JP5905330B2 - 製造システムの管理装置、製造システムの管理方法、及び、製造システムの管理プログラム - Google Patents
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Description
[製造システムの構成]
まず、薄膜太陽電池の製造システムの全体的な構成について図1を参照して説明する。
第1処理装置10Aには、基板Sに所定の処理を施す第1処理部11Aが含まれ、基板Sを投入するための第1投入部12Aと基板Sを回収するための第1回収部13Aとが、第1処理部11Aに連結されている。
次に、第1制御装置14Aと第2制御装置14Bとの構成について処理順情報を生成する構成を中心に図5を参照して説明する。なお、第1制御装置14Aと第2制御装置14Bとでは、制御対象は相互に異なる一方で、処理順情報を生成する構成は同様であるため、以下では、第1制御装置14Aの構成ついてのみ説明し、第2制御装置14Bの構成については説明を省略する。また、図5では、統括管理部41からの処理要求が細線の矢印で示され、各種データの流れが太線の矢印で示されている。
基板処理管理部42は、第1処理部11A、第1投入部12A、第1回収部13Aの各々に、基板Sに対する各種の処理を実行させる。例えば、基板処理管理部42は、基板Sの投入処理を実行させるための制御信号を第1投入部12Aに出力し、スロット番号が小さい投入スロットから順に3枚ずつ基板Sを投入させる。また、基板処理管理部42は、基板Sの成膜処理を実行させるための制御信号を第1処理部11Aに出力し、3枚の基板Sの各々に投入順とは逆順で成膜処理を実行させる。また、基板処理管理部42は、基板Sの回収処理を実行させるための制御信号を第1回収部13Aに出力し、スロット番号が大きい処理スロットから順にスロット番号が小さい回収スロットに基板Sを回収させる。
[処理順情報IFI及び品質情報IFQの構成]
次に、第1制御装置14A及び第2制御装置14Bの各々で生成される処理順情報、及び、計測装置20で生成される品質情報IFQの構成について図6及び図7を参照して説明する。なお、第1制御装置14Aで生成される処理順情報と第2制御装置14Bで生成される処理順情報とでは、データの構成が同様であるため、以下では、第1制御装置14Aで生成される処理順情報ついてのみ説明し、第2制御装置14Bで生成される処理順情報の構成については説明を省略する。
次に、管理装置30の構成について管理情報を生成する構成を中心に図8及び図9を参照して説明する。なお、図8では、統括管理部31からの処理要求が細線の矢印で示され、各種データの流れが太線の矢印で示されている。
処理順情報取得部32は、第1制御装置14Aにアクセスし、第1制御装置14Aの生成する上記処理順情報IFIを第1制御装置14Aから取得する。処理順情報取得部32は、第2制御装置14Bにアクセスし、第2制御装置14Bの生成する上記処理順情報IFIを第2制御装置14Bから取得する。処理順情報取得部32に対する情報取得の要求は、利用者によって予め設定される周期で統括管理部31が行ってもよく、あるいは、利用者の要請に応じて統括管理部31が適宜行ってもよい。
図9に示されるように、管理情報IFCは、基板ID45Aと、当該基板ID45Aの基板Sにおける処理の終了時刻45Bと、当該処理における処理パラメータの値と、最大出力Pmaxとを含む。管理情報IFCでは、これら基板ID45Aと、終了時刻45Bと、処理パラメータの値と、最大出力Pmaxとが相互に関連付けられている。管理情報出力部35は、管理情報IFCの出力に際し、管理情報IFCに含まれる各データの配列の順序を終了時刻45Bの昇順とする。すなわち、管理情報出力部35は、終了時刻45Bの早い順に、基板IDと処理パラメータの値と最大出力Pmaxとを並べる。そして、管理情報管理部34は、こうした管理情報IFCを第1処理装置10Aと第2処理装置10Bとの各々に対して各別に生成する。
例えば、前段工程の第1処理装置10Aにおいて装置状態が一旦変動した場合には、後段工程の投入時における基板Sの並びの一部に処理結果の偏りを生じることが少なくない。そして、前段工程の第1処理装置10Aにおける処理順と後段工程の第2処理装置10Bにおける処理順とが基板Sごとに相互に異なる場合には、一つの処理工程における処理結果の偏りと、製品の並びにおける品質の偏りとが、相互に異なるものとなってしまう。
