JP5940640B2 - Transport robot with 8 robot arms - Google Patents
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Description
本出願において開示される技術は、8ロボットアームを備えた搬送ロボットに関するもので、特に、8ロボットアームの個別駆動が可能であり、一定のピッチ単位で上下積載される搬送物(基板又はウェハなど)の同時積載及び取り出しが可能な8ロボットアームを備えた搬送ロボットに関する。 The technology disclosed in the present application relates to a transfer robot provided with 8 robot arms, and in particular, the 8 robot arms can be individually driven, and a transfer object (a substrate, a wafer, or the like) that is vertically stacked at a constant pitch unit. ) Is a transfer robot provided with 8 robot arms capable of simultaneous loading and unloading.
半導体装置や液晶表示装置等の製造工程においては、半導体ウェハや液晶表示装置用ガラス基板等の基板に対して引き込み及び取り出し過程が行われる。 In the manufacturing process of a semiconductor device, a liquid crystal display device and the like, a drawing process and a taking-out process are performed on a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display device.
基板処理装置(搬送ロボット)は、ダブルアームロボット、多数個のアームで構成された搬送ロボット等が開発されて使用されており、複数のキャリアを保持するキャリア保持部と、基板を処理する基板処理部と、キャリア保持部と基板処理部との間で上下に積層された反転ユニットと、各反転ユニットとキャリア保持部との間で基板を搬送するインデクサロボットと、各反転ユニットと基板処理部との間で基板を搬送するメイン搬送ロボットと、を備えるのが一般的である。 The substrate processing apparatus (transfer robot) has been developed and used as a double arm robot, a transfer robot composed of a large number of arms, and a substrate holding unit that holds a plurality of carriers and a substrate process that processes a substrate. A reversing unit that is vertically stacked between the carrier holding unit and the substrate processing unit, an indexer robot that transports a substrate between each reversing unit and the carrier holding unit, each reversing unit and the substrate processing unit, And a main transfer robot that transfers the substrate between the two.
このような搬送ロボットは、根本的に、ウェハ、基板又は搬送物の移送をさらに効率的に行うためのものであり、これで工程のタックタイム(Tack Time)を減らして工程効率を高めることができる方向に開発が成されることになる。 Such a transfer robot is basically for more efficiently transferring a wafer, a substrate or a transfer object, and this can reduce the process time and increase the process efficiency. Development will be done in the direction that can be done.
一つの基板を搬送するための一つのアームを有する搬送ロボットからダブルアームを備えた搬送ロボットが開発され、ダブルアームの構造を改善してさらに効率的な工程を目的として、大韓民国公開特許公報10−2008−0047205号(基板移載ロボット)(特許文献1)及び大韓民国公開特許公報10−2012−0007449号(基板処理装置及び基板搬送方法)(特許文献2)が開示されている。 A transfer robot having a double arm has been developed from a transfer robot having a single arm for transferring a single substrate. For the purpose of improving the structure of the double arm and making the process more efficient, Korean Patent Application Publication No. 10- No. 2008-0047205 (substrate transfer robot) (Patent Document 1) and Korean Patent Application Publication No. 10-2012-0007449 (Substrate Processing Apparatus and Substrate Transfer Method) (Patent Document 2) are disclosed.
特許文献1は、独立的回転移動及び同時的上下移動が可能な多数のアームを備え、効率的な基板移載を達成できる基板移載ロボットが開示されている。 Patent Document 1 discloses a substrate transfer robot that includes a large number of arms capable of independent rotational movement and simultaneous vertical movement and can achieve efficient substrate transfer.
特許文献1は、東西南北の4方向に設置され位置された搬送物をそれぞれの方向から搬送可能な構造という点で利得があるが、東西南北の4方向に独立的に動作するので、インライン工程や一方向に進められる工程では、使用するのに不適合な短所を有している。 Although patent document 1 has a gain in the structure which can convey the conveyance thing installed and located in four directions of east, west, south, and north, since it operate | moves independently in four directions of east, west, north, and south, it is an in-line process. However, the process that is advanced in one direction has disadvantages that are not suitable for use.
特許文献2は、基板処理装置のスループット(throughput、単位時間当たりの基板の処理枚数)を増加させて、インデクサロボット及びメイン搬送ロボットの待機時間を短縮するための搬送ロボットを提供する。 Patent Document 2 provides a transfer robot for increasing the throughput of the substrate processing apparatus (throughput, the number of substrates processed per unit time) and reducing the waiting time of the indexer robot and the main transfer robot.
