JP5937104B2 - 仮接着のためのポリマー組成物 - Google Patents
仮接着のためのポリマー組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5937104B2 JP5937104B2 JP2013547666A JP2013547666A JP5937104B2 JP 5937104 B2 JP5937104 B2 JP 5937104B2 JP 2013547666 A JP2013547666 A JP 2013547666A JP 2013547666 A JP2013547666 A JP 2013547666A JP 5937104 B2 JP5937104 B2 JP 5937104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer layer
- polymer
- wafer
- substrate
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/36—Sulfur-, selenium-, or tellurium-containing compounds
- C08K5/41—Compounds containing sulfur bound to oxygen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/04—Oxygen-containing compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/04—Oxygen-containing compounds
- C08K5/15—Heterocyclic compounds having oxygen in the ring
- C08K5/151—Heterocyclic compounds having oxygen in the ring having one oxygen atom in the ring
- C08K5/1535—Five-membered rings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/16—Nitrogen-containing compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/54—Silicon-containing compounds
- C08K5/541—Silicon-containing compounds containing oxygen
- C08K5/5415—Silicon-containing compounds containing oxygen containing at least one Si—O bond
- C08K5/5419—Silicon-containing compounds containing oxygen containing at least one Si—O bond containing at least one Si—C bond
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/54—Silicon-containing compounds
- C08K5/541—Silicon-containing compounds containing oxygen
- C08K5/5425—Silicon-containing compounds containing oxygen containing at least one C=C bond
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/54—Silicon-containing compounds
- C08K5/548—Silicon-containing compounds containing sulfur
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68327—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/6834—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used to protect an active side of a device or wafer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68381—Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or wafer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Polyesters Or Polycarbonates (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
[0028]本明細書中で用いることができるノルボルネンタイプのポリマーの例としては、以下の一般式(1)により表される構造単位を有するものが挙げられる:
[0030]式(2)に関し、各R5は、独立して、水素原子、メチル基、またはエチル基を表し;R6、R7およびR8は、それぞれ独立して、1〜20の炭素原子を有する線状または分枝状アルキル基、1〜20の炭素原子を有する線状または分枝状アルコキシ基、1〜20の炭素原子を有する線状または分枝状アルキルカルボニルオキシ基、および6〜20の炭素原子を有する置換または非置換アリールオキシ基を表し;そして、nは0〜5の整数である。
[0034]本発明に従った態様では、1〜20の炭素原子を有する線状または分枝状アルキル側基がブチル、ヘキシルおよびデシルから選択される場合、そのようなアルキル側基を包含する反復単位は、ポリマーに望ましい性質、例えば、仮接着剤のさまざまな成分との優れた相溶性、さまざまな種類の溶媒への溶解性、および半導体ウエハと支持基材を一緒に接着した時の機械的物理的性質の1以上をもたらす。同様に、フェネチルおよびナフチルなどの芳香族側基、またはシクロヘキシルおよびノルボルニルなどの脂環式側基を有する態様の場合も、望ましい物理的性質が得られる。
