JP5926063B2 - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:接着剤層
14:樹脂フィルム
16:貫通孔
20:半製品
22:圧電体基板
24、26:電極
30:共通電極板
32:プローブピン
34:プローブピン
Claims (5)
- 圧電素子の製造方法であって、
粘着シートに貼り付けられた半製品に電圧を印加するステップを有しており、
粘着シートには、貫通孔が形成されており、
半製品は、圧電体基板と、圧電体基板の一方の表面に形成された第1電極と、圧電体基板の他方の表面に形成された第2電極を有しており、
前記ステップでは、第2電極が粘着シートに貼り付けられており、半製品によって貫通孔の少なくとも一部が塞がれている状態で、第1電極と第2電極の間に電圧を印加しており、
前記ステップにおいて粘着シートに貼り付けられた状態の半製品を粘着シートに対して垂直に見た場合に、半製品の面積に対する半製品によって塞がれている部分の貫通孔の面積の割合が、15%以上であり、かつ、60%以下である、
ことを特徴とする製造方法。 - 前記ステップにおいて粘着シートに貼り付けられた状態の半製品を粘着シートに対して垂直に見た場合に、半製品の重心が貫通孔と重複する位置に存在する請求項1の製造方法。
- 半製品によって貫通孔の全体が塞がれている状態で前記ステップを実施する請求項1または2の製造方法。
- 半製品の重心位置を一対の端子で挟んだ状態で第1電極と第2電極の間に交流電圧を印加する請求項2または3の製造方法。
- 前記ステップの実施後に粘着シートを第2電極から剥離した場合に、その剥離の前後における第1電極と第2電極の間の静電容量の変化率が25%以下である請求項1〜4の何れか一項の製造方法。
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