特許文献2は、工程時間を短縮する長所を有しているが、一つのアームに多数のハンドが取り付けられた構造なので同時駆動をしなければならない短所を有し、多数のハンド構造により一定間隔で位置した場合にだけ多数の搬送物の搬送が可能であるという短所を有している。 Patent Document 2 has an advantage of shortening the process time, but has a disadvantage that a plurality of hands are attached to one arm, so that it must be driven simultaneously. It is disadvantageous in that a large number of transported objects can be transported only when they are positioned at.
本発明の様々な実施形態では、同じ水平方向の直線運動で搬送物の同時又は個別的な搬送が可能な8ロボットアームを備えた搬送ロボットを提供する。 Various embodiments of the present invention provide a transfer robot with eight robot arms that can simultaneously or individually transfer a transfer object with the same horizontal linear motion.
また、本発明の様々な実施形態では、インライン(In−Line)工程及び一方向に連続する工程において、搬送物を1個〜8個の同時移送で迅速な工程の流れを誘導し、工程時間を短縮して工程効率を高めることができる8ロボットアームを備えた搬送ロボットを提供する。 Further, in various embodiments of the present invention, in an in-line process and a process continuous in one direction, a rapid process flow is induced by simultaneous transfer of 1 to 8 conveyed items, and a process time It is possible to provide a transfer robot equipped with 8 robot arms that can shorten the process time and increase the process efficiency.
上述した課題を解決するための本発明の一態様による8ロボットアームを備えた搬送ロボットは、アームユニットが、上下直線運動が可能なように結合するポストと、前記アームユニットは、前記ポスト両側面の上下に結合する第1〜第4ロボットアーム組からなり、前記第1〜第4ロボットアーム組は、2つのロボットアームが水平に結合して一組からなり、第1〜第8ロボットアームからなる。 In order to solve the above-described problem, a transfer robot including an eight-arm robot according to an aspect of the present invention includes a post in which an arm unit is coupled so as to be able to perform vertical linear motion, and the arm unit includes both sides of the post. The first to fourth robot arm groups are coupled to each other in the vertical direction, and the first to fourth robot arm groups are composed of a pair of two robot arms coupled horizontally. Become.
ここで、前記第1〜第8ロボットアームのうち、外側に配列されたロボットアームの外側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着され、内側に配列されたロボットアームの内側面には、スライディング可能なようにスライダーが装着されてもよい。 Here, among the first to eighth robot arms, a slider is mounted on the outer surface of the robot arm arranged on the outside so as to be slidable, and on the inner surface of the robot arm arranged on the inner side, A slider may be attached so that sliding is possible.
ここで、前記スライダーと直角方向にブリッジが連結されてもよい。 Here, a bridge may be connected in a direction perpendicular to the slider.
ここで、前記ブリッジと直角方向にロボットハンドが装着されてもよい。 Here, a robot hand may be attached in a direction perpendicular to the bridge.
ここで、前記第1及び第2ロボットアーム組は下側に、前記第3及び第4ロボットアーム組は上側に配列され、下側に配列された前記第1及び第2ロボットアーム組は、内側に第1及び第2ロボットアームが、外側に第3及び第4ロボットアームが配列され、上側に配列された前記第3及び第4ロボットアーム組は、内側に第7及び第8ロボットアームが、外側に第5及び第6ロボットアームが配列されてもよい。 Here, the first and second robot arm groups are arranged on the lower side, the third and fourth robot arm groups are arranged on the upper side, and the first and second robot arm groups arranged on the lower side are arranged on the inner side. The first and second robot arms are arranged on the outside, the third and fourth robot arms are arranged on the outer side, and the third and fourth robot arm groups arranged on the upper side are the seventh and eighth robot arms on the inner side. The fifth and sixth robot arms may be arranged outside.
ここで、前記ポストの下端部は、360度回転が可能な回転ベースの一側端に連結され、前記第1〜第8ロボットアームには、それぞれ第1〜第8ロボットハンドが装着され、前記第1〜第8ロボットハンドの中心、前記回転ベースの回転軸及び前記ポストの中心は、一つの基準ラインに一直線上に配置されることが好ましい。 Here, the lower end of the post is connected to one end of a rotation base capable of rotating 360 degrees, and the first to eighth robot arms are respectively attached with the first to eighth robot hands, It is preferable that the centers of the first to eighth robot hands, the rotation axis of the rotation base, and the center of the post are arranged on a single reference line.