[0040]本発明に従ったポリマー組成物の態様に関し、そのような組成物は、ポリマーの態様、キャスティング溶媒、および所望により光増感剤、光酸発生剤(PAG)および/または密着促進剤を包含する。接着層が多層ポリマー皮膜を含有する態様では、一般に少なくとも1つのポリマー層がPAGを含有する。いくつかの態様において、ポリマー組成物は、PLAポリマー組成物にせよNPLポリマー組成物にせよ、5〜50重量%のポリマーおよび0〜5重量%のPAGを含有する。他の態様において、ポリマー組成物は、PLAポリマー組成物にせよNPLポリマー組成物にせよ、10〜40重量%のポリマーおよび0.05〜2重量%のPAGを含有する。
[0060]ポリラクチド(PDL20)(40g、18.1重量%)を(GBL)(180g)に溶解した。GSID26−1(トリス(4−(4−アセチルフェニルチオ)フェニル)スルホニウムトリス(トリフルオロメタンスルホニル)メチドBASF)(0.8g、0.4重量%)を、ポリラクチド溶液に加えた。E−タイプ粘度計で粘度を決定し、25℃において20.0Pa.sであることを見いだした。
実施例1B:ウエハの仮接着プロセスの評価
[0061]実施例1Aの配合物を8インチのガラスウエハ上にスピンコーティングし、その後、コーティングしたウエハを120℃で5分間ソフトベークした後、220℃で5分間ハードベークして、厚さ40μmの皮膜を得た。その後、170℃の温度に設定したSB−8e基材接着装置(Suss MicroTec)を用い、減圧下(10−2mbar)で0.2MPaの圧力を5分間施用して、コーティングしたガラスウエハにデバイスウエハを接着した。接着した試料を目視検査し、ボイドは観察されなかった。検査後、デバイスウエハをDFG8540自動表面研削装置(Disco)上に載せ、50μmの厚さまで薄化した。その後、MA−8暴露ツール(Suss MicroTec)を用いて、接着した堆積物を、ガラスウエハ側を通して365nmの波長で2000mJ/cm2の線量に暴露した。その後、2.0mm/秒のスライドオフ速度および170℃の温度に設定したEVG805ウエハ剥離装置(EV Group、オーストリア)を用いて、スライドオフ法により、薄化したデバイスウエハを続いてガラスウエハから剥離した。デバイスおよびガラスウエハ上の残留物を、25℃において攪拌しつつGBL中でソーキングすることにより除去した。
実施例2A:ウエハの仮接着プロセスの評価
[0062]実施例1Aの配合物を8インチのガラスウエハ上にスピンコーティングし、該ガラスウエハをデバイスウエハに接着し、該デバイスウエハを薄化して、ハードベークを実施しなかった点を除き実施例1Bの方法を用いてガラスウエハから剥離した。デバイスおよびガラスウエハ上の残留物を、25℃において攪拌しつつGBL中でソーキングすることにより除去した。
実施例3:ポリ(ラクチド)溶液およびそれから形成した皮膜の評価
[0063]特定のポリマーを特定の溶媒に溶解することにより、いくつかのポリマー溶液を調製した(以下の表2参照)。100%のDL含有率を有する各溶液の場合、溶媒とポリマーの混合物を室温においてボトルローラーで一晩回転させることにより、溶解を実現した。DL含有率が100%未満である各溶液では、50℃に設定した電気加熱マントルでボトルを加熱しつつ溶媒とポリマーの混合物を機械的攪拌機で一晩混合することにより、溶解を実現した。溶液の外観を目視検査して、混合物が透明であるか、曇っているか、またはゲルを含有しているかを決定した。
[0066]NMP中のPLDL7017およびGSID26−1の配合物(20%TS(全固形分)、0.5phr GSID26−1)を調製し、3つの4インチSiウエハのそれぞれの上にスピンコーティングした。コーティング後、各ウエハを120℃で20分間ソフトベークし、皮膜の厚さを40μmと決定した。配合物中のポリマーのMwを、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)を用いて決定した。第1のウエハ上の皮膜を210℃で5分間ハードベークした。第2のウエハ上の皮膜を200℃で5分間ハードベークした。その後、これら2つのウエハからの皮膜の一部をウエハから掻き取り、掻き取った各部分のMwをGPCを用いて決定した。
紫外線の暴露:
[0068]その後、上部にPLDL7017/GSID26−1配合物をスピンして皮膜を形成してある第3のウエハを、AB−Mマスクアライナーを用いて、365nmの波長で2J/cm2の線量に暴露し、続いて200℃で5分間ハードベークした。その後、皮膜の一部をウエハから掻き取り、掻き取った部分のMwをGPCを用いて決定した。
[0071]GBL中のPDL20およびGSID26−1の配合物(20%TS、2phr GSID26−1)を調製し、4インチSiウエハ上にスピンコーティングした。コーティング後、ウエハを120℃で20分間ベークして残留GBLを除去し、365nmの波長を有する2000mJ/cm2の化学線に全体的に暴露し、暴露後、N2をパージしたオーブンにおいて200℃で15分間ベークした。最初のベーク後、2000mJ/cm2の暴露後、および2回目のベーク後に基材および皮膜の重量を決定すると、それぞれ8.66g、8.66gおよび8.66gであった。上記ポリマー組成物の2つの追加的試料を、スピンコーティングにより4インチSiウエハ上にキャストした。その後、皮膜の一部を試料の1つから掻き取り、掻き取った部分のMwをGPCを用いて決定すると316800であった。第2の試料を、AB−Mマスクアライナーを用いて、365nmの波長で2000mJ/cm2の線量に暴露し、続いて200℃で15分間ハードベークした。その後、皮膜の一部をウエハから掻き取り、掻き取った部分のMwをGPCを用いて決定すると25500であった。
実施例6A.ランダムMMA−MAAコポリマー
[0072]メタクリル酸メチル−メタクリル酸(80/20)コポリマー(5g、Monomer−Polymer and Dajac Labs、製品番号9425)を十分なシクロペンタノンに溶解して、40重量パーセント溶液を得た。約2gのこの溶液を4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを1000rpmで30秒間スピンした。該ウエハを120℃で20分間ベークした。得られた亀裂のない皮膜は厚さ48μmと決定された。
実施例6B.
