JP5949361B2 - 有機el表示装置およびその製造方法 - Google Patents
有機el表示装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5949361B2 JP5949361B2 JP2012199548A JP2012199548A JP5949361B2 JP 5949361 B2 JP5949361 B2 JP 5949361B2 JP 2012199548 A JP2012199548 A JP 2012199548A JP 2012199548 A JP2012199548 A JP 2012199548A JP 5949361 B2 JP5949361 B2 JP 5949361B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- resin substrate
- hole
- moisture barrier
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 58
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 57
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 56
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N lawrencium atom Chemical compound [Lr] CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 5
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 3
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 208000005156 Dehydration Diseases 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 polyethylene naphthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910003077 Ti−O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQYHBXLHGKQYOY-UHFFFAOYSA-N aluminum oxygen(2-) titanium(4+) Chemical compound [O-2].[Al+3].[Ti+4] VQYHBXLHGKQYOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
図1〜図3を参照して、本実施形態にかかる有機EL表示装置の構成について説明する。図1および図2に示すように、本実施形態の有機EL表示装置は、表面および裏面を有する樹脂基板1を用いて形成されている。樹脂基板1は、例えば PEN(ポリエチレンナフタレート)やPET(ポリエチレンテレフタレート)もしくはポリイミドなどの樹脂材料によって構成されている。
この水分バリア膜2のうちスルーホール1a内に位置している部分からその外部に至る部分において、水分バリア膜2の表面には配線3が形成されている。配線3は、樹脂基板1の表裏両面においてパターニングされており、例えばAlなどの配線金属によって構成されている。
上記実施形態では、有機EL素子4や有機TFT5が備えられた有機EL表示装置の一例について説明したが、上記実施形態とは異なる構造や材料によって構成される有機EL素子4や有機TFT5が備えられた有機EL装置に対しても、本発明を適用できる。
1a スルーホール
2、6 水分バリア膜
3 配線
4 有機EL素子
5 有機TFT
11、12 第1、第2トランジスタ
13 キャパシタ
Claims (9)
- 表面および裏面を有し、前記表面から前記裏面に貫通するスルーホール(1a)が形成された樹脂基板(1)と、
前記樹脂基板に形成されたスルーホールの内壁面および該樹脂基板の表面側および裏面側に形成された配線(3)と、
前記樹脂基板の表面側に配置された有機EL素子(4)と、
前記樹脂基板の裏面側に配置され、前記有機EL素子の駆動を行う駆動トランジスタを含む有機薄膜トランジスタ(5)と、を備え、
前記スルーホールを介して、前記配線にて前記有機EL素子と前記有機薄膜トランジスタとが電気的に接続されて結線されており、
前記スルーホールの内壁面を含めて前記樹脂基板の表面および裏面を覆う第1の水分バリア膜(2)を有し、
前記第1の水分バリア膜の上に、前記配線と前記有機EL素子および前記有機薄膜トランジスタが備えられていることを特徴とする有機EL表示装置。 - 前記スルーホール内において、前記有機EL素子と前記有機薄膜トランジスタとを結線している前記配線の表面が第2の水分バリア膜(6)にて覆われていることを特徴とする請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 表示器の各画素面積に対する前記スルーホールの面積の比率が50%以上とされていることを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL表示装置。
- 前記第1の水分バリア膜と前記第2の水分バリア膜のうちの少なくとも一方が無機材料で構成された無機膜と有機材料で構成された有機膜の積層構造にて構成されていることを特徴とする請求項2に記載の有機EL表示装置。
- 表面および裏面を有する樹脂基板(1)を用意する工程と、
前記樹脂基板に対して、前記表面から前記裏面に貫通するスルーホール(1a)を形成する工程と、
前記樹脂基板に形成されたスルーホールの内壁面および該樹脂基板の表面側および裏面側に配線(3)を形成する工程と、
前記樹脂基板の表面側に、前記配線に接続される有機EL素子(4)を形成する工程と、
前記有機EL素子を形成した後で、前記樹脂基板の裏面側に、前記配線に接続され、前記有機EL素子の駆動を行う駆動トランジスタを含む有機薄膜トランジスタ(5)を形成する工程と、
を含んでいることを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記スルーホールを形成する工程では、前記樹脂基板に対してレーザー照射を行うことにより、前記スルーホールを形成することを特徴とする請求項5に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記スルーホールの内壁面を含めて前記樹脂基板の表面および裏面を覆う第1の水分バリア膜(2)を形成する工程と、
前記スルーホール内において、前記有機EL素子と前記有機薄膜トランジスタとを結線している前記配線の表面と前記有機EL素子および前記有機薄膜トランジスタの表面を覆う第2の水分バリア膜(6)を形成する工程と、を有し、
前記第1の水分バリア膜を形成する工程と前記第2の水分バリア膜を形成する工程の少なくとも一方について、原子層成長法にて行うことを特徴とする請求項5または6に記載の有機EL表示装置の製造方法。 - 前記第1の水分バリア膜を形成する工程の前に、脱水処理を行うことを特徴とする請求項7に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記有機EL素子を形成する工程は、該有機EL素子を形成するときの少なくとも一部を印刷形成することを特徴とする請求項5ないし8のいずれか1つに記載の有機EL表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012199548A JP5949361B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012199548A JP5949361B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014056658A JP2014056658A (ja) | 2014-03-27 |
