JP5946761B2 - 電極部材及び電極部材の製造方法 - Google Patents
電極部材及び電極部材の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5946761B2 JP5946761B2 JP2012281294A JP2012281294A JP5946761B2 JP 5946761 B2 JP5946761 B2 JP 5946761B2 JP 2012281294 A JP2012281294 A JP 2012281294A JP 2012281294 A JP2012281294 A JP 2012281294A JP 5946761 B2 JP5946761 B2 JP 5946761B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- insulating film
- electrode member
- grooves
- flat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
Claims (6)
- 電子部品に電力を供給するための電極部材であって、
内部に冷媒が流通する冷媒通路を有し、
該冷媒通路の内壁に冷媒と当該電極部材とを電気的に絶縁する絶縁層を備えたものにおいて、
複数の第1平坦部と第1溝が交互に配置された第1波状面を有する第1構成部材と、
前記複数の第1平坦部にそれぞれ対応する複数の第2平坦部と前記複数の第1溝にそれぞれ対応する複数の第2溝とが交互に配置された第2波状面を有する第2構成部材とを備え、
前記第1溝及び第2溝の各溝面はそれぞれ第1絶縁膜及び第2絶縁膜により被覆され、
対応する前記第1平坦部と前記第2平坦部とが接合され、対応する第1溝と第2溝とで前記冷媒通路が形成され、対応する第1絶縁膜と第2絶縁膜とで前記絶縁層が形成されることを特徴とする電極部材。 - 対応する前記第1絶縁膜と第2絶縁膜の長さ方向に沿った端縁は、隙間を有して対峙し、該隙間に充填された接着剤により結合していることを特徴とする請求項1に記載の電極部材。
- 各第1溝とその隣の各第1平坦部との間に第1切欠き溝が設けられ、
各第2溝とその隣の各第2平坦部との間に第2切欠き溝が設けられ、
対応する前記第1切欠き溝及び第2切欠き溝は、これらの間に充填された接着剤を介して結合し、
該接着剤は、隣接する前記隙間に充填された接着剤と一体化していることを特徴とする請求項2に記載の電極部材。 - 電子部品に電力を供給するための電極部材の製造方法であって、
複数の第1平坦部と第1溝が交互に配置された第1波状面を有する第1構成部材を作製する第1工程と、
前記複数の第1平坦部にそれぞれ対応する複数の第2平坦部と前記複数の第1溝にそれぞれ対応する複数の第2溝とが交互に配置された第2波状面を有する第2構成部材を作製する第2工程と、
前記第1構成部材の各第1溝の溝面に対し、各第1平坦部をマスキングした状態で第1絶縁膜を形成する第3工程と、
前記第2構成部材の各第2溝の溝面に対し、各第2平坦部をマスキングした状態で第2絶縁膜を形成する第4工程と、
前記第3工程及び第4工程の後、対応する第1平坦部と第2平坦部を接合させて前記第1構成部材と前記第2構成部材を結合する第5工程とを備えることを特徴とする電極部材の製造方法。 - 前記第3工程及び前記第4工程におけるマスキングは、各第1溝と各第2溝の長さ方向に沿った端縁部分も覆うようにして行われ、
前記第5工程では、前記第1平坦部と前記第2平坦部を接合する前に、各第1溝及び各第2溝の長さ方向に沿った端縁に接着剤が塗布されることを特徴とする請求項4に記載の電極部材の製造方法。 - 前記第1工程では、各第1平坦部とその隣の各第1溝との間に第1切欠き溝が設けられ、
前記第2工程では、各第2平坦部とその隣の各第2溝との間に第2切欠き溝が設けられ、
前記第5工程における前記接着剤の塗布は、各第1切欠き溝及び第2切欠き溝の上に対しても行われることを特徴とする請求項5に記載の電極部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012281294A JP5946761B2 (ja) | 2012-12-25 | 2012-12-25 | 電極部材及び電極部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012281294A JP5946761B2 (ja) | 2012-12-25 | 2012-12-25 | 電極部材及び電極部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014127510A JP2014127510A (ja) | 2014-07-07 |
JP5946761B2 true JP5946761B2 (ja) | 2016-07-06 |
Family
ID=51406804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012281294A Active JP5946761B2 (ja) | 2012-12-25 | 2012-12-25 | 電極部材及び電極部材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5946761B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020027904A (ja) * | 2018-08-15 | 2020-02-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置および電力変換器 |
EP3754702A1 (de) * | 2019-06-19 | 2020-12-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum herstellen eines kühlkörpers |
CN111540717B (zh) * | 2020-05-06 | 2022-09-27 | 晏新海 | 一种功率模块 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61112359A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Hitachi Ltd | 熱交換体の製造法 |
JP2006303290A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
US20110303404A1 (en) * | 2010-06-14 | 2011-12-15 | Irvine Sensors Corporation | Wear-Resistant Conformal Coating for Micro-Channel Structure |
-
2012
- 2012-12-25 JP JP2012281294A patent/JP5946761B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014127510A (ja) | 2014-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5273101B2 (ja) | 半導体モジュールおよびその製造方法 | |
JP5801996B2 (ja) | 両面冷却式電力用被覆層付き電力モジュール | |
JP5251991B2 (ja) | 半導体モジュール | |
KR101188150B1 (ko) | 냉각 장치 | |
JP5928485B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5956608B2 (ja) | 熱電モジュール | |
JP5858594B2 (ja) | 熱管理装置及び熱管理装置の製造方法 | |
JP2006222347A (ja) | 半導体モジュールと半導体モジュールの製造方法 | |
JP6610590B2 (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2012119597A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2011181879A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5946761B2 (ja) | 電極部材及び電極部材の製造方法 | |
JP2018133527A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP6337954B2 (ja) | 絶縁基板及び半導体装置 | |
JP6627600B2 (ja) | パワーモジュールの製造方法 | |
JP2011091259A (ja) | 半導体モジュールおよびその製造方法 | |
JP2010192591A (ja) | 電力用半導体装置とその製造方法 | |
JP2013062282A (ja) | 半導体装置 | |
JP2011054889A (ja) | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JP7204919B2 (ja) | パワーモジュールおよびその製造方法 | |
JP2005064131A (ja) | 半導体装置 | |
WO2020189508A1 (ja) | 半導体モジュールおよびこれに用いられる半導体装置 | |
JP2012015167A (ja) | 半導体モジュールおよびその製造方法 | |
JP2014072314A (ja) | 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP7059714B2 (ja) | 電力変換装置及び電力変換装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160601 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5946761 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |