パターンに使用されるメタルマスクの場合、所望の印刷パターン形状が例えば、幅約50μm以下の複数本の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べられており、極細細線の先端部が端子用の太線に接続されており、極細細線と端子用の太線が混在することになる。このような場合、メタルマスクの印刷パターン部分の周辺にも荒らし加工による微小な凸部が多数形成されているため、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生し易くなるという問題が発生する。
次に、この問題を解決したこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用する部分荒らしSUS母材の作製工程及びSUS母材の表面の状態を図8〜図10により説明する。
まず位置決め用認識マーク(図示せず)を付したSUS材41を用意し(図8(a))、SUS材41の表面にドライフィルム42を塗布する(図8(b))。次にドライフィルム42の上に印刷パターンフィルム43を密着させて露光、現像等を行い(図8(c))、SUS材41の表面の、例えば幅約1000μm(1mm)のみにパターンレジスト膜42aを形成し、目隠しとする(図8(d))。なお、この幅約1000μm(1mm)のパターンレジスト膜42aが形成される形成領域は、位置決め用認識マークで位置合わせすることにより正確に設定することができ、タッチパネル用配線パターンに使用されるメタルマスクの場合、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたものが相当し、それに例えば+100μm程度の補正をかけたものとなる。そして、幅約1000μm(1mm)の目隠しのパターンレジスト膜42aが形成されたSUS材41の上面から球状のビーズによるブラスト加工が施される(図8(e))。この球状のビーズによるブラスト加工終了後に得られるこの発明のSUS母材4の表面の状態は、図9に示すように、幅約1000μm(1mm)の目隠しのパターンレジスト膜42aで保護されていない箇所の表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面4aとなるが、幅約1000μm(1mm)の目隠しのパターンレジスト膜42aで保護されている形成領域の表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面4bとなる。すなわち、部分荒らしSUS母材4が作製されることになる。ブラスト加工表面4aの表面粗さの十点平均粗さRzは約2〜5μmであり、鏡面に近い表面4bの表面粗さの十点平均粗さRzは約1μm以下である。なお、球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面4aには、図10に示すように、球状の一部からなる凹曲面状の微小凹部が多数形成されることになる。このように球状の一部からなる凹曲面状の微小凹部であることから、後の作製工程で作製されるベースメタル5を部分荒らしSUS母材4から容易に剥がすことができる。ブラスト加工表面4aが凹曲面状の微小凹部ではなく、垂直な壁面を持つものであると、ベースメタル5が剥がれにくくなってしまうのである。
まず位置決め用認識マーク(図示せず)を付したSUS材41を用意し(図8(a))、SUS材41の表面にドライフィルム42を塗布する(図8(b))。次にドライフィルム42の上に印刷パターンフィルム43を密着させて露光、現像等を行い(図8(c))、SUS材41の表面の、例えば幅約1000μm(1mm)のみにパターンレジスト膜42aを形成し、目隠しとする(図8(d))。なお、この幅約1000μm(1mm)のパターンレジスト膜42aが形成される形成領域は、位置決め用認識マークで位置合わせすることにより正確に設定することができ、タッチパネル用配線パターンに使用されるメタルマスクの場合、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたものが相当し、それに例えば+100μm程度の補正をかけたものとなる。そして、幅約1000μm(1mm)の目隠しのパターンレジスト膜42aが形成されたSUS材41の上面から球状のビーズによるブラスト加工が施される(図8(e))。この球状のビーズによるブラスト加工終了後に得られるこの発明のSUS母材4の表面の状態は、図9に示すように、幅約1000μm(1mm)の目隠しのパターンレジスト膜42aで保護されていない箇所の表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面4aとなるが、幅約1000μm(1mm)の目隠しのパターンレジスト膜42aで保護されている形成領域の表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面4bとなる。すなわち、部分荒らしSUS母材4が作製されることになる。ブラスト加工表面4aの表面粗さの十点平均粗さRzは約2〜5μmであり、鏡面に近い表面4bの表面粗さの十点平均粗さRzは約1μm以下である。なお、球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面4aには、図10に示すように、球状の一部からなる凹曲面状の微小凹部が多数形成されることになる。このように球状の一部からなる凹曲面状の微小凹部であることから、後の作製工程で作製されるベースメタル5を部分荒らしSUS母材4から容易に剥がすことができる。ブラスト加工表面4aが凹曲面状の微小凹部ではなく、垂直な壁面を持つものであると、ベースメタル5が剥がれにくくなってしまうのである。
次に、問題を解決したこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するベースメタルの作製工程を図11により説明する。
