JP5965110B2 - 結晶太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、第一実施形態に係る結晶太陽電池の構成について説明する図である。結晶太陽電池100は、光を受光する受光面と、受光面と対向する裏面との間で光電変換機能を発現する結晶基板101を備えた太陽電池である。結晶基板101は、p型の単結晶または多結晶シリコンからなる平板状の基体である。
図1に示した、第一実施形態に係る結晶太陽電池100の製造方法について、説明する。図2(a)および図2(b)は、それぞれ結晶太陽電池100を製造する、従来の工程フローおよび第一実施形態に係る工程フローを示している。
上述の製造方法により製造される、結晶太陽電池100および結晶太陽電池用の基体101を用いた実験例について、説明する。
102・・・p型半導体層、103・・・n型半導体層、
104・・・窒化膜。
Claims (5)
- 光を受光する受光面と該受光面と対向する裏面との間で光電変換機能を発現する結晶基板を具備する結晶太陽電池の製造方法であって、
前記結晶基板として、p型の単結晶又は多結晶シリコンからなる平板状の基体を用い、
前記基体の裏面をなす他方の主面側に、p型のイオンを注入して、p型半導体層を形成する第一工程と、
前記基体の受光面をなす一方の主面側に、n型のイオンを注入して、n型半導体層を形成する第二工程と、
前記基体の表面に対して、酸素ガスおよび窒素ガスで構成される雰囲気中において、ランプを用いたアニール処理を行う第三工程と、
前記第三工程において前記基体の表面に形成された酸化膜をフッ酸処理を行い除去する第四工程と、を順に備えており、
前記第四工程の前段にのみ、前記第三工程としてアニール処理を行う工程を有する、ことを特徴とする結晶太陽電池の製造方法。 - 次いで、前記基体の二つの主面に、新たな酸化膜または窒化膜を形成する第五工程を備えている、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶太陽電池の製造方法。
- 前記アニール処理を行う時間は5秒以上20秒以下である、ことを特徴とする請求項1または2に記載の結晶太陽電池の製造方法。
- 前記アニール処理の温度は1050℃以上1150℃以下である、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の結晶太陽電池の製造方法。
- 前記第一工程において、前記基体の二つの主面にテクスチャーを形成したものを用いる、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の結晶太陽電池の製造方法。
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