JP5949361B2 true JP5949361B2 (ja) | 2016-07-06 |
Family
ID=50613840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012199548A Expired - Fee Related JP5949361B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5949361B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7054361B2 (ja) * | 2018-04-10 | 2022-04-13 | キヤノン株式会社 | 表示装置、及び、その製造方法 |
JP2019117808A (ja) * | 2019-04-24 | 2019-07-18 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
JP2021009861A (ja) * | 2020-11-09 | 2021-01-28 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4040850B2 (ja) * | 2000-07-24 | 2008-01-30 | Tdk株式会社 | 発光素子 |
JP2002082627A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Sony Corp | 表示装置 |
JP4048830B2 (ja) * | 2002-05-16 | 2008-02-20 | 株式会社デンソー | 有機電子デバイス素子 |
US7018713B2 (en) * | 2003-04-02 | 2006-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Flexible high-temperature ultrabarrier |
US7535017B2 (en) * | 2003-05-30 | 2009-05-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Flexible multilayer packaging material and electronic devices with the packaging material |
US20050181535A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-18 | Yun Sun J. | Method of fabricating passivation layer for organic devices |
JP2005302893A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子デバイス用基板及びその製造方法並びに電子デバイスユニット |
JP2006092809A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Victor Co Of Japan Ltd | シートディスプレイ |
JP5396734B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2014-01-22 | 大日本印刷株式会社 | 有機半導体素子、有機半導体素子の製造方法、および表示装置 |
KR20100097513A (ko) * | 2009-02-26 | 2010-09-03 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR101097321B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 장치 및 이의 제조 방법 |
WO2012093467A1 (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-12 | シャープ株式会社 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
-
2012
- 2012-09-11 JP JP2012199548A patent/JP5949361B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014056658A (ja) | 2014-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7229752B2 (ja) | 有機発光表示装置 | |
KR101073552B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP5964807B2 (ja) | フレキシブル有機電界発光装置及びその製造方法 | |
JP4776393B2 (ja) | 有機el表示装置 | |
JP6090630B2 (ja) | 有機el表示パネルおよびその製造方法 | |
KR100647325B1 (ko) | 저면발광형 유기발광소자 | |
KR102377906B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 | |
JP6457879B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
WO2020174612A1 (ja) | 表示装置 | |
WO2020065710A1 (ja) | 表示装置 | |
KR102167046B1 (ko) | 표시 장치 | |
JP5949361B2 (ja) | 有機el表示装置およびその製造方法 | |
JP2016080744A5 (ja) | ||
WO2020170433A1 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
WO2020178910A1 (ja) | 表示装置 | |
US10516135B1 (en) | Display apparatus | |
WO2021149108A1 (ja) | 表示装置 | |
WO2020174605A1 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
WO2020017014A1 (ja) | 表示装置 | |
WO2020053923A1 (ja) | 表示装置 | |
WO2020194427A1 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JPWO2016084256A1 (ja) | 発光装置 | |
JP6205663B2 (ja) | 表示パネルおよびその製造方法 | |
WO2020129194A1 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP2018106803A (ja) | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160523 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5949361 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |