JP5933448B2 - 高温チャック及びそれを使用する方法 - Google Patents
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Description
[適用例1]ウエハ状物品を支えるためのチャックであって、
処理作業中にウエハ状物品を所定の向きに配置するように適応された本体であって、上面と、ウエハ状物品の縁又は表面に係合するように構成されるとともに前記上面に相対的に上向きに突き出した複数のピンとを含む、本体と、
前記本体の前記上面、及び前記上面よりも上方に位置する前記ピンの少なくとも1本の一部分のうちの、少なくともいずれかの上に配置される少なくとも1つの遮蔽部材と
を備えるチャック。
[適用例2]前記本体は、半導体ウエハの枚葉式ウエハ処理での使用に適応された回転式の支えである適用例1に記載のチャック。
[適用例3]適用例1に記載のチャックであって、
前記少なくとも1つの遮蔽部材は、前記本体の前記上面との間に隙間を形成するように前記本体の前記上面の実質的に上方に配置されるとともに前記本体の前記上面の上方に所定の距離に維持される遮蔽板を含む
チャック。
[適用例4]適用例1に記載のチャックであって、
前記少なくとも1つの遮蔽部材は、複数の貫通孔を有する遮蔽板を含み、前記ピンの各々は、前記複数の貫通孔の1つに通され、前記遮蔽板は、前記貫通孔の各々を取り巻くとともに処理液を集めて該処理液を前記本体から半径方向外向きに離れるように方向付けるように構成された凹所を更に含む
チャック。
[適用例5]前記遮蔽板は、更に、前記複数のピンの各々を取り巻く環状フランジを含む適用例4に記載のチャック。
[適用例6]前記遮蔽板は、更に、中央開口と、前記中央開口を取り巻く上向きに突き出した環状フランジとを含む適用例4に記載のチャック。
[適用例7]前記本体の上方部分の下に配置される金属製の補強部材を更に備える適用例1に記載のチャック。
[適用例8]前記少なくとも1つの遮蔽部材は、1つ又は2つ以上のピンカバーを含む適用例1に記載のチャック。
[適用例9]適用例8に記載のチャックであって、
前記ピンカバーの各々は、ピン本体を覆うとともに、ピンロッドを通らせる開口を形成し、前記ピンカバーは、前記ピン基部本体の長手方向軸に相対的に半径方向外向きに且つ下向きに広がる
チャック。
[適用例10]前記少なくとも1つの遮蔽部材は、1つ又は2つ以上のピンカバーを更に含む適用例4に記載のチャック。
[適用例11]適用例10に記載のチャックであって、
前記ピンカバーの各々は、ピン本体を覆うとともに、ピンロッドを通らせる開口を形成し、前記ピンカバーは、前記ピン基部本体の長手方向軸に相対的に半径方向外向きに且つ下向きに広がるとともに、処理液を前記ピンカバーの上面からその下の凹所へ方向付けられるように前記凹所に相対的に配置される
チャック。
[適用例12]ウエハ状物品を湿式処理で使用するための処理方法であって、
本体と、ウエハ状物品の縁又は表面に係合するように構成され、前記本体から上向きに突き出した複数のピンを含むチャック上に、前記ウエハ状物品を所定の向きで配置し、
前記ウエハ状物品が80℃よりも大幅に高い温度に達するように、前記ウエハ状物品上に処理液を施し、
前記本体及び前記ピンの少なくともいずれかを80℃又はそれ未満の温度に維持する
処理方法。
[適用例13]前記ウエハ状物品は、120℃又はそれを超える温度に達する適用例12に記載の処理方法。
[適用例14]前記ウエハ状物品は、120℃から180℃の範囲の温度に達する適用例12に記載の処理方法。
[適用例15]適用例12に記載の処理方法であって、
前記チャックは、前記本体及び前記ピンの少なくともいずれかの上に配置される少なくとも1つの遮蔽部材であって、前記遮蔽部材の上面上に広がる温度が120℃又はそれよりも高いときに前記本体及び前記ピンの少なくともいずれかを80℃以下の温度に維持するように構成された少なくとも1つの遮蔽部材を含む
処理方法。
Claims (14)
- ウエハ状物品を支えるためのチャックであって、
処理作業中にウエハ状物品を所定の向きに配置するように適応された本体であって、上面と、ウエハ状物品の縁又は表面に係合するように構成されるとともに前記上面に相対的に上向きに突き出した複数のピンとを含む、本体と、
前記本体の前記上面との間に隙間を形成するように前記本体の前記上面の実質的に上方に配置されるとともに前記本体の前記上面の上方に所定の距離に維持される遮蔽板を含む少なくとも一つの遮蔽部材と
を備え、
前記遮蔽板は、複数の貫通孔を備え、前記複数の貫通孔の各々に、前記複数のピンがそれぞれ通された
チャック。 - 前記本体は、半導体ウエハの枚葉式ウエハ処理での使用に適応された回転式の支えである請求項1に記載のチャック。
- 請求項1に記載のチャックであって、
前記遮蔽板は、前記貫通孔の各々を取り巻くとともに処理液を集めて該処理液を前記本体から半径方向外向きに離れるように方向付けるように構成された凹所を更に含む
チャック。 - 前記遮蔽板は、更に、前記複数のピンの各々を取り巻く環状フランジを含む請求項3に記載のチャック。
- 前記遮蔽板は、更に、中央開口と、前記中央開口を取り巻く上向きに突き出した環状フランジとを含む請求項3に記載のチャック。
- 前記本体の上方部分の下に配置される金属製の補強部材を更に備える請求項1に記載のチャック。
- 前記少なくとも1つの遮蔽部材は、1つ又は2つ以上のピンカバーを含む請求項1に記載のチャック。
- 請求項7に記載のチャックであって、
前記ピンカバーの各々は、ピン本体を覆うとともに、ピンロッドを通らせる開口を形成し、前記ピンカバーは、前記ピン基部本体の長手方向軸に相対的に半径方向外向きに且つ下向きに広がる
チャック。 - 前記少なくとも1つの遮蔽部材は、1つ又は2つ以上のピンカバーを更に含む請求項3に記載のチャック。
- 請求項9に記載のチャックであって、
前記ピンカバーの各々は、ピン本体を覆うとともに、ピンロッドを通らせる開口を形成し、前記ピンカバーは、前記ピン基部本体の長手方向軸に相対的に半径方向外向きに且つ下向きに広がるとともに、処理液を前記ピンカバーの上面からその下の凹所へ方向付けられるように前記凹所に相対的に配置される
チャック。 - ウエハ状物品を湿式処理で使用するための処理方法であって、
本体と、ウエハ状物品の縁又は表面に係合するように構成され、前記本体から上向きに突き出した複数のピンを含むチャック上に、前記ウエハ状物品を所定の向きで配置し、
前記本体の前記上面、及び前記ピンの少なくとも1本の一部分であって前記上面よりも上方に位置する一部分のうちの、少なくともいずれかの上に配置される少なくとも1つの遮蔽部材を設け、
前記少なくとも1つの遮蔽部材は、前記本体の前記上面との間に隙間を形成するように前記本体の前記上面の実質的に上方に配置されるとともに前記本体の前記上面の上方に所定の距離に維持される遮蔽板を含み、前記遮蔽板は、複数の貫通孔を有し、前記複数の貫通孔の各々に、前記複数のピンがそれぞれ通され、
前記ウエハ状物品が80℃よりも高い温度に達するように、前記ウエハ状物品上に処理液を施し、
前記遮蔽板により、前記本体及び前記ピンの少なくともいずれかを80℃又はそれ未満の温度に維持する
処理方法。 - 前記ウエハ状物品は、120℃又はそれを超える温度に達する請求項11に記載の処理方法。
- 前記ウエハ状物品は、120℃から180℃の範囲の温度に達する請求項11に記載の処理方法。
- 請求項11に記載の処理方法であって、
前記チャックは、前記本体及び前記ピンの少なくともいずれかの上に配置される少なくとも1つの遮蔽部材であって、前記遮蔽部材の上面上に広がる温度が120℃又はそれよりも高いときに前記本体及び前記ピンの少なくともいずれかを80℃以下の温度に維持するように構成された少なくとも1つの遮蔽部材を含む
処理方法。
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