[0076]メタクリル酸メチル−メタクリル酸(80/20)コポリマーの3つの15重量パーセントポリマー溶液を上記のように調製した後、各溶液に、CPTX(1−クロロ−4−プロポキシ−9H−チオキサントン、Lambson Group Inc.)、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン(Sigma Aldrich)およびベンゾフェノンのうち1つを、ポリマーの重量に基づき1パーセント加えた。約2gのこれらの各溶液を、別個の3つの4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを500rpmで70秒間スピンした。該ウエハを130℃で2分間ポストアプライベークした。該ウエハを、ABMマスクアライナーを用いて暴露した(365nmで1J/cm2の線量)。その後、、該ウエハを150℃で15分間ポストエクスポージャーベークした。各ウエハからポリマー試料を掻き取り、GPCに付した。その後、実験を2回、1回は10J/cm2の暴露線量で、1回は暴露なしで、繰り返し、暴露していない試料についてはウエハをポストエクスポージャーベークしなかった。各ウエハからポリマー試料を掻き取り、GPCに付した。これらの実験の結果を以下の表に示す。
実施例6C:
[0078]上記15重量%溶液のそれぞれ約2gを、2つの4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを500rpmで70秒間スピンした。該ウエハを130℃で2分間ベークした。一方のウエハを、ABMマスクアライナーを365nmバンドパスフィルターなしで用いて暴露した(248nmで1J/cm2)。もう一方のウエハを、ABMマスクアライナーを365nmバンドパスフィルターなしで用いて暴露した(248nmで10J/cm2)。両ウエハからポリマー試料を掻き取った。これら2つのポリマー試料のGPC分析は、両ポリマーのMwが入手したままのポリマーから大きく変化していないことを示した。
[0079]メタクリル酸メチル−アクリル酸ブチルトリブロックコポリマー(KurarayからのLA2250、LA4285およびLA2140e)をシクロペンタノン溶液に溶解して、40重量%溶液を作製した。約2gの各溶液を4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを500rpmで70秒間スピンした。該ウエハを120℃で5分間ベークした。得られた亀裂のない皮膜の皮膜厚さを形状測定(profilometry)により決定した。
[0084]非晶質コポリエステルであるRV270(Toyobo America,Inc.)の適量をGSID26−1(トリス(4−(4−アセチルフェニルチオ)フェニル)スルホニウムトリス(トリフルオロメタンスルホニル)メタニド、BASF)の0.5重量%ポリマーと一緒にシクロペンタノンに溶解して、46重量パーセント溶液を得た。約2gのこの溶液を4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを1800rpmで30秒間スピンした。該ウエハを120℃で5分間ベークすると、厚さ50μmで亀裂のない皮膜が得られた。
[0086]非晶質コポリエステルであるGK880(Toyobo America,Inc.)の適量をGSID26−1の1.5重量%ポリマーと一緒にシクロペンタノンに溶解して、48重量パーセント溶液を得た。約2gのこの溶液を4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを1800rpmで30秒間スピンした後、120℃で5分間ベークすると、厚さ30μmで亀裂のない皮膜が得られた。
[0089]1,3−シクロヘキサンジカルボン酸、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸、および2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールのターポリマーを、以下に記載するような触媒縮合反応下で調製した。乾燥ボックス中で、3つのモノマー(すべてSigma Aldrichから購入した)を重量測定し、攪拌子を備える250mLの丸底フラスコに加えた。モノマー混合物は、25.0g(0.145mol)の1,4−シクロヘキサンジカルボン酸、13.0g(0.076mol)の1,3−シクロヘキサンジカルボン酸、および25.3g(0.243mol)の2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールを含有していた。その後、0.073gのトリエチルアミンおよび0.26gのチタン(IV)2−エチル−ヘキシルオキシドをそれぞれ加えた。N2雰囲気下で減圧を制御することができるように反応フラスコを減圧ラインに接続して、反応装置をフード内で組み立てた。反応混合物を1atmで200℃に100分間加熱し、反応からの水を冷却トラップに収集した。その後、圧力を4Torrに低下させ、反応をさらに2時間保持した。温度をさらに230℃に上昇させ、圧力をさらに0.5Torrに低下させ、そのままさらに6時間反応させた後、反応を停止させた。GPC分析は、62226のMw、31234のMnおよび1.99のPDIを有する生成物を示した。
[0093]エチルセルロース(15g、Aldrich、48%エトキシ含有率)をトルエン(68g)とエタノール(17g)の80:20混合物に溶解して、15重量パーセント溶液を得た。約2gのこの溶液を4インチのシリコンウエハの中心上に手で分取した。該ウエハを500rpmで70秒間スピンした。該ウエハを120℃で5分間ベークすると、厚さ22μmで亀裂のない皮膜が得られた。
[0097]4インチのシリコンウエハの重量を、小数点以下4桁の化学天秤で測定した。第2のエチルセルロース溶液の一部を、上記のようにシリコンウエハ上にスピンコーティングした。120℃で5分間のポストアプライベーク後、ウエハの重量を測定した。その後、ウエハ全体を、Electro−lite電球(部品#82058)を備えるElectro−lite Corporation Electro−Cure 4001 UV Flood System中で暴露し(248nmで2J)、ウエハの重量を測定した。その後、該ウエハを150℃で15分間にわたりポストエクスポージャーベークし、ウエハの重量をもう一度測定した。いくつかの重量を以下の表19に示す。
