JP5946761B2 - 電極部材及び電極部材の製造方法 - Google Patents

電極部材及び電極部材の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、電子部品に電力を供給するための電極部材及びその製造方法に関する。
従来、半導体モジュールにおけるパワー半導体チップ等の電子部品に電力を供給するための電極部材は、電子部品が発する熱をヒートシンクに送るための熱の通路としても機能する。例えば、特許文献1に記載のモールド樹脂封止型パワー半導体装置では、電極部材としての銅電極は、その主面に半田でパワー半導体チップが固定され、主面と反対側の面が、エポキシ樹脂等の絶縁体やサーマルコンパウンドを介し、ヒートシンクとしての放熱フィンに接合される。
特開2004−165281号公報
しかしながら、上記のようなパワー半導体装置においては、絶縁体やサーマルコンパウンドは、熱伝導率が比較的低い半面、線膨張係数の違いによる構造の歪みを抑えて装置の構造を維持するために、ある程度の厚さを有することが必要である。この結果、パワー半導体チップが発した熱は、ヒートシンクに伝わり難くなるとともに、装置が大型化する。
そこで、電極部材の内部に冷媒通路を設け、この冷媒通路に冷却水等の冷媒を流通させることにより、パワー半導体チップが発した熱を除去することが考えられる。しかし、これによれば、電極部材から冷媒を介してショートするおそれがある。
本発明は、かかる従来技術の課題に鑑み、冷媒を介してショートするおそれのない冷媒通路を有する電極部材とその製造方法を提供することにある。
本発明の電極部材は、電子部品に電力を供給するための電極部材であって、内部に冷媒が流通する冷媒通路を有し、該冷媒通路の内壁に冷媒と当該電極部材とを電気的に絶縁する絶縁層を備えたものにおいて、複数の第1平坦部と第1溝が交互に配置された第1波状面を有する第1構成部材と、前記複数の第1平坦部にそれぞれ対応する複数の第2平坦部と前記複数の第1溝にそれぞれ対応する複数の第2溝とが交互に配置された第2波状面を有する第2構成部材とを備え、前記第1溝及び第2溝の各溝面はそれぞれ第1絶縁膜及び第2絶縁膜により被覆され、対応する前記第1平坦部と前記第2平坦部とが接合され、対応する第1溝と第2溝とで前記冷媒通路が形成され、対応する第1絶縁膜と第2絶縁膜とで前記絶縁層が形成されることを特徴とする。
本発明によれば、電子部品が発する熱は、電極部材に伝わり、さらに冷媒通路内を流れる冷媒を介して排出される。この間、冷媒通路の内壁の絶縁層により、電極部材と冷媒との間の電気的な導通が確実に阻止される。したがって、電極部材から冷媒を介してショートが発生するおそれがなく、電子部品を効果的に冷却することができる。
また、第1構成部材の第1溝の溝面及び第2構成部材の第2溝の溝面をそれぞれ第1絶縁膜及び第2絶縁膜で被覆してから、対応する第1平坦部と第2平坦部とを接合させることにより、冷媒通路の絶縁層が確実に形成された電極部材を容易に製造することができる。
また、対応する前記第1溝と第2溝の絶縁膜の長さ方向に沿った端縁は、隙間を有して対峙し、該隙間に充填された接着剤を介して結合していてもよい。
これによれば、対応する第1溝及び第2溝の各絶縁膜の長さ方向に沿った端縁の間から冷媒が漏れ出すのを防止し、絶縁層の機能を確実に維持することができる。
また、各第1溝とその隣の各第1平坦部との間に第1切欠き溝が設けられ、各第2溝とその隣の各第2平坦部との間に第2切欠き溝が設けられ、対応する前記第1切欠き溝及び第2切欠き溝は、これらの間に充填された接着剤を介して結合し、該接着剤は、隣接する前記隙間に充填された接着剤と一体化していてもよい。
これによれば、上述の隙間に充填された接着剤が、冷媒の流れによって、該隙間から剥離するのを防止し、絶縁層の機能をより確実に維持することができる。