ここで、前記第1〜第8ロボットアームは、同時駆動、個別駆動又は2以上の選択駆動が可能である。 Here, the first to eighth robot arms can be simultaneously driven, individually driven, or two or more selective drives.
ここで、前記第1〜第8ロボットアームには、前後方作動が可能なようになったスライダーを介して第1〜第8ロボットハンドが装着され、前記第1〜第8ロボットハンドは、上下に配列されて上下間隔が同一であり、運動軌道が互いに同一なように具現することが好ましい。 Here, the first to eighth robot arms are mounted with the first to eighth robot hands via a slider that can be operated forward and backward, and the first to eighth robot hands are moved up and down. It is preferable that the vertical intervals are the same and the motion trajectories are the same.
上述した本発明の様々な実施形態によれば、同じ水平方向の直線運動で搬送物の同時又は個別的な搬送が可能であり、インライン(In−Line)工程及び一方向に連続する工程において、搬送物を1個〜8個の同時移送で迅速な工程の流れを誘導し、工程時間を短縮して工程効率を高めることができるようになる。 According to the various embodiments of the present invention described above, it is possible to simultaneously or individually transport a transported object in the same horizontal linear motion, and in an in-line process and a process that is continuous in one direction, It is possible to induce a rapid process flow by simultaneously transferring 1 to 8 conveyed items, shorten the process time, and increase the process efficiency.
以下、添付された図面を参照して、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの構造及び作用効果を説明する。 Hereinafter, with reference to the attached drawings, the structure and operational effects of a transfer robot including eight robot arms according to an embodiment of the present invention will be described.
図1は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの斜視図であり、図2は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットのアームユニットの構造図であり、図3は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットを具現するための最適なアームの配列図であり、図4は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの平面図であり、図5は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの側面図である。 FIG. 1 is a perspective view of a transfer robot having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a structural diagram of an arm unit of the transfer robot having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is an optimal arm arrangement diagram for realizing a transfer robot having eight robot arms according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an eight robot arm according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a side view of a transfer robot having 8 robot arms according to an embodiment of the present invention.
図1ないし図5に示されたように、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボット100は、走行ベース110、走行スライダー120、回転ベース130、アップダウンポスト140、及びアームユニット200を含んでなる。
As shown in FIGS. 1 to 5, the
走行ベース110は、四角フレーム形態から成ってもよく、必要に応じて移動が容易なようにキャスターが装着されてもよく、ロボットの作動時に流動性を防止するように多数個の固定装置が付着されてもよい。
The
また、走行ベース110の内側には走行スライダー120が位置し、走行ベース110の両内側には走行スライダー120の水平移動のためのレールが形成されてもよい。
Further, the
走行スライダー120は、両側のレールと連結されて左右水平移動が可能なように構成され、中心上端には回転ベース130が連結され、回転ベース130の側面先端部にはアップダウンポスト140が形成されてもよい。
The
回転ベース130は、回転軸130aを基準として360度回転されてもよく、回転ベース130の360度回転に応じてアップダウンポスト140も同じく360度回転が可能になる。
The
回転ベース130は、回転軸130aを基準として第1〜第8ロボットアーム211〜218を360度回転させ、アップダウンポスト140は第1〜第8ロボットアーム211〜218を上下アップダウン直線運動を可能にする。
The
アップダウンポスト140の両側面にはレールが形成されてもよく、このレールの両側にはアームユニット200が装着され、上下アップダウン直線運動をする。