[0099]第2のエチルセルロース配合物の一部を上記のようにシリコンウエハ上にスピンコーティングした。ウエハの2分の1を、365nmバンドパスフィルターなしでABMマスクアライナーで暴露し(248nmで2J/cm2)、残りの半分は暴露しなかった。その後、ウエハ全体を150℃で15分間ポストエクスポージャーベークした。ウエハの暴露した部分および暴露していない部分からポリマー試料を掻き取り、それぞれのMwをGPC分析により決定した。各試料の分子量を以下の表20に示す。
実施例12:二層例
[00101]第1のポリマー層:市販のポリ(ラクチド)(PLD20;PURAC biochem BV)(40g、22.1重量%)をガンマ−ブチロラクトン(GBL)(140g)に溶解した。トリス(4−(4−アセチルフェニルチオ)フェニル)スルホニウムトリス(トリフルオロメタンスルホニル)メチド(GSID26−1;BASF)(0.8g、0.4重量%)をポリ(ラクチド)溶液に加えた。粘度は、E−タイプ粘度計で決定して、25℃において20Pasであった。
[0105]ここまでで、本開示が、デバイスウエハとガラス基材の間に仮(剥離性)接着を形成するために有利に採用することができるさまざまなタイプのポリマーを明示していることを、理解すべきである。さらに、仮接着が形成する温度以下の温度で、そのような剥離をもたらすことができることが示された。さらに、さまざまなポリマータイプが、ガラス基材からのデバイスウエハの剥離をもたらす解重合を経ることができることが示された。これに関し、そのような解重合は、ポリマーのMwの著しい低下およびそれに付随するポリマー粘度の低下により特徴付けられ、したがって、スライドオフ剥離または楔による剥離(wedge-off debonding)のいずれかを達成することが可能になる。解重合を経ることができる代表的なポリマーのタイプとしては、限定されるものではないが、PLAポリマー、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミド、ポリエーテル、ポリメタクリレート、ポリノルボルネン、アルキルセルロース、およびそれらの2以上の組み合わせが挙げられる。
Claims (11)
- 半導体デバイスの生産方法であって:
第1の基材の第1の表面上に第1のポリマー層を形成し;
第1のポリマー層上または第2の基材の第1の表面上に第2のポリマー層を形成し、第1のポリマー層および第2のポリマー層の一方は解重合性ポリマー主鎖を含み;
第1のポリマー層および第2のポリマー層を介して第1の基材を第2の基材に固定的に付着させ;
第1の基材または第2の基材の一方の第2の表面を処理し;
処理後、第1のポリマー層または第2のポリマー層の一方を200℃以下の温度で解重合させ;そして
第1の基材を第2の基材から分離する;
ことを含み、
ここで、第1のポリマー層および第2のポリマー層の一方が光酸発生剤または光増感剤を含み、第1のポリマー層または第2のポリマー層の少なくとも一方がポリラクチドを含有する、前記方法。 - 第1の基材が半導体ウエハであり、第1のポリマー層および第2のポリマー層が、半導体ウエハの第1の表面を被覆して形成されている、請求項1に記載の方法。
- 半導体ウエハの第1の表面が、該第1の表面の上方に伸長している金属構造体を含み、該構造体が、第1のポリマー層または第2のポリマー層の一方の形成によりコーティングされている、請求項2に記載の方法。
- 固定的な付着が、被覆する第2のポリマー層を第2の基材の第1の表面に接触させることを含む、請求項2に記載の方法。
- 第2の基材がガラス基材である、請求項4に記載の方法。
- 処理後、第2のポリマー層を解重合させる、請求項1に記載の方法。
- 第1のポリマー層および第2のポリマー層が、第1の基材の第1の表面を被覆して形成されている、請求項1に記載の方法。
- 処理後、第1のポリマー層を分解する、請求項7に記載の方法。
- 光酸発生剤または光増感剤の一方が、(トリス(4−(4−アセチルフェニルチオ)フェニル)スルホニウムトリス(トリフルオロメタンスルホニル)メチドである、請求項1に記載の方法。
- 第1のポリマー層または第2のポリマー層の一方を解重合させることが、該層を光酸の発生に有効な化学線に暴露し、第1のポリマー層または第2のポリマー層を解重合させるのに有効な温度に加熱することを含む、請求項1に記載の方法。
- 第1のポリマー層または第2のポリマー層の一方を解重合させることが、該層を、第1のポリマー層または第2のポリマー層を解重合させるのに有効な温度に暴露することを含む、請求項1または2に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201061427859P | 2010-12-29 | 2010-12-29 | |
US61/427,859 | 2010-12-29 | ||
PCT/US2011/067761 WO2012092447A1 (en) | 2010-12-29 | 2011-12-29 | Polymer compositions for temporary bonding |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014507515A JP2014507515A (ja) | 2014-03-27 |
JP2014507515A5 JP2014507515A5 (ja) | 2015-01-29 |
JP5937104B2 true JP5937104B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=46381311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013547666A Expired - Fee Related JP5937104B2 (ja) | 2010-12-29 | 2011-12-29 | 仮接着のためのポリマー組成物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8633259B2 (ja) |