本発明の電極部材の製造方法は、電子部品に電力を供給するための電極部材の製造方法であって、複数の第1平坦部と第1溝が交互に配置された第1波状面を有する第1構成部材を作製する第1工程と、前記複数の第1平坦部にそれぞれ対応する複数の第2平坦部と前記複数の第1溝にそれぞれ対応する複数の第2溝とが交互に配置された第2波状面を有する第2構成部材を作製する第2工程と、前記第1構成部材の各第1溝の溝面に対し、各第1平坦部をマスキングした状態で第1絶縁膜を形成する第3工程と、前記第2構成部材の各第2溝の溝面に対し、各第2平坦部をマスキングした状態で第2絶縁膜を形成する第4工程と、前記第3工程及び第4工程の後、対応する第1平坦部と第2平坦部を接合させて前記第1構成部材と前記第2構成部材を結合する第5工程とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、電極部材の内部に冷媒を流通させるための冷媒通路が上記の第1溝及び第2溝により形成され、かつ該冷媒通路の内壁に冷媒と電極部材とを絶縁する絶縁層が上記の第1絶縁膜及び第2絶縁膜により形成された電極部材を容易に製造することができる。
本発明の製造方法において、前記第3工程及び前記第4工程におけるマスキングは、各第1溝と各第2溝の長さ方向に沿った端縁部分も覆うようにして行われ、前記第5工程では、前記第1平坦部と前記第2平坦部を接合する前に、各第1溝及び各第2溝の長さ方向に沿った端縁に接着剤が塗布されてもよい。
これによれば、第1平坦部及び第2平坦部を接合させたとき、対応する第1絶縁膜及び第2絶縁膜の長さ方向に沿った端縁を、該端縁に塗布された接着剤により容易に結合させることができる。これにより、対応する第1絶縁膜の長さ方向に沿った端縁と第2絶縁膜の長さ方向に沿った端縁との間から冷媒が漏れ出すのを防止し、絶縁層の機能を確実に維持することができる。
また、前記第1工程では、各第1平坦部とその隣の各第1溝との間に第1切欠き溝が設けられ、前記第2工程では、各第2平坦部とその隣の各第2溝との間に第2切欠き溝が設けられ、前記第5工程における前記接着剤の塗布は、各第1切欠き溝及び第2切欠き溝の上に対して行われてもよい。
これによれば、対応する各第1絶縁膜の長さ方向に沿った端縁と各第2絶縁膜の長さ方向に沿った端縁との間の隙間から、これに隣接する各第1切欠き溝及び第2切欠き溝の間の空間にわたり、接着剤が一体的に充填された電極部材を容易に製造することができる。これにより、第1絶縁膜及び第2絶縁膜の長さ方向に沿った端縁の隙間に充填された接着剤が、冷媒の流れによって該隙間から剥離するのを防止し、絶縁層の機能をより確実に維持することができる。
本発明の一実施形態に係る電極部材を備えるパワーモジュールの要部を示す図である。 図1のパワーモジュールにおける電極部材の一部の断面図である。 本発明の一実施形態に係る電極部材の製造工程を示すフローチャートである。 図3の製造工程を説明するための第1構成部材及び第2構成部材部分の斜視図である。 図4の第1構成部材の第1溝に第1絶縁膜を形成する様子を示す断面図である。 本発明の第2実施形態に係る電極部材の一部の断面図である。 図6の電極部材の製造工程においてマスキングが行われた第1構成部材の一部の断面図である。 本発明の第3実施形態に係る電極部材の一部の断面図である。 図8の電極部材の製造工程においてマスキングが行われた第1構成部材の一部の断面図である。
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。図1(a)は、本発明の一実施形態に係る電極部材を備えるパワーモジュールの要部の概略平面図である。図1(b)は、図1(a)のA−A線断面図である。図1(c)は、図1(b)のB−B線断面図である。ただし、図1(c)では、樹脂モールドの図示が省略されている。
