JP5866028B2 - 露光装置、マスク、及び、光学フィルム - Google Patents
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Description
[特許文献1] 米国特許出願公開第2011/0217638号明細書
[非特許文献1]Hubert Seiberle、外2名、「Photo-Aligned Anisotropic Optical Thin Films」、SID Symposium Digest of Technical Papers、米国、 Society for Information Display、2012年7月5日、 Volume 34, Issue 1, p.1162−1165
E=(偏光の照度×開口の長さ)/搬送速度
0°≦θ1<θ2<・・<θn<180°
θp+1−θp<90°
θn−θ1>90°
tanθ=λ/p
Claims (10)
- 配向膜が形成された基材を搬送方向に沿って搬送する搬送部と、
前記基材の前記配向膜に向けて、第1偏光方向を有する第1偏光を出力する第1偏光出力部と、
前記基材の前記配向膜に向けて、前記搬送方向において前記第1偏光出力部よりも下流側に配置され、前記第1偏光方向と90°未満の角度で交差する第2偏光方向を有する第2偏光を出力する第2偏光出力部と、
前記基材と前記第1偏光出力部との間に配置され、前記配向膜を露光する前記第1偏光を透過する第1開口部が形成され、前記第1偏光を遮光する第1マスク部と、
前記基材と前記第2偏光出力部との間に配置され、前記配向膜を露光する前記第2偏光を透過する第2開口部が形成され、前記第2偏光を遮光する第2マスク部と
を備え、
前記第1開口部及び前記第2開口部は、前記配向膜のある領域を重複して露光するように形成され、
前記第1開口部は、前記領域に向けて前記第1偏光を透過する第1開口領域を含み、
前記第2開口部は、前記領域に向けて前記第2偏光を透過する第2開口領域を含み、
前記搬送方向と直交する直交方向の同じ位置の少なくとも一部において、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さと、前記搬送方向における前記第2開口領域の長さとが異なる露光装置。 - 前記少なくとも一部において、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さは、前記搬送方向における前記第2開口領域の長さ未満である
請求項1に記載の露光装置。 - 前記第1開口部は、互いに分割された複数であって、
前記第2開口部は、互いに分割された複数であって、
前記搬送方向における複数の第1開口部の長さは、異なり
前記搬送方向における複数の第2開口部の長さは、異なる
請求項1または2に記載の露光装置。 - 前記第1開口部は、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さが前記直交方向の第1方向に沿って、段階的に短くなるように形成されている一の領域を含み、
前記第2開口部は、前記搬送方向における前記一の領域と同じ領域を露光する前記第2開口領域の長さが前記直交方向の前記第1方向に沿って、段階的に長くなるように形成されている領域を含む
請求項1から3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第1開口部は、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さが前記直交方向の第2方向に沿って、段階的に短くなるように形成されている他の領域をさらに含み、
前記第2開口部は、前記搬送方向における前記他の領域と同じ領域を露光する前記第2開口領域の長さが前記直交方向の前記第2方向に沿って、段階的に長くなるように形成されている領域をさらに含む
請求項4に記載の露光装置。 - 前記第1開口部は、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さが前記直交方向の第1方向に沿って、連続的に短くなるように形成されている一の領域を含み、
前記第2開口部は、前記搬送方向における前記一の領域と同じ領域を露光する前記第2開口領域の長さが前記直交方向の前記第1方向に沿って、連続的に長くなるように形成されている領域を含む
請求項1から5のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第1開口部は、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さが前記直交方向の第2方向に沿って、連続的に短くなるように形成されている他の領域をさらに含み、
前記第2開口部は、前記搬送方向における前記他の領域と同じ領域を露光する前記第2開口領域の長さが前記直交方向の前記第2方向に沿って、連続的に長くなるように形成されている領域をさらに含む
請求項6に記載の露光装置。 - 配向膜が形成された基材を搬送方向に沿って搬送する搬送部と、
前記基材の前記配向膜に向けて、第1偏光方向を有する第1偏光を出力する第1偏光出力部と、
前記基材の前記配向膜に向けて、前記搬送方向において前記第1偏光出力部よりも下流側に配置され、前記第1偏光方向と90°未満の角度で交差する第2偏光方向を有する第2偏光を出力する第2偏光出力部と、
前記基材と前記第1偏光出力部との間に配置され、前記配向膜を露光する前記第1偏光を透過する第1開口部が形成され、前記第1偏光を遮光する第1マスク部と、
前記基材と前記第2偏光出力部との間に配置され、前記配向膜を露光する前記第2偏光を透過する第2開口部が形成され、前記第2偏光を遮光する第2マスク部と
を備え、
前記第1開口部及び前記第2開口部は、前記配向膜のある領域を重複して露光するように形成され、
前記第1開口部は、前記領域に向けて前記第1偏光を透過する第1開口領域を含み、
前記第2開口部は、前記領域に向けて前記第2偏光を透過する第2開口領域を含み、
前記第1偏光出力部、及び、前記第2偏光出力部を含むn個(nは3以上の自然数)の偏光出力部と、
第1マスク部、及び、第2マスク部を含むn個のマスク部と
を更に備え、
搬送方向を0°とし、前記配向膜の面に垂直な方向から前記配向膜の面上を見て左回りを正の角度とし、n個の前記偏光出力部のそれぞれが出力する偏光の偏光方向の搬送方向からの角度をθp(p=1、2、・・n)とすると、
0≦θ1<θ2<・・<θn<180°
θp+1−θp<90°
且つ
θn−θ1>90°
である露光装置。 - n個の偏光出力部は、互いに(180/n)°間隔で回転した偏光方向の偏光を出力する
請求項8に記載の露光装置。 - 配向膜が形成された基材へ出力されている第1偏光、及び、前記第1偏光と90°未満の角度で交差する第2偏光の光路上に配置されるマスクであって、
前記第1偏光の光路上に配置され、前記第1偏光を透過する第1開口部が形成され、前記第1偏光を遮光する第1マスク部と、
前記第2偏光の光路上に配置され、前記第2偏光を透過する第2開口部が形成され、前記第2偏光を遮光する第2マスク部と
を備え、
前記第1開口部及び前記第2開口部は、前記配向膜のある領域を重複して露光するように形成され、
前記第1開口部は、前記領域に向けて前記第1偏光を透過する第1開口領域を含み、
前記第2開口部は、前記領域に向けて前記第2偏光を透過する第2開口領域を含み、
前記基材の搬送方向と直交する直交方向の同じ位置の少なくとも一部において、前記搬送方向における前記第1開口領域の長さと、前記搬送方向における前記第2開口領域の長さとが異なるマスク。
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