Rails may be formed on both side surfaces of the up / down
図2及び図3を参照し、アームユニット200の構造を詳しく見てみる。
The structure of the
アームユニット200は、第1〜第8ロボットアーム211〜218、第1〜第8スライダー251〜258、第1〜第8ブリッジ261〜268、及び第1〜第8ロボットハンド271〜278を含んでなる。
The
第1〜第8ロボットアーム211〜218は、上下左右の4分割の配列をなし、2つのロボットアームが一組ずつ水平に接して、それぞれ第1〜第4ロボットアーム組210〜240を成すようになり、また、下側の第1及び第2ロボットアーム組210、220は下側部ロボットアーム310を構成し、上側の第3及び第4ロボットアーム組230、240は上側部ロボットアーム320を構成する。
The first to
第1及び第3ロボットアーム組210、230は、アップダウンポスト140の左側面にスライディング可能に連結され、第2及び第4ロボットアーム組220、240は、アップダウンポスト140の右側面にスライディング可能に連結される。
The first and third
アップダウンポスト140を基準として第1及び第3ロボットアーム組210、230と第2及び第4ロボットアーム組220、240とが両サイドに配置されながら、その間にはロボットハンドの移動空間が設けられる。
The first and third
第1〜第8ロボットアーム211〜218は、図3のように配列されてもよいが、下部の内側に第1ロボットアーム211と第2ロボットアーム212が位置し、下部の外側に第3ロボットアーム213と第4ロボットアーム214が位置し、上部の外側に第5ロボットアーム215と第6ロボットアーム216が位置し、上部の内側に第7ロボットアーム217と第8ロボットアーム218が位置してもよい。
The first to
第1〜第8ロボットアーム211〜218は、同一の軌跡で出入りして、上下同一の離隔距離を有し、上下配列されて上下順次的配列を成すようになる。
The first to
したがって、限定された空間において上下順次的配列を有するために、本発明の一実施形態においては、図3でのように、上下及び左右側4分割配列とともに内外側順序位置を選定し、出入りの際に互いに干渉がなく、同一間隔及び同一軌跡運動をするようにして、ワークパネルの搬送を同時に行えるようにする。 Therefore, in order to have a vertically arranged arrangement in a limited space, in one embodiment of the present invention, as shown in FIG. In this case, the work panels can be transported at the same time so that they do not interfere with each other and move at the same interval and the same trajectory.
内側に位置した第1、第2、第7、第8ロボットアーム211、212、217、218には、外側でスライディング可能なように第1、第2、第7、第8スライダー251、252、257、258が装着され、外側に位置した第3、第4、第5、第6ロボットアーム213、214、215、216には、内側でスライディング可能なように第3、第4、第5、第6スライダー253、254、255、256が装着される。
The first, second, seventh, and
第1〜第8スライダー251〜258は、走行ベース110と直角方向に前後直線運動するようになる。
The first to
第1〜第8スライダー251〜258の先端部には、第1〜第8ブリッジ261〜268が垂直に装着され、第1〜第8ブリッジ261〜268の先端には、直角方向に第1〜第8ロボットハンド271〜278がそれぞれ装着される。
The first to
第1〜第8ロボットハンド271〜278それぞれは、互いに同一の間隔で上下配列され、それぞれのワークパネル150を搬送及び搬入させることができるエンドエフェクタの役割をする。
Each of the first to eighth robot hands 271 to 278 is arranged vertically at the same interval, and serves as an end effector capable of transporting and loading each
ワークパネル150は、図面上で、走行ベース110によって左右に水平往復移動が可能であり、回転ベース130によって360度回転移動が可能であり、アップダウンポスト140によって上下アップダウン移動が可能であり、第1〜第8ロボットアーム211〜218によって前後方向に位置移動が可能になる。
In the drawing, the
8つのロボットアームを最小の空間で効率的に作動させるために、本発明の一実施形態では次のような条件を提示する。 In order to efficiently operate the eight robot arms in a minimum space, the following conditions are presented in one embodiment of the present invention.
まず、図3でのように、第1〜第8ロボットアーム211〜218の配列を、左右、上下の4分割配列となるように2つのロボットアームを一組ずつ結合させ、結合された組のロボットアームを内側及び外側に配列させ、第1〜第8ロボットハンド271〜278を同一の間隔で離隔させて上下配列されるように、下部内側に第1、第2ロボットアーム211、212、下部外側に第3、第4ロボットアーム213、214、上部内側に第7、第8ロボットアーム217、218、上部外側に第5、第6ロボットアーム215、216を配列する構造を選択する。これは8つのロボットアームが同一の軌跡で作動できるようにするが、その体積を最小化するためであり、上下配列された第1〜第8ロボットハンド271〜278の出入り作動上における相互間の干渉を無くすための具現方法と言える。
First, as shown in FIG. 3, the two robot arms are combined one by one so that the arrangement of the first to
また、ワークパネル、ロボットハンド、回転ベース、アップダウンポストの位置上にて、体積の最小化及び作業効率を具現するようにする。 In addition, volume minimization and work efficiency are realized on the positions of the work panel, robot hand, rotating base, and up / down post.