図1に示すように、パワーモジュール1は、IGBTやパワーMOSFET等のパワー半導体素子2と、N電極、出力電極及びP電極のそれぞれを構成する電極部材3と、パワー半導体素子2に制御信号を送るための信号ピン4と、パワー半導体素子2と電極部材3又は信号ピン4とを接合する銀ナノペーストの接合材5と、これらを封止する樹脂モールド6とを備える。パワーモジュール1は、例えば車載用の電力変換装置に用いられる。
電極部材3は、その内部に設けられ、冷媒が流通する冷媒通路7を備える。冷媒通路7には、その入口側及び出口側に接続された管路8を介して冷媒が供給及び排出される。冷媒としては、例えば、冷却水が用いられる。冷媒通路7の内壁には、冷媒と電極部材3とを絶縁する高熱伝導度の絶縁層9が設けられる。管路8の出入り口は、高熱伝導度の絶縁体10により覆われている。
図2は、電極部材3の一部の断面図である。図2に示すように、電極部材3は、第1構成部材11と、これに結合した第2構成部材12とを備える。第1構成部材11は、複数の第1平坦部13及び第1溝14が交互に配置された第1波状面15を有する。第2構成部材12は、各第1平坦部13にそれぞれ対応する複数の第2平坦部16と、各第1溝14にそれぞれ対応する複数の第2溝17とが交互に配置された第2波状面18を有する。
第1溝14及び第2溝17の溝面は、いずれも横断面が半円形状を有しており、それぞれ第1絶縁膜19及び第2絶縁膜20により被覆される。対応する第1平坦部13と第2平坦部16とは接合されている。対応する第1溝14及び第2溝17により冷媒通路7が形成される。対応する第1絶縁膜19及び第2絶縁膜20により絶縁層9が形成される。
パワーモジュール1の駆動時には、電極部材3を介してパワー半導体素子2に電力が供給される。また、電極部材3内の冷媒通路7に冷媒が流通される。このとき、パワー半導体素子2が発する熱は、接合材5を経て電極部材3に伝達する。電極部材3に伝達した熱は、冷媒通路7内を流通する冷媒を介し、熱交換器などを経て大気中に放散される。
このようにして、パワー半導体素子2は、電極部材3内を流通する冷媒を介して効果的に冷却される。また、この間、冷媒通路7の内壁の絶縁層9により、電極部材3と冷媒との間の導通が阻止されるので、電極部材3から冷媒を通じてショートが生じるおそれはない。したがって、パワーモジュール1は、発熱による問題や冷媒を通じたショートが生じることなく、高い信頼性を維持しながら駆動することができる。
図3は、電極部材3の製造工程を示すフローチャートである。この製造工程は、第1工程〜第5工程を含む。すなわち、図3に示すように、第1工程では、電極部材3を構成する第1構成部材11が作製される(ステップS1)。また、第2工程では、電極部材3を構成する第2構成部材12が作製される(ステップS2)。
図4(a)は、第1工程及び第2工程で作製される第1構成部材11及び第2構成部材12の要部の斜視図である。図4(a)に示すように、第1構成部材11は、複数の第1平坦部13及び第1溝14が交互に配置された第1波状面15を有する。また、第2構成部材12は、各第1平坦部13にそれぞれ対応する複数の第2平坦部16と、各第1溝14にそれぞれ対応する複数の第2溝17とが交互に配置された第2波状面18を有する。
第1構成部材11及び第2構成部材12の作製は、プレス加工により行うことができる。この作製は切削加工で行ってもよいが、その場合には、プレス加工で作製する場合よりもコストがかかる。
図4(b)に示すように、第3工程では、第1構成部材11の各第1溝14の溝面に第1絶縁膜19が形成される(ステップS3)。また、第4工程では、第2構成部材12の各第2溝17の溝面に第2絶縁膜20が形成される(ステップS4)。
