JP2013197693A - 水晶振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基部200と基部から突出した複数の振動脚100a、100b、100cを有する捩り振動モードを利用した水晶振動子10であって、振動脚は振動部102と振動部よりも先端側に位置し振動部よりも幅広な錘部101とからなり、錘部の先端側に振動子平面に対して所定の角度αを有する斜面が形成され、且つ振動部と錘部の繋ぎ目である稜線400も所定の角度βを有し、斜面と同じ角度で傾いている。
【選択図】図1
Description
詳しくは、捩り振動モードを利用した水晶振動子の振動子形状に関するものである。
100、100a、100b、100c 振動脚
101、101a、101b、101c 錘部
102 振動部
110、110a、110b、110c 振動脚
111 錘部
112 振動部
120 振動脚
121 錘部
122 振動部
200、210、220 基部
300、300a、300b、300c、310 錘先端部
351、352 突起部
400、410 稜線部
500、520 水晶ウェハ
600、620 保護膜
Claims (2)
- 基部と該基部から突出した複数の振動脚を有する捩り振動モードを利用した水晶振動子であって、前記振動脚は振動部と該振動部よりも先端側に位置し該振動部よりも幅広な錘部とからなり、前記錘部の先端側に水晶振動子の平面に対して所定の角度を有する斜面が形成され、且つ前記振動部と前記錘部の繋ぎ目である稜線も前記斜面と同じ角度で傾いていることを特徴とする水晶振動子。
- 前記錘部の先端側に形成される前記斜面が、水晶振動子の平面に対して45°〜70°の角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019129351A (ja) * | 2018-01-22 | 2019-08-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子、及び製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6458108A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | Matsushima Kogyo Kk | Tuning fork type crystal vibrator |
JP2001203534A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-07-27 | Eta Sa Fab Ebauches | 温度特性を改善した低周波水晶発振器デバイス |
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2012
- 2012-03-16 JP JP2012060479A patent/JP5936396B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6458108A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | Matsushima Kogyo Kk | Tuning fork type crystal vibrator |
JP2001203534A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-07-27 | Eta Sa Fab Ebauches | 温度特性を改善した低周波水晶発振器デバイス |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019129351A (ja) * | 2018-01-22 | 2019-08-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子、及び製造方法 |
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