図4を参照すると、ワークパネル150の中心、ロボットハンド271〜278の中心、回転ベース130の回転軸130a中心、及びアップダウンポスト140の中心が、基準ライン401の一直線上に置かれるように配置される。
Referring to FIG. 4, the center of the
図6は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの8ロボットアームが収められた状態図であり、図7は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの第1ロボットアームが水平前進した状態図であり、図8は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの第4ロボットアームが水平前進した状態図であり、図9は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの第5ロボットアームが水平前進した状態図であり、図10は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの第8ロボットアームが水平前進した状態図であり、図11は、本発明の一実施形態による8ロボットアームを備えた搬送ロボットの8ロボットアーム全体が水平前進した状態図である。 FIG. 6 is a state diagram in which 8 robot arms of a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention are housed, and FIG. 7 is a transfer including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is a state diagram in which the first robot arm of the robot is horizontally advanced, and FIG. 8 is a state diagram in which the fourth robot arm of the transfer robot having the eight robot arms according to an embodiment of the present invention is horizontally advanced. FIG. 10 is a diagram illustrating a state in which a fifth robot arm of a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention moves horizontally, and FIG. 10 illustrates a transfer robot including 8 robot arms according to an embodiment of the present invention. FIG. 11 is a state diagram in which the eighth robot arm is horizontally advanced, and FIG. 11 is an eight robot arm of a transfer robot including the eight robot arm according to an embodiment of the present invention. Body is a state diagram the horizontally forward.
本発明の一実施形態に係るアームユニット200は、それぞれ8つのアームからなっており、アップダウンポスト140を基準として両サイド4分割されて上下4列ずつ配置される構造を有し、それぞれのロボットアームは、独立的駆動、同時駆動、及び選択的駆動が可能であり、1個のワークパネル、8個のワークパネル又は2個ないし7個のパネルを選択的に搬送が可能になる。
Each of the
図6を参照すると、第1〜第8ロボットハンド271〜278は、すべて両サイド及び上下の第1〜第4ロボットアーム組210〜240から形成される空間内に引き込まれて納められた形状を呈している。 Referring to FIG. 6, the first to eighth robot hands 271 to 278 are all drawn into a space formed by both sides and the upper and lower first to fourth robot arm sets 210 to 240. Presents.
図7を参照すると、第1ロボットアーム211の作動状態を示しているが、第1ロボットアーム211をベースとして第1スライダー251が前方に向かってスライドし、第1スライダー251と直角に結合した第1ブリッジ261が連動してスライドし、第1ブリッジ261と直角方向に結合した第1ロボットハンド271が前方に移動してワークパネル150aを搬送したり取り出したりする。
Referring to FIG. 7, the operating state of the
図8を参照すると、第4ロボットアーム214の作動状態を示しているが、第4ロボットアーム214をベースとして第4ロボットアーム214の外側面にスライディング可能に連結された第4スライダー254が前方に向かってスライドし、第4スライダー254と直角に結合された第4ブリッジ264が連動してスライドし、第4ブリッジ264と直角方向に結合した第4ロボットハンド274が前方に移動してワークパネル150dを搬送したり取り出したりする。
Referring to FIG. 8, the operating state of the
図9を参照すると、第5ロボットアーム215の作動状態を示しており、第5ロボットアーム215をベースとして第5スライダー255が前方に向かってスライドし、第5スライダー255と直角に結合した第5ブリッジ265連動してスライドし、第5ブリッジ265と直角方向に結合した第5ロボットハンド275が前方に移動してワークパネル150eを搬送したり取り出したりする。ここで、第5スライダー255と第5ブリッジ265は一体に形成されてもよく、残りの第1〜第8スライダー251〜258と第1〜第8ブリッジ261〜268もやはり一体に形成されてもよい。
Referring to FIG. 9, the operating state of the
図10を参照すると、第8ロボットアーム218の作動状態を示しており、第8ロボットアーム218の内側面をベースとして第8スライダー258が前方に向かってスライドし、第8スライダー258と直角に結合した第8ブリッジ268が連動してスライドし、第8ブリッジ268と直角方向に結合した第8ロボット278が前方に移動してワークパネル150hを搬送したり取り出したりする。
Referring to FIG. 10, the operating state of the
図11は、第1〜第8ロボットアーム211〜218がすべて伸びた状態を示したものであって、8枚のワークパネルを同時に取り出し及び搬送するために使用され得る状態である。
FIG. 11 shows a state in which the first to
8枚のワークパネルを同時に取り出し及び搬送するため、図6及び図11のように、同時に第1〜第8ロボットアーム211〜218を伸ばしたり収めることができ、第1〜第8ロボットハンド271〜278を上下同一の間隔を維持したまま、同一の作動軌道を有するようになる。
Since the eight work panels are taken out and conveyed at the same time, the first to