図5は、第1構成部材11の第1溝14に第1絶縁膜19を形成する様子を示す。第1絶縁膜19の形成は、図5(a)に示すように、テープ等のマスキング材21を用いて、第1絶縁膜19を形成する領域以外の部分、すなわち第1平坦部13をマスキングし、被膜形成装置のノズル22からエアロゾル等の被膜剤を第1溝14の溝面に付与することにより行われる。
マスキング材21による被覆は、図5(b)のように、形成される第1絶縁膜19の厚さの分だけ第1溝14上にマスキング材21が張り出した状態となるようにして行われる。これにより、ラッピングによる研磨を施すことなく、図5(c)のように、第1平坦部13から第1絶縁膜19の端縁にかけて平滑な面を形成することができる。
第1絶縁膜19の形成は、例えば、AD(エアロゾルデポジション)法やゾルゲル法でアルミナ絶縁膜を成膜することにより行うことができる。第1絶縁膜19の形成後、マスキング材21は剥離される。第4工程(ステップS4)における第2構成部材12への第2絶縁膜20の形成も、同様に、第2平坦部16をマスキングして行われる。
第5工程(ステップS5)では、図4(c)に示すように、対応する第1平坦部13及び第2平坦部16を接合させて第1構成部材11及び第2構成部材12を結合する。第1平坦部13と第2平坦部16との接合は、ロウ付け、圧着、かしめ、レーザ接合等により行うことができる。これにより、電極部材3の製造工程が終了する。
本実施形態によれば、第1構成部材11の第1溝14の溝面及び第2構成部材12の第2溝17の溝面をそれぞれ第1絶縁膜19及び第2絶縁膜20で被覆してから、対応する第1平坦部13と第2平坦部16とを接合して第1構成部材11と第2構成部材12とを結合するようにしたので、冷媒通路7の絶縁層9を確実に機能するものとして容易に形成しながら電極部材3を製造することができる。
図6は、本発明の第2実施形態に係る電極部材の一部の断面図である。図6に示すように、この電極部材23は、第1実施形態における第1絶縁膜19及び第2絶縁膜20で構成される絶縁層9の代わりに、第1絶縁膜24及び第2絶縁膜25で構成される絶縁層26を備える。
対応する第1絶縁膜24及び第2絶縁膜25の周方向端縁(長さ方向に沿った端縁)は、隙間を有して対峙し、該隙間に充填された接着剤27により結合している。電極部材23についての他の構成及び作用は、第1実施形態の電極部材3の場合と同様である。
電極部材23の製造は、次の点を除き、図2の製造工程と同様の工程を経て行われる。すなわち、第3工程(ステップS3)におけるマスキングは、図7のように、各第1平坦部13に加えて各第1溝14の周方向端縁部分もマスキング材21で覆うようにして行われる。第4工程(ステップS4)におけるマスキングも同様に、各第2平坦部16に加えて各第2溝17の周方向端縁部分をも覆うようにして行われる。
また、第5工程(ステップS5)において、第1平坦部13及び第2平坦部16の接合が行われる前に、各第1溝14の周方向端縁及び各第2溝17の周方向端縁に接着剤27が塗布される。
これにより、この後、第1平坦部13及び第2平坦部16の接合が行われたとき、図6のように、対峙する各第1絶縁膜24の周方向端縁と各第2絶縁膜25の周方向端縁との間の隙間に接着剤27が充填された状態となる。
第2実施形態によれば、対応する各第1絶縁膜24の周方向端縁と各第2絶縁膜25の周方向端縁とを、該端縁間の隙間に充填された接着剤27により容易に結合させることができる。これにより、対応する各第1絶縁膜24の周方向端縁と各第2絶縁膜25の周方向端縁との間から冷媒が漏れ出すのを防止し、絶縁層26の機能を確実に維持することができる。
図8は、本発明の第3実施形態に係る電極部材の一部の断面図である。図8に示すように、この電極部材30は、第1実施形態の電極部材3の第1構成部材11及び第2構成部材12とほぼ同様の第1構成部材31及び第2構成部材32を備える。
