JP5868290B2 - 光起電力装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 37
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 303
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 159
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 91
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 50
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 48
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 46
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 13
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 93
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 92
- 239000000463 material Substances 0.000 description 28
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 22
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 17
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 8
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 7
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 230000033444 hydroxylation Effects 0.000 description 1
- 238000005805 hydroxylation reaction Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N tetraphosphorus decaoxide Chemical compound O1P(O2)(=O)OP3(=O)OP1(=O)OP2(=O)O3 DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
図1−1は、実施の形態1にかかる光起電力装置であるヘテロ接合太陽電池セル(以下、太陽電池セルと呼ぶ場合がある)の構成を示す模式断面図である。図1−2は、実施の形態1にかかる光起電力装置であるヘテロ接合太陽電池セルにおける第1主表面側の構成を示す模式平面図である。図1−3は、実施の形態1にかかる光起電力装置であるヘテロ接合太陽電池セルにおける第2主表面側の構成を示す模式平面図である。以下、図1−1〜図1−3を参照して実施の形態1にかかる太陽電池セルの構造について説明する。
図4は、実施の形態2にかかる光起電力装置であるヘテロ接合太陽電池セル(以下、太陽電池セルと呼ぶ場合がある)の構成を示す模式断面図である。実施の形態2にかかる太陽電池セルの構造は、n型単結晶シリコン基板1の面方向においてp型不純物ドーピング層2により囲まれた内部領域のn型単結晶シリコン基板1が除去され、その部分に第1真性非晶質シリコン層3、p型非晶質シリコン層4が形成され、その上に第1透明電極層5が形成されていること以外は、図1に示した実施の形態1にかかる太陽電池セルの構造と略同一である。すなわち、実施の形態2にかかる太陽電池セルは、n型単結晶シリコン基板1、第1真性非晶質シリコン層3、p型非晶質シリコン層4および第1透明電極層5の形状が異なること以外は、図1に示した実施の形態1にかかる太陽電池セルの構造と略同一である。
Claims (10)
- 結晶系半導体基板の第1主表面の上に前記結晶系半導体基板と逆の導電型を有する第1非晶質半導体薄膜層と第1透明電極層と第1集電極とをこの順で有し、前記結晶系半導体基板の第2主表面の上に前記結晶系半導体基板と同じ導電型を有する第2非晶質半導体薄膜層と第2透明電極層と第2集電極とをこの順で有し、
前記第1透明電極層は、前記結晶系半導体基板の面方向において前記第1非晶質半導体薄膜層の配置領域よりも小さく前記第1非晶質半導体薄膜層の端部から離間した領域のみに配置されており、
前記第2透明電極層は、前記結晶系半導体基板の面方向において前記第2非晶質半導体薄膜層の配置領域よりも小さく前記第2非晶質半導体薄膜層の端部から離間した領域のみに配置されており、
前記第1主表面の表層のうち、前記第1非晶質半導体薄膜層の下層の領域であって前記結晶系半導体基板の面方向において少なくとも前記第1透明電極層の未配置領域を包含する領域における外周縁部の全周領域に、前記結晶系半導体基板内に前記結晶系半導体基板と逆の導電型の不純物がドーピングされており前記結晶系半導体基板と逆の導電型を有する不純物ドーピング層が配置されていること、
を特徴とする光起電力装置。 - 前記不純物ドーピング層が、200Ω/□未満のシート抵抗値を有すること、
を特徴とする請求項1に記載の光起電力装置。 - 前記第1主表面と前記第1非晶質半導体薄膜層との間に第1真性非晶質半導体薄膜層を有すること、
を特徴とする請求項1または2に記載の光起電力装置。 - 前記第2主表面と前記第2非晶質半導体薄膜層との間に第2真性非晶質半導体薄膜層を有すること、
を特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の光起電力装置。 - 少なくとも結晶系半導体基板の第1主表面における外周縁部の全周領域の表層に前記結晶系半導体基板と逆の導電型の不純物をドーピングして前記結晶系半導体基板の導電型と逆の導電型を有する第1不純物ドーピング層を形成する第1工程と、
前記第1不純物ドーピング層上を含む前記第1主表面上に前記結晶系半導体基板と逆の導電型を有する第1非晶質半導体薄膜層を形成する第2工程と、
前記結晶系半導体基板の第2主表面の上に前記結晶系半導体基板と同じ導電型を有する第2非晶質半導体薄膜層を形成する第3工程と、
前記第1非晶質半導体薄膜層上において、前記結晶系半導体基板の面方向における前記第1非晶質半導体薄膜層の形成領域よりも小さく前記第1非晶質半導体薄膜層の端部から離間した領域であり且つ前記第1不純物ドーピング層の未形成領域よりも大きい領域のみに第1透明電極層を形成する第4工程と、