まず上記SUS母材の作製工程で得られた部分荒らしSUS母材4をブラスト加工表面4aが上となるように用意し(図11(a))、部分荒らしSUS母材4の上面にドライフィルム52を塗布する(図11(b))。次にドライフィルム52の上に印刷パターンフィルム53を密着させて露光、現像等を行い(図11(c))、部分荒らしSUS母材4の上面中央の幅約1000μm(1mm)の範囲である鏡面に近い表面4bに、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたパターンレジスト膜52aを形成する(図11(d))。なお、幅約1000μm(1mm)の範囲にパターンレジスト膜52aを正確に形成するために位置決め用認識マークが利用される。そして、パターンレジスト膜52aが形成された部分荒らしSUS母材4の上面からめっき加工を施すことにより、ベースメタル5を作製する(図11(e))。このめっき加工終了後に得られるこの発明のベースメタル5の表面の状態は、部分荒らしSUS母材4の球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面4aと対応する面が、ベースメタル5のブラスト加工表面5dとなる。一方、部分荒らしSUS母材4の上面中央の幅約1000μm(1mm)の範囲である鏡面に近い表面4bに対応する面が、ベースメタル5の球状のビーズによる荒らし加工がされていない鏡面に近い表面5cとなる。ベースメタル5のブラスト加工表面5dの表面粗さの十点平均粗さRzは約2〜5μmとなり、鏡面に近い表面5cの表面粗さの十点平均粗さRzは約1μm以下となる。なお、ベースメタル5のブラスト加工表面5dには、図14に示すように、球状の一部からなる凸曲面状の微小凸部が多数形成されることになる。このように球状の一部からなる凸曲面状の微小凸部であることから、印刷対象物(印刷体)に対し滑らかに接触することになるので、印刷対象物に傷が付きにくいという利点がある。
まず上記SUS母材の作製工程で得られた部分荒らしSUS母材4をブラスト加工表面4aが上となるように用意し(図11(a))、部分荒らしSUS母材4の上面にドライフィルム52を塗布する(図11(b))。次にドライフィルム52の上に印刷パターンフィルム53を密着させて露光、現像等を行い(図11(c))、部分荒らしSUS母材4の上面中央の幅約1000μm(1mm)の範囲である鏡面に近い表面4bに、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたパターンレジスト膜52aを形成する(図11(d))。なお、幅約1000μm(1mm)の範囲にパターンレジスト膜52aを正確に形成するために位置決め用認識マークが利用される。そして、パターンレジスト膜52aが形成された部分荒らしSUS母材4の上面からめっき加工を施すことにより、ベースメタル5を作製する(図11(e))。このめっき加工終了後に得られるこの発明のベースメタル5の表面の状態は、部分荒らしSUS母材4の球状のビーズによる荒らし加工が施されたブラスト加工表面4aと対応する面が、ベースメタル5のブラスト加工表面5dとなる。一方、部分荒らしSUS母材4の上面中央の幅約1000μm(1mm)の範囲である鏡面に近い表面4bに対応する面が、ベースメタル5の球状のビーズによる荒らし加工がされていない鏡面に近い表面5cとなる。ベースメタル5のブラスト加工表面5dの表面粗さの十点平均粗さRzは約2〜5μmとなり、鏡面に近い表面5cの表面粗さの十点平均粗さRzは約1μm以下となる。なお、ベースメタル5のブラスト加工表面5dには、図14に示すように、球状の一部からなる凸曲面状の微小凸部が多数形成されることになる。このように球状の一部からなる凸曲面状の微小凸部であることから、印刷対象物(印刷体)に対し滑らかに接触することになるので、印刷対象物に傷が付きにくいという利点がある。
次に、この発明の印刷用サスペンドメタルマスクの要部構成を図12〜図14により説明する。球状のビーズによるブラスト加工終了後に得られる部分荒らしSUS母材4を使用して、印刷用サスペンドメタルマスクを作製する場合を考える。例えば、タッチパネル用配線パターンに使用されるサスペンドメタルマスクのベースメタル5の場合、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたもので、極細細線の先端部は端子用の太線に接続されているので、極細細線と端子用の太線が混在した状態となる。幅約50μm以下の複数本(10本)の極細細線と対応する形成領域のベースメタル5の表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面5cとなる。一方、極細細線と対応する形成領域以外の箇所(端子用の太線を含む)のベースメタル5の表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施された凸曲面状の微小凸部が多数形成されたブラスト加工表面5dとなる。なお、図12〜図13において、ベースメタル5の裏側には金属製メッシュ1がめっきにより接合されているので、ベースメタル5の印刷パターン形状を通して裏側の金属製メッシュ1の一部が見える。
これにより、タッチパネル用配線パターンに使用されるサスペンドメタルマスクのベースメタル5の場合で、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並んだものが要求された場合であっても、幅約50μm以下の複数本の極細細線と対応する形成領域のベースメタル5の表面は、球状のブラストによる荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面5cとなるので、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生することがない。
なお、所望の印刷パターン形状を、例えば幅約50μm以下の複数本の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたものとしたが、複数本の極細細線の本数と幅と間隔は、設計値であるので任意に変更することができる。例えば、本数は20〜30本、幅と間隔は、約15μm〜200μmまで可能である。
これにより、タッチパネル用配線パターンに使用されるサスペンドメタルマスクのベースメタル5の場合で、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並んだものが要求された場合であっても、幅約50μm以下の複数本の極細細線と対応する形成領域のベースメタル5の表面は、球状のブラストによる荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面5cとなるので、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生することがない。
なお、所望の印刷パターン形状を、例えば幅約50μm以下の複数本の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたものとしたが、複数本の極細細線の本数と幅と間隔は、設計値であるので任意に変更することができる。例えば、本数は20〜30本、幅と間隔は、約15μm〜200μmまで可能である。
実施の形態2.
