JP2020509601A - P型perc両面太陽電池及びそのモジュール、システムと製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記裏面パッシベーション層には、レーザグルービングによって第1のレーザグルービング領域が形成され、前記第1のレーザグルービング領域は、前記裏面アルミニウムグリッド線の下方に設置され、前記裏面アルミニウムグリッド線は、前記第1のレーザグルービング領域を介してP型シリコンに接続され、前記裏面アルミニウムグリッド線の周りに、アルミニウムグリッド外枠が設置され、前記アルミニウムグリッド外枠は、前記裏面アルミニウムグリッド線および前記裏面銀電極に接続され、
前記第1のレーザグルービング領域は、水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含み、前記裏面アルミニウムグリッド線は、前記第1のレーザグルービング体と垂直である。
各第1のレーザグルービングユニットにおいて、前記第1のレーザグルービング体は、並列に設置され、前記第1のレーザグルービング体は、同一の水平面に位置するか、または、上下にずらして位置する。
各第1のレーザグルービングユニットにおいて、前記第1のレーザグルービング体同士の間隔は、0.5〜50mmであり、
前記第1のレーザグルービング体の長さは、50〜5000μmであり、前記第1のレーザグルービング体の幅は、10〜500μmであり、
前記裏面アルミニウムグリッド線の数は、30〜500本であり、
前記裏面アルミニウムグリッド線の幅は、30〜500μmであり、前記第1のレーザグルービング体の長さよりも小さい。
前記窒化シリコン層の厚さは、20〜500nmであり、
前記酸化アルミニウム層の厚さは、2〜50nmである。
P型シリコンであるシリコンウエハの表面と裏面に、テクスチャ構造を形成するステップ(1)と、
前記シリコンウエハに対して拡散処理を施して、前記N型エミッタを形成するステップ(2)と、
拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去するステップ(3)と、
前記シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積するステップ(4)と、
前記シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積するステップ(5)と、
前記シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積するステップ(6)と、
水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の前記第1のレーザグルービング体を含む前記第1のレーザグルービング領域を形成するように、前記シリコンウエハの裏面にレーザグルービングするステップ(7)と、
前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷するステップ(8)と、
前記シリコンウエハの裏面に、前記第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、前記第1のレーザグルービング体と垂直である前記裏面アルミニウムグリッド線を得るステップ(9)と、
前記シリコンウエハの裏面に、前記裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、前記アルミニウムグリッド外枠を得るステップ(10)と、
前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷するステップ(11)と、
前記シリコンウエハを高温で焼結して、前記裏面銀電極と前記表面銀電極とを形成するステップ(12)と、
前記シリコンウエハに対して、LIDを抑制するためのアニーリング処理を施すステップ(13)と、を含む。
前記第2のレーザグルービング体は、前記アルミニウムグリッド外枠と垂直である。
本発明において、シリコンウエハの裏面に裏面パッシベーション層を形成してから、裏面パッシベーション層にレーザグルービングによって第1のレーザグルービング領域を形成し、その後、アルミニウムペーストがグルービング領域を介してP型シリコンに接続するように、レーザスクライビング方向と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷し、このようにして、裏面アルミニウムグリッド線を得る。当該PERC両面太陽電池は、アルミニウムペーストを印刷する通常の方式とは異なる方式を使用して、シリコンウエハの表面と裏面に電池のグリッド線の構成を製造することによって、アルミニウムグリッドの幅が第1のレーザグルービング領域の長さよりもはるかに小さいため、アルミニウムペーストと第1のレーザグルービング領域を精密に位置合わせする必要がなく、レーザプロセスと印刷プロセスを簡素化し、印刷装置の試運転の難易度を低減し、容易に産業化して大規模に生産する。また、アルミニウムペースト被覆領域以外の第1のレーザグルービング領域によって、電池の裏面と表面による太陽光の吸収が増加し、電池の光電変換効率を向上することができる。
前記窒化シリコン層32の厚さは、20〜500nmであり、
前記酸化アルミニウム層31の厚さは、2〜50nmである。
好ましくは、前記窒化シリコン層32の厚さは、100〜200nmであり、
前記酸化アルミニウム層31の厚さは、5〜30nmである。
P型シリコンであるシリコンウエハの表面と裏面に、テクスチャ構造を形成するS101と、
シリコンウエハに対して拡散処理を施して、N型エミッタを形成するS102と、
拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去するS103と、
シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積するS104と、
シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積するS105と、
シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積するS106と、
水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含む第1のレーザグルービング領域を形成するように、シリコンウエハの裏面にレーザグルービングするS107と、
前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷するS108と、
前記シリコンウエハの裏面に、第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、第1のレーザグルービング体と垂直である裏面アルミニウムグリッド線を得るS109と、
前記シリコンウエハの裏面に、裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、アルミニウムグリッド外枠を得るS110と、
前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷するS111と、
シリコンウエハを高温で焼結して、裏面銀電極と表面銀電極とを形成するS112と、
シリコンウエハに対して、LID(Light Induced Degradation)を抑制するためのアニーリング処理を施すS113と、を含む。
(1)P型シリコンであるシリコンウエハの表面及び裏面にテクスチャ構造を形成し、
(2)シリコンウエハに拡散処理を施して、N型エミッタを形成し、
(3)拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去し、
(4)シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積し、
(5)シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積し、
(6)シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積し、
(7)シリコンウエハの裏面にレーザグルービングして、第1のレーザグルービング領域を形成し、前記第1のレーザグルービング領域は、水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含み、前記第1のレーザグルービング体の長さは、1000μmであり、幅は、40μmであり、
(8)前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷し、
(9)前記シリコンウエハの裏面に、第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、第1のレーザグルービング体と垂直である裏面アルミニウムグリッド線を得ており、裏面アルミニウムグリッド線の数は、150本であり、前記裏面アルミニウムグリッド線の幅は、150μmであり、
(10)前記シリコンウエハの裏面に、裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、アルミニウムグリッド外枠を得ており、
(11)前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷し、
(12)シリコンウエハを高温で焼結して、裏面銀電極と表面銀電極とを形成し、
(13)シリコンウエハに対して、LIDを抑制するためのアニーリング処理を施す。
(1)P型シリコンであるシリコンウエハの表面及び裏面にテクスチャ構造を形成し、
(2)シリコンウエハに拡散処理を施して、N型エミッタを形成し、
(3)拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去し、シリコンウエハの裏面を研磨し、
(4)シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積し、
(5)シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積し、
(6)シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積し、
(7)シリコンウエハの裏面にレーザグルービングして、第1のレーザグルービング領域と第2のレーザグルービング領域を形成し、前記第1のレーザグルービング領域は、水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含み、前記第1のレーザグルービング体の長さは、500μmであり、幅は、50μmであり、
前記第2のレーザグルービング領域は、鉛直に設置された二つの第2のレーザグルービングユニットと水平に設置された二つの第2のレーザグルービングユニットとを含み、各組の第2のレーザグルービングユニットは、鉛直方向または水平方向に設置された一つまたは複数の第2のレーザグルービング体を含み、前記第2のレーザグルービング体は、アルミニウムグリッド外枠と垂直であり、前記第2のレーザグルービング体の長さは、500μmであり、幅は、50μmであり、
(8)前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷し、
(9)前記シリコンウエハの裏面に、第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、第1のレーザグルービング体と垂直である裏面アルミニウムグリッド線を得ており、裏面アルミニウムグリッド線の数は、200本であり、前記裏面アルミニウムグリッド線の幅は、200μmであり、
