JP5936396B2 - 水晶振動子 - Google Patents
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Description
詳しくは、捩り振動モードを利用した水晶振動子の振動子形状に関するものである。
100、100a、100b、100c 振動脚
101、101a、101b、101c 錘部
102 振動部
110、110a、110b、110c 振動脚
111 錘部
112 振動部
120 振動脚
121 錘部
122 振動部
200、210、220 基部
300、300a、300b、300c、310 錘先端部
351、352 突起部
400、410 稜線部
500、520 水晶ウェハ
600、620 保護膜
Claims (2)
- 基部と該基部から突出した複数の振動脚を有する捩り振動モードを利用した水晶振動子であって、前記振動脚は振動部と該振動部よりも先端側に位置し該振動部よりも幅広な錘部とからなり、前記錘部の先端側に形成される傾斜角と前記振動部と前記錘部の繋ぎ目である稜線の傾斜角とは等しく、前記それぞれの傾斜角は、90°から前記水晶振動子の平面に対して所定の角度を引いた角度になることを特徴とする水晶振動子。
- 前記錘部の先端側に形成される前記傾斜角は、前記水晶振動子の平面に対して45°〜70°の角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012060479A JP5936396B2 (ja) | 2012-03-16 | 2012-03-16 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012060479A JP5936396B2 (ja) | 2012-03-16 | 2012-03-16 | 水晶振動子 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2013197693A JP2013197693A (ja) | 2013-09-30 |
JP5936396B2 true JP5936396B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=49396174
Family Applications (1)
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JP2012060479A Active JP5936396B2 (ja) | 2012-03-16 | 2012-03-16 | 水晶振動子 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5936396B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6959873B2 (ja) * | 2018-01-22 | 2021-11-05 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子、及び製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6458108A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | Matsushima Kogyo Kk | Tuning fork type crystal vibrator |
CA2327576C (en) * | 1999-12-21 | 2008-09-30 | Eta Sa Fabriques D'ebauches | Low frequency quartz oscillator device with improved thermal characteristics |
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Publication number | Publication date |
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JP2013197693A (ja) | 2013-09-30 |
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