上記実施の形態1では、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたものであり、各極細細線を全て同一幅であるとしたが、この実施の形態2においては、複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線(図12の最上端に配置される極細細線)の幅を、最上端の下方に配置される他の極細細線の幅の2倍以上に設定したものである。この場合、スキージの進行方向は下方から上方に向かって移動するものとする。大きな開口の近くに配置される1本の極細細線(図12の最上端に配置される極細細線)の下方寄り(スキージ進行方向の入口側)の1/2の部分は、滲みの問題があるため、荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面5cとするが、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線(図12の最上端に配置される極細細線)の上方寄り(スキージ進行方向の出口側)の1/2の部分は、滲みの問題が発生することが少ないので、荒らし加工が施されたブラスト加工表面5dとしたものである。
この実施の形態2においても、実施の形態1と同様、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生することがないという効果を得ることができる。
上記実施の形態1では、所望の印刷パターン形状が、例えば幅約50μm以下の複数本(例えば10本)の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べたものであり、各極細細線を全て同一幅であるとしたが、この実施の形態2においては、複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線(図12の最上端に配置される極細細線)の幅を、最上端の下方に配置される他の極細細線の幅の2倍以上に設定したものである。この場合、スキージの進行方向は下方から上方に向かって移動するものとする。大きな開口の近くに配置される1本の極細細線(図12の最上端に配置される極細細線)の下方寄り(スキージ進行方向の入口側)の1/2の部分は、滲みの問題があるため、荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面5cとするが、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線(図12の最上端に配置される極細細線)の上方寄り(スキージ進行方向の出口側)の1/2の部分は、滲みの問題が発生することが少ないので、荒らし加工が施されたブラスト加工表面5dとしたものである。
この実施の形態2においても、実施の形態1と同様、印刷時に印刷パターンの極細細線部分に滲みが発生することがないという効果を得ることができる。
実施の形態3.
上記実施の形態1、2では、印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用する部分荒らしSUS母材の作製工程、同じく印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するベースメタルの作製工程、及び印刷用サスペンドメタルマスクの要部構成について説明したが、この発明は印刷用サスペンドメタルマスクに限らず、所望の印刷パターン形状が例えば、幅約50μm以下の複数本の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べられている場合にも、適用することが可能である。
上記実施の形態1、2では、印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用する部分荒らしSUS母材の作製工程、同じく印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に使用するベースメタルの作製工程、及び印刷用サスペンドメタルマスクの要部構成について説明したが、この発明は印刷用サスペンドメタルマスクに限らず、所望の印刷パターン形状が例えば、幅約50μm以下の複数本の極細細線であり、極細細線相互間の間隔が約50μm以下となるように平行に並べられている場合にも、適用することが可能である。
1 金属製メッシュ
2 テトロンメッシュ
3 金属製版枠
4 部分荒らしSUS母材(ベースメタル用SUS母材)
4a ブラスト加工表面
4b 鏡面に近い表面(ブラスト加工なし)
5 ベースメタル
5a 印刷用開口パターン形成用レジスト
5b 印刷用開口パターン
5c 鏡面に近い表面
5d ブラスト加工表面
6 テトロンメッシュ
7 接合補助用金属製版枠
8 スポンジ
9 粘着テープ
10 陰極
11 めっき槽
12 ニッケル
13 陽極
41 SUS材
42、52 ドライフィルム
42a 目隠しのパターンレジスト膜
52a パターンレジスト膜
43、53 印刷パターンフィルム
2 テトロンメッシュ
3 金属製版枠
4 部分荒らしSUS母材(ベースメタル用SUS母材)
4a ブラスト加工表面
4b 鏡面に近い表面(ブラスト加工なし)
5 ベースメタル
5a 印刷用開口パターン形成用レジスト
5b 印刷用開口パターン
5c 鏡面に近い表面
5d ブラスト加工表面
6 テトロンメッシュ
7 接合補助用金属製版枠
8 スポンジ
9 粘着テープ
10 陰極
11 めっき槽
12 ニッケル
13 陽極
41 SUS材
42、52 ドライフィルム
42a 目隠しのパターンレジスト膜
52a パターンレジスト膜
43、53 印刷パターンフィルム
Claims (12)
- 版枠と、
前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、所望の印刷用開口パターンが設けられたベースメタルと、を備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクであって、
前記ベースメタルに設けられる所望の印刷用開口パターンの形成領域は、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含み、
前記ベースメタルの前記接合めっき面と反対側の被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも前記所望の印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面としたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。 - ベースメタルのブラスト加工表面は、凸曲面状の微小凸部が多数形成されていることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- 幅15〜200μm以下の複数本の極細細線を、極細細線相互間の間隔が幅15〜200μm以下となるように平行に並べたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- 複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線の幅を、他の極細細線の幅の2倍以上に設定したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- 複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線の幅を、他の極細細線の幅の2倍以上に設定し、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線のスキージ進行方向の入口側の1/2の部分を荒らし加工がされていない鏡面に近い表面とし、スキージ進行方向の出口側の1/2の部分を荒らし加工が施されたブラスト加工表面としたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- ベースメタルのブラスト加工表面は、球状のビーズによる荒らし加工が施されたものであることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