(10)前記シリコンウエハの裏面に、裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、アルミニウムグリッド外枠を得ており、
(11)前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷し、
(12)シリコンウエハを高温で焼結して、裏面銀電極と表面銀電極とを形成し、
(13)シリコンウエハに対して、LIDを抑制するためのアニーリング処理を施す。
(1)P型シリコンであるシリコンウエハの表面及び裏面にテクスチャ構造を形成し、
(2)シリコンウエハに拡散処理を施して、N型エミッタを形成し、
(3)拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去し、
(4)シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積し、
(5)シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積し、
(6)シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積し、
(7)シリコンウエハの裏面にレーザグルービングして、第1のレーザグルービング領域を形成し、前記第1のレーザグルービング領域は、水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含み、前記第1のレーザグルービング体の長さは、300μmであり、幅は、30μmであり、
(8)前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷し、
(9)前記シリコンウエハの裏面に、第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、第1のレーザグルービング体と垂直である裏面アルミニウムグリッド線を得ており、裏面アルミニウムグリッド線の数は、250本であり、前記裏面アルミニウムグリッド線の幅は、250μmであり、
(10)前記シリコンウエハの裏面に、裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、アルミニウムグリッド外枠を得ており、
(11)前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷し、
(12)シリコンウエハを高温で焼結して、裏面銀電極と表面銀電極とを形成し、
(13)シリコンウエハに対して、LIDを抑制するためのアニーリング処理を施す。
(1)P型シリコンであるシリコンウエハの表面及び裏面にテクスチャ構造を形成し、
(2)シリコンウエハに拡散処理を施して、N型エミッタを形成し、
(3)拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去し、シリコンウエハの裏面を研磨し、
(4)シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積し、
(5)シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積し、
(6)シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積し、
(7)シリコンウエハの裏面にレーザグルービングして、第1のレーザグルービング領域を形成し、前記第1のレーザグルービング領域は、水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含み、前記第1のレーザグルービング体の長さは、1200μmであり、幅は、200μmであり、
前記第2のレーザグルービング領域は、鉛直に設置された二つの第2のレーザグルービングユニットと水平に設置された二つの第2のレーザグルービングユニットとを含み、各組の第2のレーザグルービングユニットは、鉛直方向または水平方向に設置された一つまたは複数の第2のレーザグルービング体を含み、前記第2のレーザグルービング体は、アルミニウムグリッド外枠と垂直であり、前記第2のレーザグルービング体の長さは、1200μmであり、幅は、200μmであり、
(8)前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷し、
(9)前記シリコンウエハの裏面に、第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、第1のレーザグルービング体と垂直である裏面アルミニウムグリッド線を得ており、裏面アルミニウムグリッド線の数は、300本であり、前記裏面アルミニウムグリッド線の幅は、300μmであり、
(10)前記シリコンウエハの裏面に、裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、アルミニウムグリッド外枠を得ており、
(11)前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷し、
(12)シリコンウエハを高温で焼結して、裏面銀電極と表面銀電極とを形成し、
(13)シリコンウエハに対して、LIDを抑制するためのアニーリング処理を施す。
Claims (10)
- 裏面銀電極と、裏面アルミニウムグリッド線と、裏面パッシベーション層と、P型シリコンと、N型エミッタと、表面窒化シリコン膜と、表面銀電極とをこの順に含み、
前記裏面パッシベーション層には、レーザグルービングによって第1のレーザグルービング領域が形成され、前記第1のレーザグルービング領域は、前記裏面アルミニウムグリッド線の下方に設置され、前記裏面アルミニウムグリッド線は、前記第1のレーザグルービング領域を介してP型シリコンに接続され、前記裏面アルミニウムグリッド線の周りに、アルミニウムグリッド外枠が設置され、前記アルミニウムグリッド外枠は、前記裏面アルミニウムグリッド線および前記裏面銀電極に接続され、