第1構成部材31は、第1構成部材11の第1平坦部13及び第1溝14とほぼ同様の第1平坦部33及び第1溝34を備える。第2構成部材32は、第2構成部材12の第2平坦部16及び第2溝17とほぼ同様の第2平坦部36及び第2溝37を備える。
各第1溝34及び第2溝37は、第2実施形態における第1溝14及び第2溝17の場合と同様に、それぞれ第1絶縁膜24及び第2絶縁膜25により被覆される。また、対応する各第1絶縁膜24及び各第2絶縁膜25の周方向端縁は、隙間を有して対峙し、該隙間に充填された接着剤27により結合している。各第1絶縁膜24及び各第2絶縁膜25は、第1溝34及び第2溝37により構成される冷媒通路7の内壁において、図2の電極部材3における絶縁層9と同様の機能を有する絶縁層26を構成する。
ただし、各第1溝34とその隣の各第1平坦部33との間に第1切欠き溝38が設けられる。また、各第2溝37とその隣の各第2平坦部36との間に第2切欠き溝39が設けられる。
対応する第1切欠き溝38及び第2切欠き溝39は、これらの間に充填された接着剤27を介して結合している。この第1切欠き溝38及び第2切欠き溝39の間に充填された接着剤27は、この第1切欠き溝38及び第2切欠き溝39にそれぞれ隣接する第1絶縁膜24の周方向端縁と第2絶縁膜25の周方向端縁との間の隙間に充填された接着剤27と一体化している。
電極部材30の製造は、次の点を除き、図2の製造工程と同様の工程を経て行われる。すなわち、第1工程(ステップS1)では、各第1平坦部33とその隣の各第1溝34との間に第1切欠き溝38が設けられる。また、第2工程(ステップS2)では、各第2平坦部36とその隣の各第2溝37との間に第2切欠き溝39が設けられる。
第3工程(ステップS3)におけるマスキングは、図9のように、各第1平坦部33に加えて各第1溝34の周方向端縁部分もマスキング材21で覆うようにして行われる。第4工程(ステップS4)におけるマスキングも同様に、各第2平坦部36に加えて各第2溝37の周方向端縁部分をも覆うようにして行われる。
また、第5工程(ステップS5)において、第1平坦部33及び第2平坦部36の接合が行われる前に、各第1溝34の周方向端縁及び各第2溝37の周方向端縁から、これらに隣接する各第1切欠き溝38及び各第2切欠き溝39の上にかけて接着剤27が塗布される。
この後、第1平坦部33及び第2平坦部36の接合が行われる。このとき、図8のように、対峙する各第1絶縁膜24の周方向端縁と各第2絶縁膜25の周方向端縁との間の隙間に接着剤27が充填され、かつ対応する各第1切欠き溝38及び各第2切欠き溝39の間にも接着剤27が充填された状態となる。
第3実施形態によれば、各第1絶縁膜24の周方向端縁と各第2絶縁膜25の周方向端縁との間の隙間から、これに隣接する各第1切欠き溝38と第2切欠き溝39との間の空間にわたり、接着剤27が一体的に充填された電極部材30を容易に製造することができる。これにより、電極部材30において、第1絶縁膜24の周方向端縁と各第2絶縁膜25の周方向端縁との間の隙間に充填された接着剤27が、冷媒の流れによって該隙間から剥離するのを防止し、絶縁層26の機能をより確実に維持することができる。
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されない。例えば、上記の各実施形態では、本発明をパワー半導体素子2に電力を供給するための電極部材3、23、30に適用した例について説明したが、本発明はこれに限らず、発熱が問題となり得る各種電子部品に電力を供給するための電極部材に適用し、その効果を発揮させることができる。
