JP5967545B2 - 電子部品ボンディングツール - Google Patents
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Description
前記超音波振動子を長手方向の一端に設けて前記長手方向沿いに超音波振動を伝達するホーンと、
前記ホーンの前記長手方向の中間部に配置されて電子部品を保持する電子部品保持部とを備え、
前記電子部品保持部が、電子部品保持時に前記電子部品と接触する電子部品接触部と、前記電子部品接触部を下端に有しかつ前記ホーンに設けられた雌型の嵌合部の形状に対応した形状を有する雄型の嵌合部とを有し、
前記雌型の嵌合部が前記雄型の嵌合部に、前記雌型の嵌合部と前記雄型の嵌合部との間に接着層を挟み込んで接合されており、
前記雄型の嵌合部の前記下端には、前記電子部品接触部が50μm〜1000μmの厚みの焼結材料にて構成され、
前記雄型嵌合部の厚みが前記電子部品接触部の厚みの5倍以上100倍以下で構成されている、多層構造のボンディングツールを提供する。
2 基板保持部
21 ステージ
22 ステージ移動機構
3 部品装着ユニット
31 部品装着部
32 装着部移動機構
33 昇降機構
34 ツール支持部
35 シャフト
4 部品供給部
41 部品配置部
411 部品トレイ
412 ステージ
413 トレイ移動機構
42 供給ヘッド
421 供給コレット
43 供給ヘッド移動機構
44 回転機構
5 ボンディングツール
51 ホーン
5151 雌型嵌合部
516 接着層
52 超音波振動子
53 電子部品保持部
531 電子部品接触部
532 雄型嵌合部
532p 突出部
54 ホルダ
541、542 ホルダブロック
7 研磨部
71 研磨部材
711 研磨面
72 研磨部材保持部
8 電子部品
9 回路基板
11 撮影部
Claims (5)
- 超音波振動を発生する超音波振動子と、
前記超音波振動子を長手方向の一端に設けて前記長手方向沿いに超音波振動を伝達するホーンと、
前記ホーンの前記長手方向の中間部に配置されて電子部品を保持する電子部品保持部とを備え、
前記電子部品保持部が、電子部品保持時に前記電子部品と接触する電子部品接触部と、前記電子部品接触部を下端に有しかつ前記ホーンに設けられた雌型の嵌合部の形状に対応した形状を有する雄型の嵌合部とを有し、
前記雌型の嵌合部が前記雄型の嵌合部に、前記雌型の嵌合部と前記雄型の嵌合部との間に接着層を挟み込んで接合されており、
前記雄型の嵌合部の前記下端には、前記電子部品接触部が50μm〜1000μmの厚みの焼結材料にて構成され、
前記雄型嵌合部の厚みが前記電子部品接触部の厚みの5倍以上100倍以下で構成されている、多層構造のボンディングツール。 - 前記ホーンの前記長手方向の断面形状に対し、前記雌型の嵌合部と前記雄型の嵌合部と前記電子部品接触部とのそれぞれの断面形状は、前記電子部品保持部の中心を中心として、対称な形状を有している、請求項1記載のボンディングツール。
- 前記ホーン雌型嵌合部と前記雄型嵌合部とが前記接着層を介し、嵌め合って接合しており、前記雄型嵌合部は、下方に突出した突出部を有して、前記突出部の下端に前記電子部品接触部を固定して、前記ホーン下面よりも前記電子部品接触部が下方に突出して配置されるように構成されている請求項1または2記載のボンディングツール。
- 前記ホーンの振動方向の断面形状厚みにおいて、前記雄型嵌合部に対する厚みが2倍以上及び10倍以下である請求項1〜3のいずれか1項に記載のボンディングツール。
- 前記ホーンを構成する材料のヤング率は、前記雄型嵌合部の材料のヤング率より小さく、前記雄型嵌合部の材料のヤング率は、前記電子部品接触部の材料のヤング率より小さい、請求項1〜4のいずれか1項に記載のボンディングツール。
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JP2013032252A JP5967545B2 (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 電子部品ボンディングツール |
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