前記第2非晶質半導体薄膜層上において、前記結晶系半導体基板の面方向における前記第2非晶質半導体薄膜層の形成領域よりも小さく前記第2非晶質半導体薄膜層の端部から離間した領域のみに第2透明電極層を形成する第5工程と、
前記第1透明電極層上に第1集電極を形成する第6工程と、
前記第2透明電極層上に第2集電極を形成する第7工程と、
を含むことを特徴とする光起電力装置の製造方法。 - 前記第1不純物ドーピング層が、200Ω/□未満のシート抵抗値を有すること、
を特徴とする請求項5に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記第1工程では、少なくとも最表面における電気的に活性な不純物原子を5×1019cm−3以上の濃度で含む前記第1不純物ドーピング層を形成し、
前記第2工程の前であって前記第1工程と同時またはその前後に、
前記第1主表面において、前記結晶系半導体基板の面方向における前記第1不純物ドーピング層の未形成領域に前記結晶系半導体基板の導電型と同じ導電型を有する第2不純物ドーピング層を形成する第8工程と、
前記第1不純物ドーピング層と前記第2不純物ドーピング層とが形成された前記第1主表面にウエットエッチングを施して前記第2不純物ドーピング層のみを選択的にエッチング除去することにより前記第1主表面を露出させる第9工程と、
をさらに備えること、
を特徴とする請求項5または6に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記結晶系半導体基板が、n型シリコン基板であり、
前記第2不純物ドーピング層が、不純物元素としてリンが拡散されたn型不純物ドーピング層であり、
前記第9工程では、前記結晶系半導体基板の前記第1主表面側にアルカリ水溶液を供給することにより前記第2不純物ドーピング層のみを選択的にエッチング除去すること、
を特徴とする請求項7に記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記第1工程と前記第2工程との間に、前記第1不純物ドーピング層が形成された前記第1主表面上に第1真性非晶質半導体層を形成する工程を有し、
前記第2工程では、前記第1真性非晶質半導体層上に前記第1非晶質半導体薄膜層を形成すること、
を特徴とする請求項5〜8のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。 - 前記第2主表面上に第2真性非晶質半導体層を形成する工程を有し、
前記第3工程では、前記第2真性非晶質半導体層上に前記第2非晶質半導体薄膜層を形成すること、
を特徴とする請求項5〜9のいずれか1つに記載の光起電力装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012184349A JP5868290B2 (ja) | 2012-08-23 | 2012-08-23 | 光起電力装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012184349A JP5868290B2 (ja) | 2012-08-23 | 2012-08-23 | 光起電力装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014041968A JP2014041968A (ja) | 2014-03-06 |
JP5868290B2 true JP5868290B2 (ja) | 2016-02-24 |
Family
ID=50393985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012184349A Active JP5868290B2 (ja) | 2012-08-23 | 2012-08-23 | 光起電力装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5868290B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI590473B (zh) * | 2014-10-24 | 2017-07-01 | 昱晶能源科技股份有限公司 | 太陽能電池及其製造方法 |
CN107735866B (zh) * | 2015-05-29 | 2021-05-14 | 松下知识产权经营株式会社 | 太阳能电池 |
JP6234633B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2017-11-22 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
DE102019123785A1 (de) * | 2019-09-05 | 2021-03-11 | Meyer Burger (Germany) Gmbh | Rückseitenemitter-Solarzellenstruktur mit einem Heteroübergang sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung derselben |
DE102019123758A1 (de) | 2019-09-05 | 2021-03-11 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Wellgetriebe zur variablen Ventilsteuerung einer Brennkraftmaschine |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3512764B2 (ja) * | 2001-06-29 | 2004-03-31 | 株式会社アルメックス | 表面処理装置 |
JP4194379B2 (ja) * | 2003-01-22 | 2008-12-10 | 三洋電機株式会社 | 光起電力装置 |
JP2011091131A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Kaneka Corp | 結晶シリコン系太陽電池の製造方法 |
-
2012
- 2012-08-23 JP JP2012184349A patent/JP5868290B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014041968A (ja) | 2014-03-06 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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