以上、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明したが、上述した本発明の技術的構成は、本発明に属する技術分野の当業者が、本発明のその技術的思想や必須的特徴を変更せずに、他の具体的な形態で実施され得ることが理解できるだろう。それゆえに、以上において上述した実施形態は、全ての面で例示的なものであり、限定的なものでないことと理解されなければならず、本発明の範囲は、上記詳細な説明よりは後述する特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲の意味及び範囲、そしてその等価概念から導出される全ての変更又は変形された形態が、本発明の範囲に含まれるものと解釈されなければならない。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings. However, the technical configuration of the present invention described above is not limited to those skilled in the art belonging to the present invention. It will be understood that the invention can be implemented in other specific forms without changing essential characteristics. Therefore, it should be understood that the above-described embodiment is illustrative in all aspects and not restrictive, and the scope of the present invention will be described later than the above detailed description. All modifications or variations that are indicated by the claims and that are derived from the meaning and scope of the claims and equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.
100 8ロボットアームを備えた搬送ロボット
110 走行ベース
120 走行スライダー
130 回転ベース
130a 回転軸
140 アップダウンポスト
150、150a、150d、150e、150h ワークパネル
200 アームユニット
211、212、213、214、215、216、217、218 ロボットアーム
210、220、230、240 ロボットアーム組
251、252、253、254、255、256、257、258 スライダー
261、262、263、264、265、266、267、268 ブリッジ
271、272、273、274、275、276、277、278 ロボットハンド
310 下側部ロボットアーム
320 上側部ロボットアーム
100 8
Claims (8)
前記アームユニットは、前記ポスト両側面の上下に結合する第1〜第4の4つのロボットアーム組からなり、
前記第1〜第4ロボットアーム組は、2つのロボットアームが水平に結合して一組からなり、第1〜第8ロボットアームからなる、8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The arm unit includes a post that is coupled so that vertical linear motion is possible,
The arm unit is composed of first to fourth four robot arm groups coupled to the upper and lower sides of the post side surfaces,
The first to fourth robot arm groups are transport robots having eight robot arms, each of which is composed of a pair of two robot arms coupled horizontally.
下側に配列された前記第1及び第2ロボットアーム組は、内側に第1及び第2ロボットアームが、外側に第3及び第4ロボットアームが配列され、
上側に配列された前記第3及び第4ロボットアーム組は、内側に第7及び第8ロボットアームが、外側に第5及び第6ロボットアームが配列される、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The first and second robot arm groups are arranged on the lower side, and the third and fourth robot arm groups are arranged on the upper side,
In the first and second robot arm groups arranged on the lower side, the first and second robot arms are arranged on the inner side, and the third and fourth robot arms are arranged on the outer side,
2. The eight robot arms according to claim 1, wherein the third and fourth robot arm groups arranged on the upper side have the seventh and eighth robot arms arranged on the inner side and the fifth and sixth robot arms arranged on the outer side. Conveying robot equipped with.
前記第1〜第8ロボットアームには、それぞれ第1〜第8ロボットハンドが装着され、前記第1〜第8ロボットハンドの中心、前記回転ベースの回転軸及び前記ポストの中心は、一つの基準ラインに一直線上に配置される、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The lower end of the post is connected to one end of a rotation base capable of rotating 360 degrees,
The first to eighth robot arms are respectively mounted with the first to eighth robot hands, and the center of the first to eighth robot hands, the rotation axis of the rotation base, and the center of the post are one reference. The transfer robot having the eight robot arms according to claim 1, which is arranged in a straight line on the line.
前記第1〜第8ロボットハンドは、上下に配列されて上下間隔が同一であり、運動軌道が互いに同一な、請求項1に記載の8ロボットアームを備えた搬送ロボット。 The first to eighth robot arms are mounted with the first to eighth robot hands via a slider that can operate forward and backward,
2. The transport robot having the eight robot arms according to claim 1, wherein the first to eighth robot hands are arranged vertically and have the same vertical spacing and the same motion trajectory.
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