JP (1) | JP5937104B2 (ja) |
KR (1) | KR101455046B1 (ja) |
TW (1) | TWI558783B (ja) |
WO (1) | WO2012092447A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8633259B2 (en) | 2010-12-29 | 2014-01-21 | Promerus, Llc | Polymer compositions for temporary bonding |
JP6031264B2 (ja) * | 2012-06-13 | 2016-11-24 | 富士フイルム株式会社 | 半導体装置製造用仮接着剤、並びに、それを用いた接着性支持体、及び、半導体装置の製造方法 |
DE102013100563A1 (de) * | 2013-01-21 | 2014-07-24 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Aufnahmeeinrichtung zur Handhabung strukturierter Substrate |
US10000675B2 (en) * | 2013-03-03 | 2018-06-19 | John Cleaon Moore | Temporary adhesive with tunable adhesion force sufficient for processing thin solid materials |
TWI741978B (zh) * | 2015-03-31 | 2021-10-11 | 日商住友化學股份有限公司 | 光學積層體及液晶顯示裝置 |
CN104804682B (zh) * | 2015-04-16 | 2017-05-24 | 深圳市化讯半导体材料有限公司 | 晶圆减薄的临时键合胶、其制备方法、键合及解键合方法 |
JP6765501B2 (ja) * | 2016-07-28 | 2020-10-07 | プロメラス, エルエルシー | 無水ナジック酸重合体及びそれに由来する感光性組成物 |
JP7066507B2 (ja) * | 2018-05-02 | 2022-05-13 | アイカ工業株式会社 | 光硬化性粘着樹脂組成物およびそれを用いた粘着テープ |
WO2019232008A1 (en) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | Corning Incorporated | Device surface renewal and rework by bundled laminate structures |
US20200075384A1 (en) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | Micron Technology, Inc. | Carrier Bond and Debond Using Self-Depolymerizing Polymer |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004523598A (ja) * | 2000-08-10 | 2004-08-05 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | 湿気透過性構造のための改善された接着特性を有する熱可塑性親水性ポリマー組成物 |
US8030425B2 (en) * | 2002-07-03 | 2011-10-04 | Promerus Llc | Photosensitive compositions based on polycyclic polymers for low stress, high temperature films |
KR101032670B1 (ko) * | 2002-11-01 | 2011-05-06 | 조지아 테크 리서치 코오포레이션 | 희생 조성물, 그의 사용 방법 및 그의 분해 방법 |
JP4474854B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2010-06-09 | Jsr株式会社 | 感放射線性接着剤組成物およびこれを用いたウェハーの加工方法 |
US7541264B2 (en) | 2005-03-01 | 2009-06-02 | Dow Corning Corporation | Temporary wafer bonding method for semiconductor processing |
US8120168B2 (en) * | 2006-03-21 | 2012-02-21 | Promerus Llc | Methods and materials useful for chip stacking, chip and wafer bonding |
KR101236151B1 (ko) * | 2006-03-21 | 2013-02-22 | 프로메러스, 엘엘씨 | 칩 적층, 칩 및 웨이퍼 본딩에 유용한 방법 및 재료 |
US7713835B2 (en) | 2006-10-06 | 2010-05-11 | Brewer Science Inc. | Thermally decomposable spin-on bonding compositions for temporary wafer bonding |
US20080200011A1 (en) | 2006-10-06 | 2008-08-21 | Pillalamarri Sunil K | High-temperature, spin-on, bonding compositions for temporary wafer bonding using sliding approach |
TWI418602B (zh) | 2007-06-25 | 2013-12-11 | Brewer Science Inc | 高溫旋塗暫時結合組成物 |
WO2009099954A1 (en) | 2008-02-04 | 2009-08-13 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Novel positive photosensitive resin compositions |