前記第1のレーザグルービング領域は、水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の第1のレーザグルービング体を含み、前記裏面アルミニウムグリッド線は、前記第1のレーザグルービング体と垂直である、
ことを特徴とするP型PERC両面太陽電池。 - 前記アルミニウムグリッド外枠の下方には、第2のレーザグルービング領域が設置され、前記第2のレーザグルービング領域は、鉛直方向または水平方向に設置された第2のレーザグルービングユニットを含み、各組の第2のレーザグルービングユニットは、鉛直方向または水平方向に設置された一つまたは複数の第2のレーザグルービング体を含み、前記アルミニウムグリッド外枠は、前記第2のレーザグルービング体と垂直である、
ことを特徴とする請求項1に記載のP型PERC両面太陽電池。 - 前記第1のレーザグルービングユニット同士は、平行に設置され、
各第1のレーザグルービングユニットにおいて、前記第1のレーザグルービング体は、並列に設置され、且つ、前記第1のレーザグルービング体は、同一の水平面に位置するか、または、上下にずらして位置する、
ことを特徴とする請求項1に記載のP型PERC両面太陽電池。 - 前記第1のレーザグルービングユニット同士の間隔は、0.5〜50mmであり、
各第1のレーザグルービングユニットにおいて、前記第1のレーザグルービング体同士の間隔は、0.5〜50mmであり、
前記第1のレーザグルービング体の長さは、50〜5000μmであり、前記第1のレーザグルービング体の幅は、10〜500μmであり、
前記裏面アルミニウムグリッド線の数は、30〜500本であり、
前記裏面アルミニウムグリッド線の幅は、30〜500μmであり、前記第1のレーザグルービング体の長さよりも小さい、
ことを特徴とする請求項1に記載のP型PERC両面太陽電池。 - 前記裏面パッシベーション層は、酸化アルミニウム層と、窒化シリコン層とを含み、前記酸化アルミニウム層は、P型シリコンに接続され、前記窒化シリコン層は、前記酸化アルミニウム層に接続され、
前記窒化シリコン層の厚さは、20〜500nmであり、
前記酸化アルミニウム層の厚さは、2〜50nmである、
ことを特徴とする請求項1に記載のP型PERC両面太陽電池。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のP型PERC両面太陽電池の製造方法であって、
P型シリコンであるシリコンウエハの表面と裏面に、テクスチャ構造を形成するステップ(1)と、
前記シリコンウエハに対して拡散処理を施して、前記N型エミッタを形成するステップ(2)と、
拡散処理時に形成された表面のリンケイ酸ガラスと周辺のPN接合とを除去するステップ(3)と、
前記シリコンウエハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積するステップ(4)と、
前記シリコンウエハの裏面に窒化シリコン膜を堆積するステップ(5)と、
前記シリコンウエハの表面に窒化シリコン膜を堆積するステップ(6)と、
水平方向に設置された複数組の第1のレーザグルービングユニットを含み、各組の第1のレーザグルービングユニットは、水平方向に設置された一つまたは複数の前記第1のレーザグルービング体を含む前記第1のレーザグルービング領域を形成するように、前記シリコンウエハの裏面にレーザグルービングするステップ(7)と、
前記シリコンウエハの裏面に裏面銀バスバー電極を印刷するステップ(8)と、
前記シリコンウエハの裏面に、前記第1のレーザグルービング体と垂直な方向に沿ってアルミニウムペーストを印刷して、前記第1のレーザグルービング体と垂直である前記裏面アルミニウムグリッド線を得るステップ(9)と、
前記シリコンウエハの裏面に、前記裏面アルミニウムグリッド線の周りに沿ってアルミニウムペーストを印刷して、前記アルミニウムグリッド外枠を得るステップ(10)と、
前記シリコンウエハの表面に表面電極ペーストを印刷するステップ(11)と、
前記シリコンウエハを高温で焼結して、前記裏面銀電極と前記表面銀電極とを形成するステップ(12)と、
前記シリコンウエハに対して、LIDを抑制するためのアニーリング処理を施すステップ(13)と、を含む、
ことを特徴とするP型PERC両面太陽電池の製造方法。 - ステップ(3)と(4)の間に、前記シリコンウエハの裏面を研磨するステップをさらに含む、
ことを特徴とする請求項6に記載のP型PERC両面太陽電池の製造方法。 - ステップ(7)は、鉛直方向または水平方向に設置された第2のレーザグルービングユニットを含み、各組の第2のレーザグルービングユニットは、鉛直方向または水平方向に設置された一つまたは複数の第2のレーザグルービング体を含む第2のレーザグルービング領域を形成するように、前記シリコンウエハの裏面にレーザグルービングすることをさらに含み、
前記第2のレーザグルービング体は、前記アルミニウムグリッド外枠と垂直である、
ことを特徴とする請求項7に記載のP型PERC両面太陽電池の製造方法。 - PERC太陽電池と封止材とを含むPERC太陽電池モジュールであって、
前記PERC太陽電池は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のP型PERC両面太陽電池である、
ことを特徴とするPERC太陽電池モジュール。 - PERC太陽電池を含むPERC太陽エネルギーシステムであって、
前記PERC太陽電池は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のP型PERC両面太陽電池である、
ことを特徴とするPERC太陽エネルギーシステム。
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