- 版枠と、前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、所望の印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備え、前記ベースメタルに設けられる所望の印刷用開口パターンの形成領域は、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含み、前記ベースメタルの前記接合めっき面と反対側の被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも前記所望の印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面としたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
SUS材の表面の一部に目隠しのパターンレジスト膜を形成し、その上面からブラスト加工を施し、目隠しのパターンレジスト膜で保護されていない箇所の表面を荒らし加工が施されたブラスト加工表面とし、目隠しのパターンレジスト膜で保護されている箇所の表面を荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面とした部分荒らしSUS母材を作製する工程と、
前記部分荒らしSUS母材を用い、荒らし加工が施されていない鏡面に近い表面に、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含む印刷用開口パターンを形成するためのパターンレジスト膜を形成し、部分荒らしSUS母材の上面からめっき加工を施すことにより、前記ベースメタルの前記接合めっき面と反対側の被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも前記印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面としたベースメタルを作製する工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。 - 部分荒らしSUS母材のブラスト加工表面は、凹曲面状の微小凹部が多数形成されており、ベースメタルのブラスト加工表面は、凸曲面状の微小凸部が多数形成されていることを特徴とする請求項7記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
- 幅15〜200μm以下の複数本の極細細線を、極細細線相互間の間隔が幅15〜200μm以下となるように平行に並べたことを特徴とする請求項7又は請求項8記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
- 複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線の幅を、他の極細細線の幅の2倍以上に設定したことを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
- 複数本の極細細線のうち、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線の幅を、他の極細細線の幅の2倍以上に設定し、大きな開口の近くに配置される1本の極細細線のスキージ進行方向の入口側の1/2の部分を荒らし加工がされていない鏡面に近い表面とし、スキージ進行方向の出口側の1/2の部分を荒らし加工が施されたブラスト加工表面としたことを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
- メタルマスクに設けられる所望の印刷用開口パターンの形成領域は、複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分を含み、
メタルマスクの被印刷面は荒らし加工が施されたブラスト加工表面としているが、少なくとも前記所望の印刷用開口パターンの形成領域である複数本の極細細線が等間隔で平行に並べられた部分は、荒らし加工がされていない鏡面に近い表面とし、
メタルマスクのブラスト加工表面は、凸曲面状の微小凸部が多数形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014259953A JP2016120595A (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法 |
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JP2014259953A JP2016120595A (ja) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | 印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法 |
Publications (1)
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JP2016120595A true JP2016120595A (ja) | 2016-07-07 |
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ID=56327863
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JP (1) | JP2016120595A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112259677A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-22 | 济南晶正电子科技有限公司 | 一种具有图案的薄膜键合体、制备方法及电子器件 |
-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014259953A patent/JP2016120595A/ja active Pending
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CN112259677A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-22 | 济南晶正电子科技有限公司 | 一种具有图案的薄膜键合体、制备方法及电子器件 |
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