JP5905958B2 - 固体プロセスバルブ - Google Patents
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Description
本出願は、参照により援用する2011年6月16日出願の米国仮特許出願第61/497,785号に基づく優先権及びそのすべての利益を主張するものである。
本発明は、一般的にはドームバルブに関する。より詳細には、本発明は、シリコン製品を選択的に分注するために使用されるドームバルブに関する。
Claims (7)
- シリコン製品を製造するための流動床リアクターであって、前記流動床リアクターが、
反応室を画定する、ハウジングと、
種粒子が前記反応室に入ることを可能にする、前記ハウジングによって画定された、粒子入口と、
シリコン含有プロセスガスが前記反応室に入ることを可能にする、前記ハウジングによって画定された、ガス入口と、
前記反応室を加熱することにより前記シリコン含有プロセスガスを分解して前記種粒子上にシリコンを成長させて前記シリコン製品を生成するための加熱装置と、
前記シリコン製品が前記反応室を出ることを可能にする、前記ハウジングによって画定された、排出出口と、
前記シリコン製品を前記流動床リアクターから選択的に分注するための、前記ハウジングに接続されたドームバルブであって、
前記反応室と連通して前記シリコン製品が前記流動床リアクターから出ることを可能にする通過通路を画定する、バルブ本体と、
前記通過通路内において前記バルブ本体と連結される弁座であって、弁座から前記シリコン製品が前記通過通路に入る開口部を画定する、弁座と、
半球状の形態を有し前記通過通路内に回転可能に配置されたドーム形本体であって、シール表面及び前記シール表面から離間された内表面を有する、ドーム形本体と、
不活性ガスである膨張ガスで膨張することによって前記ドーム形本体の前記シール表面と係合して前記通過通路をシールすることで前記シリコン含有プロセスガスが前記流動床リアクターから流出することを防止する膨張式シールと、を有するドームバルブとを有し、
前記ドーム形本体が前記通過通路内において閉位置と開位置との間で回転可能であり、前記閉位置では、前記ドーム形本体の前記シール表面が前記弁座と係合して前記通過通路の一次シールを形成することにより、前記流動床リアクターからの前記シリコン製品の選択的分注が防止され、かつ前記開位置では、前記弁座によって画定される前記開口部が前記ドーム形本体の前記シール表面によって少なくとも部分的に塞がれないことにより、前記流動床リアクターからの前記シリコン製品の選択的分注が可能になる、流動床リアクター。 - 前記バルブ本体が前記閉位置にあり、かつ前記膨張式シールが前記ドーム形本体の前記シール表面と係合する際に前記ドームバルブが、バルブ漏れ分類のANSI/FCI 70−2 1976(R1982)規格によって規定されるクラスVIシールの前記通過通路を与える、請求項1に記載の流動床リアクター。
- 前記弁座、前記バルブ本体、及び前記ドーム形本体が、シリコン、セメントカーバイド、及びこれらの組み合わせの群から選択される非汚染性材料で構成される、請求項1又は2に記載の流動床リアクター。
- 流動床リアクターからシリコン製品を選択的に分注するために前記流動床リアクターに接続されるドームバルブであって、前記流動床リアクターがハウジングを有し、前記ハウジングが前記シリコン製品を生成するための反応室を画定するとともに前記シリコン製品が前記反応室から出ることを可能にする排出出口を画定し、前記ドームバルブが、
前記反応室と連通して前記シリコン製品が前記流動床リアクターから出ることを可能にする通過通路を画定する、バルブ本体と、
前記通過通路内において前記バルブ本体と連結される弁座であって、弁座から前記シリコン製品が前記通過通路に入る開口部を画定する、弁座と、
半球状の形態を有し、かつ前記通過通路内に回転可能に配置されたドーム形本体であって、シール表面及び前記シール表面から離間された内表面を有する、ドーム形本体と、
不活性ガスである膨張ガスで膨張することによって前記ドーム形本体の前記シール表面と係合して前記通過通路をシールすることで前記シリコン含有プロセスガスが前記流動床リアクターから流出することを防止する膨張式シールと、を有し、
前記ドーム形本体が前記通過通路内において閉位置と開位置との間で回転可能であり、前記閉位置では、前記ドーム形本体の前記シール表面が前記弁座と係合して前記通過通路の一次シールを形成することにより、前記流動床リアクターからの前記シリコン製品の選択的分注が防止され、かつ前記開位置では、前記弁座によって画定される前記開口部が前記ドーム形本体の前記シール表面によって少なくとも部分的に塞がれないことにより、前記流動床リアクターからの前記シリコン製品の選択的分注が可能になり、
前記通過通路を画定する前記弁座、前記ドーム形本体、及び前記バルブ本体の中の少なくとも1つが、前記シリコン製品の汚染を防止するために非汚染性材料で構成される、ドームバルブ。 - 前記弁座、前記バルブ本体、及び前記ドーム形本体が、シリコン、セメントカーバイド、及びこれらの組み合わせの群から選択される前記非汚染性材料で構成される、請求項4に記載のドームバルブ。
- 容器の隔室からシリコン製品を選択的に分注するためのドームバルブであって、前記ドームバルブが、
前記容器の前記隔室と連通して前記シリコン製品が前記容器から出ることを可能にする通過通路を画定する、バルブ本体と、
前記通過通路内において前記バルブ本体と連結される弁座であって、シリコン製品が弁座を通って前記通過通路に入る開口部を画定する、弁座と、
半球状の形態を有し、かつ前記通過通路内に回転可能に配置されたドーム形本体であって、シール表面及び前記シール表面から離間された内表面を有し、かつ前記内表面が凹状となっている、ドーム形本体と、
不活性ガスである膨張ガスで膨張することによって前記ドーム形本体の前記シール表面と係合して前記通過通路をシールすることでガスが前記容器の前記隔室に流入することを防止する膨張式シールと、を有し、
前記ドーム形本体が前記通過通路内において閉位置と開位置との間で回転可能であり、前記閉位置では、前記ドーム形本体の前記シール表面が前記弁座と係合して前記通過通路の一次シールを形成することにより、前記容器の前記隔室からの前記シリコン製品の選択的分注が防止され、かつ前記開位置では、前記弁座によって画定される前記開口部が前記ドーム形本体の前記シール表面によって少なくとも部分的に塞がれないことにより、前記容器の前記隔室からの前記シリコン製品の選択的分注が可能になり、
前記通過通路を画定する前記弁座、前記ドーム形本体、及び前記バルブ本体の中の少なくとも1つが、前記シリコン製品の汚染を防止するために非汚染性材料で構成される、ドームバルブ。 - 前記弁座、前記バルブ本体、及び前記ドーム形本体が、シリコン、セメントカーバイド、及びこれらの組み合わせの群から選択される前記非汚染性材料で構成される、請求項6に記載のドームバルブ。
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