TWI479259B (zh) * | 2009-06-15 | 2015-04-01 | Sumitomo Bakelite Co | A temporary fixing agent for a semiconductor wafer, and a method of manufacturing the semiconductor device using the same |
US8633259B2 (en) | 2010-12-29 | 2014-01-21 | Promerus, Llc | Polymer compositions for temporary bonding |
-
2011
- 2011-12-29 US US13/339,784 patent/US8633259B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-29 TW TW100149543A patent/TWI558783B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-12-29 KR KR1020137016286A patent/KR101455046B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2011-12-29 JP JP2013547666A patent/JP5937104B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-29 WO PCT/US2011/067761 patent/WO2012092447A1/en active Application Filing
-
2013
- 2013-12-13 US US14/105,324 patent/US9051452B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120172479A1 (en) | 2012-07-05 |
TW201231591A (en) | 2012-08-01 |
WO2012092447A1 (en) | 2012-07-05 |
JP2014507515A (ja) | 2014-03-27 |
US9051452B2 (en) | 2015-06-09 |
KR101455046B1 (ko) | 2014-10-28 |
US8633259B2 (en) | 2014-01-21 |
KR20130119949A (ko) | 2013-11-01 |
TWI558783B (zh) | 2016-11-21 |
US20140102631A1 (en) | 2014-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5937104B2 (ja) | 仮接着のためのポリマー組成物 | |
KR101452671B1 (ko) | 적층체, 및 그 적층체의 분리 방법 | |
TWI557786B (zh) | 晶圓膠合系統及其用來膠合和脫膠的方法 | |
EP2362970B1 (en) | Cyclic olefin compositions for temporary wafer bonding | |
TWI479259B (zh) | A temporary fixing agent for a semiconductor wafer, and a method of manufacturing the semiconductor device using the same | |
KR101918326B1 (ko) | 웨이퍼용 가접착 재료, 그것을 사용한 가접착용 필름 및 웨이퍼 가공체, 및 그것들을 사용한 박형 웨이퍼의 제조 방법 | |
TWI543250B (zh) | 硬遮罩表面處理 | |
KR101908630B1 (ko) | 웨이퍼 가공체, 웨이퍼 가공용 부재, 웨이퍼 가공용 가접착재, 및 박형 웨이퍼의 제조방법 | |
CN105301897B (zh) | 用于底层的芳香族树脂 | |
TWI591083B (zh) | 用於微電子及光學電子元件之熱氧化穩定、支鏈經聚醚官能化之聚降莰烯及其配件 | |
JP5789974B2 (ja) | 仮固定剤および基材の加工方法 | |
US20230187257A1 (en) | Laser-releasable bonding materials for 3-d ic applications | |
US20140044962A1 (en) | Adhesive composition, film adhesive, and bonding method | |
EP2419926B1 (en) | Acid-etch resistant, protective coatings | |
JP2012126800A (ja) | 基材の加工方法 | |
TWI535815B (zh) | 暫時固定劑及基材之加工方法 | |
KR102648023B1 (ko) | 코팅 조성물 및 전자 장치 형성 방법 | |
JP2012129274A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2012129325A (ja) | 基材の加工方法 | |
JP2012126802A (ja) | 仮固定剤および基材の加工方法 | |
WO2021026035A1 (en) | Permanent bonding and patterning material |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141208 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160511 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5937104 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |