JP5889926B2 - ハウジング及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(a)中間周波数マグネトロンスパッタリング蒸着装置20及びステンレス材質の基材11を提供する。
(a)アークイオン蒸着装置20及びアルミ材質の基材11を提供する。
(a)真空蒸着装置20及びステンレス材質の基材11を提供する。
ビッカース硬度計を用いて基材11及びハウジング10の硬度を測定した場合、基材11のビッカース硬度は250HV〜300HVであり、ハウジング10のビッカース硬度は800HV〜1000HVに達する。
11 基材
13 下地層
15 移行層
17 カラー層
20 真空蒸着装置
21 真空チャンバ
23 冶具
25 チタンターゲット
26 クロムターゲット
27 鉄ターゲット
28 アルミターゲット
Claims (9)
- 基材と、前記基材の表面に順次に形成される下地層、移行層及びカラー層と、を備え、前記下地層は金属層であり、前記移行層は金属炭窒化物の混合層であり、前記カラー層はチタン・クロム・アルミの混合層であるハウジングにおいて、
前記下地層を構成する金属は、チタン、クロムまたは鉄であり、前記移行層の中の金属は、チタン、アルミ、クロムまたは鉄であることを特徴とするハウジング。 - 前記基材は、アルミまたはステンレスからなることを特徴とする請求項1に記載のハウジング。
- 前記下地層の厚さは、0.5μm〜0.8μmであり、前記移行層の厚さは、1μm〜4μmであり、
前記金属炭窒化物の混合層は、チタン炭窒化物とアルミ炭窒化物の混合層、チタン炭窒化物とクロム炭窒化物の混合層、又はチタン炭窒化物と鉄炭窒化物の混合層であり、
前記金属炭窒化物の混合層において、前記チタン炭窒化物は60〜80質量%含有し、前記アルミ炭窒化物、前記クロム炭窒化物または前記鉄炭窒化物は20〜40質量%含有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のハウジング。 - 前記カラー層の厚さは、4μm〜6μmであり且つ白色を呈し、前記チタン・クロム・アルミの混合層において、チタンは10〜15質量%含有し、クロムは20〜35質量%含有し、アルミは50〜70質量%含有することを特徴とする請求項1に記載のハウジング。
- 基材を提供する工程と、
真空蒸着法を介して前記基材の上面に、金属層である下地層、金属炭窒化物の混合層である移行層及びチタン・クロム・アルミの混合層であるカラー層を順次にコーティングする工程と、を備えることを特徴とするハウジングの製造方法。 - 前記コーティングする工程は、真空蒸着装置により実現され、前記真空蒸着装置は、真空チャンバと、前記真空チャンバの中に装着された冶具と、チタンターゲット、クロムターゲット、鉄ターゲット及びアルミターゲットと、を備えることを特徴とする請求項5に記載のハウジングの製造方法。
- 前記下地層を形成する場合、前記チタンターゲット、前記クロムターゲットまたは前記鉄ターゲットに対応する電源を起動して、前記真空チャンバ内のデューティ比を50〜55%に調節し、前記基材に対して300V〜350Vのバイアス電圧を印加し、前記真空チャンバの中に流量が100sccm〜150sccmのアルゴンを注入し、コーティング時間を8分間〜15分間にすることを特徴とする請求項6に記載のハウジングの製造方法。
- 前記移行層を形成する場合、前記チタンターゲットと前記クロムターゲットとの組み合わせ、前記チタンターゲットと前記鉄ターゲットとの組み合わせ及び前記チタンターゲットと前記アルミターゲットとの組み合わせの中の何れか1種の組み合わせのターゲットに対応する電源を起動し、前記真空チャンバ内のデューティ比を45〜50%に調節し、前記基材に対して200V〜250Vのバイアス電圧を印加し、前記真空チャンバの中に流量が100sccm〜150sccmのアルゴンを不活性気体として注入し、流量が20sccm〜40sccmの窒素及び流量が15sccm〜30sccmのアセチレンを反応気体として注入し、コーティング時間を25分間〜45分間にすることを特徴とする請求項6に記載のハウジングの製造方法。
- 前記カラー層を形成する場合、前記チタンターゲット、前記クロムターゲット及び前記アルミターゲットに対応する電源をそれぞれ起動して、前記真空チャンバ内のデューティ比を40〜50%に調節し、前記基材に対して250V〜300Vのバイアス電圧を印加し、前記真空チャンバの中に流量が150sccm〜200sccmのアルゴンを持続的に注入し、コーティング時間を50分間〜80分間にすることを特徴とする請求項6に記載のハウジングの製造方法。
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