JP5911750B2 - ウェハ支持体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明のウェハ支持体は、半導体ウェハを研磨する際には、該半導体ウェハを貼着して支持し、前記研磨した後には、エネルギー線を用いて前記貼着された状態にある該半導体ウェハを剥離するウェハ支持体であって、
前記ウェハ支持体は、円盤状の透明基材からなり、前記ウェハ支持体の周縁部は、前記ウェハ支持体の一面および他面に対して略垂直に広がる第一周面と、該第一周面および前記一面の間で、前記第一周面および前記一面に対して傾斜した角度で広がる第二周面と、前記第一周面および前記他面の間で、前記第一周面および前記他面に対して傾斜した角度で広がる第三周面と、前記一面および前記第二周面の間、前記第二周面および前記第一周面の間、前記第一周面および前記第三周面の間、前記第三周面および前記他面の間をそれぞれ繋ぐ湾曲面と、から構成され、前記周縁部は、表面粗さが10nm以上、100μm以下であることを特徴とする。
また、前記周縁部において存在する微小クラックの深さが50nm以下であることを特徴とする。
前記第二周面および前記第三周面は、前記一面および前記他面に対して略45°で広がることを特徴とする。
本発明のウェハ支持体10は、全体がレーザー光を透過可能な透明基材、例えばガラスから形成された円盤状部材である。ガラスの種類としては、耐衝撃性に優れ、かつ透明性に優れたガラス材料、例えば、酸化物、炭酸塩、硝酸塩及び水酸化物等を含むガラスがあげられる。例として、石英、朋珪酸ガラス、無アルカリガラス、ソーダライムガラス、その他、上記にあげたガラスに酸化物、炭酸塩、硝酸塩など添加されたガラスなども挙げることができる。
図2は、ウェハ支持体の製造方法のうち、特に周縁部の加工工程を段階的に示した断面図である。本発明のウェハ支持体10を製造する際には、まず、例えは円盤状のガラス板101を用意する(図2(a)参照)。
次に、このガラス板101の周縁部Aeにおける、一面F1と他面F2の角部に対して、例えばダイヤモンド砥粒を分散させたグラインダー110を当接させ、角部を面取りする(図2(b)参照)。グラインダー110は、例えば400番以上の面荒さをもった砥石であればよい。
本ガラス基板の具体的な実施例として、下記に記す。
これにより得られたガラスウェハの面取り部E2、E3の表面粗さを触針式粗さ測定器で測定したところ、Ra0.3μmであった(図2(c)参照)。
使用する研磨材は、線径0.3mmのナイロンと線径0.06mmのナイロンとを4:6の割合で混在させたブラシ121をポリッシャーとして使用し、平均粒径2.0μm、20wt%濃度の酸化セリウム130をスラリーとして使用した(図2(d)参照)。
そして、保持したガラスウェハの中心を基準に15rpmで回転させ、同時に上下40mmの範囲で80mm/minの速度で上下動させた。ブラシは750rpmで回転させ、回転しているガラスウェハの第一周面E1から毛先121を3mm押し込み、且つ酸化セリウムスラリー130をブラシとガラスウェハが接触する部分に滴下しながら60分間研磨した。
図3、図4は、本発明のウェハ支持体を用いたウェハの薄厚化工程を段階的に示した断面図である。
まず、図3(a)に示すように、ウェハ支持体10を用意する。
次に、このウェハ支持体10の一面F1に接着剤層11を形成(塗布)する。接着剤層11は、例えば、紫外線など特定波長の光によって分解され、接着性が消失ないし低減する接着剤を用いる(図3(b)参照)。
Claims (5)
- 半導体ウェハを研磨する際には、該半導体ウェハを貼着して支持し、前記研磨した後には、エネルギー線を用いて前記貼着された状態にある該半導体ウェハを剥離するウェハ支持体であって、
前記ウェハ支持体は、円盤状の透明基材からなり、
前記ウェハ支持体の周縁部は、前記ウェハ支持体の一面および他面に対して略垂直に広がる第一周面と、該第一周面および前記一面の間で、前記第一周面および前記一面に対して傾斜した角度で広がる第二周面と、前記第一周面および前記他面の間で、前記第一周面および前記他面に対して傾斜した角度で広がる第三周面と、前記一面および前記第二周面の間、前記第二周面および前記第一周面の間、前記第一周面および前記第三周面の間、前記第三周面および前記他面の間をそれぞれ繋ぐ湾曲面と、から構成され、
前記周縁部は、表面粗さが10nm以上、100μm以下であることを特徴とするウェハ支持体。 - 前記湾曲面の形状が10μmR以上、1mmR以下であることを特徴とする請求項1に記載のウェハ支持体。
- 前記周縁部において存在する微小クラックの深さが50nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のウェハ支持体。
- 前記第二周面および前記第三周面は、前記一面および前記他面に対して略30〜60°の範囲で広がることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項に記載のウェハ支持体。
- 請求項1ないし4いずれか1項記載のウェハ支持体の製造方法であって、
第一の剛性を有するブラシによる研磨と、第二の剛性を有するブラシによる前記周縁部の研磨とを行う工程を備えたことを特徴とするウェハ支持体の製造方法。
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