また、上記の各実施形態では、半導体素子2を挟むように配置される電極部材3、23、30について説明したが、本発明は、上述の特許文献1に記載のパワー半導体装置におっける銅電極のように、半導体素子の一方の側にのみ配置される電極部材に適用してもよい。
2…パワー半導体素子(電子部品)、3,23,30…電極部材、6…絶縁層、7…冷媒通路、9,211,31…第1構成部材、12,32…第2構成部材、13,33…第1平坦部、14,34…第1溝、15…第1波状面、16,36…第2平坦部、17,37…第2溝、18…第2波状面、19,24…第1絶縁膜、20,25…第2絶縁膜、27…接着剤、38…第1切欠き溝、39…第2切欠き溝。

Claims (6)

  1. 電子部品に電力を供給するための電極部材であって、
    内部に冷媒が流通する冷媒通路を有し、
    該冷媒通路の内壁に冷媒と当該電極部材とを電気的に絶縁する絶縁層を備えたものにおいて、
    複数の第1平坦部と第1溝が交互に配置された第1波状面を有する第1構成部材と、
    前記複数の第1平坦部にそれぞれ対応する複数の第2平坦部と前記複数の第1溝にそれぞれ対応する複数の第2溝とが交互に配置された第2波状面を有する第2構成部材とを備え、
    前記第1溝及び第2溝の各溝面はそれぞれ第1絶縁膜及び第2絶縁膜により被覆され、
    対応する前記第1平坦部と前記第2平坦部とが接合され、対応する第1溝と第2溝とで前記冷媒通路が形成され、対応する第1絶縁膜と第2絶縁膜とで前記絶縁層が形成されることを特徴とする電極部材。
  2. 対応する前記第1絶縁膜と第2絶縁膜の長さ方向に沿った端縁は、隙間を有して対峙し、該隙間に充填された接着剤により結合していることを特徴とする請求項に記載の電極部材。
  3. 各第1溝とその隣の各第1平坦部との間に第1切欠き溝が設けられ、
    各第2溝とその隣の各第2平坦部との間に第2切欠き溝が設けられ、
    対応する前記第1切欠き溝及び第2切欠き溝は、これらの間に充填された接着剤を介して結合し、
    該接着剤は、隣接する前記隙間に充填された接着剤と一体化していることを特徴とする請求項に記載の電極部材。
  4. 電子部品に電力を供給するための電極部材の製造方法であって、
    複数の第1平坦部と第1溝が交互に配置された第1波状面を有する第1構成部材を作製する第1工程と、
    前記複数の第1平坦部にそれぞれ対応する複数の第2平坦部と前記複数の第1溝にそれぞれ対応する複数の第2溝とが交互に配置された第2波状面を有する第2構成部材を作製する第2工程と、
    前記第1構成部材の各第1溝の溝面に対し、各第1平坦部をマスキングした状態で第1絶縁膜を形成する第3工程と、
    前記第2構成部材の各第2溝の溝面に対し、各第2平坦部をマスキングした状態で第2絶縁膜を形成する第4工程と、
    前記第3工程及び第4工程の後、対応する第1平坦部と第2平坦部を接合させて前記第1構成部材と前記第2構成部材を結合する第5工程とを備えることを特徴とする電極部材の製造方法。
  5. 前記第3工程及び前記第4工程におけるマスキングは、各第1溝と各第2溝の長さ方向に沿った端縁部分も覆うようにして行われ、
    前記第5工程では、前記第1平坦部と前記第2平坦部を接合する前に、各第1溝及び各第2溝の長さ方向に沿った端縁に接着剤が塗布されることを特徴とする請求項に記載の電極部材の製造方法。
  6. 前記第1工程では、各第1平坦部とその隣の各第1溝との間に第1切欠き溝が設けられ、
    前記第2工程では、各第2平坦部とその隣の各第2溝との間に第2切欠き溝が設けられ、
    前記第5工程における前記接着剤の塗布は、各第1切欠き溝及び第2切欠き溝の上に対しても行われることを特徴とする請求項に記載の電極部材の製造方法。
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