上記管理情報IFCの出力結果の一例を図10から図14を参照して以下に説明する。なお、以下では、薄膜太陽電池の製造システムの前提として、基板Sに基板IDを付与するマーキング装置と、相互に異なる4つの処理装置10と、1つの計測装置20とが、ネットワークNを介して接続されている。まず、製造システムで行われる基板Sの処理内容を説明する。
ID形成では、複数の基板Sの各々に、相互に異なる基板IDが形成される。
第2処理では、12枚ごとに基板Sの処理が進められ、投入部に投入される基板Sの並びと回収部で回収される基板Sの並びとが、12枚ごとの単位で逆順になる。
第4処理では、12枚ごとに基板Sの処理が進められ、投入部に投入される基板Sの並びと回収部で回収される基板Sの並びとが、12枚ごとの単位で逆順になる。
(1)基板Sの処理順データである終了時刻45Bと該基板Sの品質データである最大出力Pmaxとを関連付ける管理情報IFCが処理ごとに生成される。
・管理装置30の取り扱う対象処理の数は、1以上であればよく、1つあるいは3つ以上であってもよい。要するに、対象処理は、品質変動の要因であるか否かの監視の対象となる処理であればよい。
Claims (6)
- 複数の基板の各々に複数の処理を施して複数の製品を製造する製造システムに対し、管理の対象となる処理である対象処理での基板ごとの処理結果を管理する管理部を備え、
前記管理部は、
前記対象処理における基板の処理順に関するデータを当該基板の処理順データとし、
前記基板から製造された製品の品質に関するデータを当該基板の品質データとして設定し、
前記基板の識別データと当該基板の処理順データとを関連付けた処理順情報と、
前記基板の識別データと当該基板の品質データとを関連付けた品質情報とを用い、
共通する識別データに関連付けられた前記処理順データと前記品質データとを関連付けた管理情報を生成して出力する
製造システムの管理装置。 - 前記基板の処理順データは、
前記対象処理を実行する処理装置で当該基板の処理が行われた時刻を示すデータである
請求項1に記載の製造システムの管理装置。 - 前記処理順情報が、前記対象処理を基板に施す処理装置で生成される情報であり、
当該管理装置が、前記対象処理を基板に施す処理装置から前記処理順情報を取得する処理順情報取得部を有し、
前記管理部が、前記処理順情報取得部の取得した前記処理順情報を用いて前記管理情報を生成する
請求項1又は2に記載の製造システムの管理装置。 - 前記品質情報が、前記製品の品質を計測する計測装置で生成される情報であり、
当該管理装置が、前記計測装置から前記品質情報を取得する品質情報取得部を有し、
前記管理部が、前記品質情報取得部の取得した前記処理順情報を用いて前記管理情報を生成する
請求項1から3のいずれか1つに記載の製造システムの管理装置。 - 複数の基板の各々に複数の処理を施して複数の製品を製造する製造システムに対し、管理の対象となる処理である対象処理での基板ごとの処理結果を管理する際に、
前記対象処理における基板の処理順に関するデータを当該基板の処理順データとし、
前記基板から製造された製品の品質に関するデータを当該基板の品質データとし、
前記基板の識別データと当該基板の処理順データとを関連付けた処理順情報と、
前記基板の識別データと当該基板の品質データとを関連付けた品質情報とを用いて、
共通する識別データに関連付けられた前記処理順データと前記品質データとを関連付けた管理情報を生成して出力する
製造システムの管理方法。 - 複数の基板の各々に複数の処理を施して複数の製品を製造する製造システムに対し、管理の対象となる処理である対象処理での基板ごとの処理結果を管理する管理部としてコンピューターを機能させ、
前記管理部は、
前記対象処理における基板の処理順に関するデータを当該基板の処理順データとし、
前記基板から製造された製品の品質に関するデータを当該基板の品質データとして設定し、
前記基板の識別データと当該基板の処理順データとを関連付けた処理順情報と、
前記基板の識別データと当該基板の品質データとを関連付けた品質情報とを用い、
共通する識別データに関連付けられた前記処理順データと前記品質データとを関連付けた管理情報を生成して出力する
製造システムの管理プログラム。
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