JP5863873B2 - 半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープおよび半導体ウェハの研削加工方法 - Google Patents
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Description
〔1〕基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなる半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面の表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であり、
ノッチを有する半導体ウェハの表面に貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する工程で用いられることを特徴とする半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔2〕基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなる半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面全体に、平均表面粗さが均一に施され、かつ該表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であり、
ノッチを有する半導体ウェハの表面に貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する工程で用いられることを特徴とする半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔3〕前記基材に、フタロシアニン顔料、ナフタロシアニン顔料、インダントロン顔料、インダンスレン顔料およびトリアリールカルボニウム顔料から選択される顔料を含有することを特徴とする〔1〕または〔2〕に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔4〕前記基材の厚さが、80〜200μmであることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔5〕前記基材が、同じ共重合成分からなる樹脂で構成され、該共重合成分に少なくとも酢酸ビニルが含まれ、該酢酸ビニル成分の含有量が1.9〜10.5質量%であることを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔6〕前記基材が単層または複層であって、該基材における粘着剤層が形成されていない側の最外層の基材樹脂の融点が85℃以上であることを特徴とする〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔7〕前記粘着剤層の粘着剤が紫外線硬化型粘着剤であることを特徴とする〔1〕〜〔6〕のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
〔8〕ノッチを有する半導体ウェハの表面に半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する半導体ウェハの研削加工方法であって、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープが、基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなるものであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面の表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であることを特徴とする半導体ウェハの研削加工方法。
〔9〕ノッチを有する半導体ウェハの表面に半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する半導体ウェハの研削加工方法であって、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープが、基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなるものであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面全体に、平均表面粗さが均一に施され、かつ該表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であることを特徴とする半導体ウェハの研削加工方法。
〔10〕前記基材が、同じ共重合成分からなる樹脂で構成され、該共重合成分に少なくとも酢酸ビニルが含まれ、該酢酸ビニル成分の含有量が1.9〜10.5質量%であることを特徴とする〔8〕または〔9〕に記載の半導体ウェハの研削加工方法。
従ってこの半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを用いることで、半導体ウェハの裏面研削加工の効率を高め、作業性を改善することができる。
半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3は、図2に示すノッチ6を有する半導体ウェハ5の集積回路が組み込まれた側若しくは電極が形成された側の面(表面)に貼り合わせた状態で、半導体ウェハ5の集積回路が組み込まれていない側若しくは電極が形成されていない側の面(裏面)を研削加工する工程で用いられる。
ここで、本発明の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3は、基材1および粘着剤層2が、使用工程または装置にあわせてあらかじめ所定の形状に切断(プリカット)された形態でもよく、カットされていない長尺のシートをロール状に巻き取った形態でもよい。所定の形状とは、例えば、半導体ウェハ5と同じ直径で、ノッチ6の部分もカバーする円形状が挙げられ、半導体ウェハの集積回路を保護し、半導体ウェハの裏面を研削加工でき、かつ、本発明の効果を損なわない限り、どのような形状でもよい。
なお、特に断りがない限り、「〜」で表される数値範囲においては、前後の数値を含むものとする。
本発明に用いられる基材1(以下、基材フィルムとも称す。)の主目的は、半導体ウェハの裏面を研削加工する際の衝撃からの半導体ウェハの保護であって、特に水洗浄等に対する耐水性と加工部品の保持性を有することが重要である。このような基材フィルムとしては、例えば、特開2004−186429号公報に記載のものを挙げることができる。
なお、本発明で使用する基材フィルム1の樹脂としては、通常、粘着テープで用いられるものを使用することができ、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル等のエンジニアリングプラスチック、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体等の熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらの群から選ばれる樹脂を単層または複層で用いてもよく、これらの群から選ばれる2種以上が混合されたものを単層または複層で用いてもよい。
ただし、本発明では、基材1の上記表面粗さは、Rz=0.7〜4.9μmである。
なお、例えば、基材を製膜する際に使用される冷却ロールの粗さをコントロールすることで、基材背面11の粗さを任意の値にすることができる。加熱によって流動性を得た樹脂は押し出され、その後冷却ロールによって冷やされてフィルム化される。樹脂の冷却には金属ロールやゴムロールが用いられることが多い。例えばゴムロールを用いる場合、剥離性を付与するためシリコンの粒子がゴムに混ぜられ、該シリコン粒子の粒子径を任意に調整することによって、基材背面11の粗さを調整することができる。
ここで、粘着剤層2が形成されていない側の最外層の基材とは、基材1が単層である場合には単層を、基材1が複層である場合には、粘着剤層2から最も離れた位置にある基材層を意味する。
また、本発明における共重合体からなる樹脂は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体、グラフト共重合体のいずれであっても構わない。
本発明においては、特にエチレン−酢酸ビニル共重合体(以下、EVAとも称す。)が好ましい。
顔料は、青色顔料が好ましく、例えば、フタロシアニン顔料、ナフタロシアニン顔料、インダントロン顔料、インダンスレン顔料、トリアリールカルボニウム顔料が挙げられる。これらのうち、フタロシアニン顔料、ナフタロシアニン顔料が好ましく、フタロシアニン顔料がより好ましく、なかでも銅フタロシアニンブルーが好ましい。
着色用顔料の配合量は、基材1を形成する樹脂100質量部に対し、0.005〜1.0質量部が好ましく、0.01〜0.5質量部がより好ましい。また、同一樹脂であっても複層で押し出すことでフィルム化し、粘着剤層が形成される側のみに顔料を配合することがより好ましい。粘着剤層が形成される側のみに顔料を配合することで、半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3が酸などのエッチング液に浸された場合であっても、酸に露出することがないため、半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3の変色を防ぐことができる。
本発明においては、これらの中でも高密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、ポリプロピレンが好ましい。
複数の樹脂が積層された基材1の場合、本発明では、酢酸ビニルが含まれる樹脂を含む層が粘着剤層が形成される側に設けられるのが好ましい。
基材1のMFRが上記の範囲である場合には、ロール状に巻かれた半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3をラミネータにセットし、半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を繰出して半導体ウェハ5表面に貼合する工程で、約150℃に加熱したカッター刃を半導体ウェハ5外周部に沿って回転させ、半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を半導体ウェハ形状に切断する際に発生する熱で、上記半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3の基材1が半導体ウェハ5側面を覆うように融着することができる。その結果、粘着剤層2と半導体ウェハ5の界面を基材1で覆うことになり、シーページを防ぐことができる。
厚さをこの範囲とすることで、半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3の形態を維持する性質に優れ、しかも取り扱う際の作業性が向上する。なお、厚さを厚くしすぎると、基材1の生産性に影響を与え、製造コストの増加につながるおそれがある。
本発明の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3で用いられる粘着剤の材料は、特に制限されるものではなく、従来のものを用いることができる。例えば、放射線を照射することにより硬化して粘着性が低下し、半導体ウェハ5から容易に剥離できる性質を持つものでもよい。具体的には(メタ)アクリル酸エステルを構成成分とする単独重合体や、(メタ)アクリル酸エステルを構成成分として有する共重合体、(メタ)アクリル樹脂、(メタ)アクリル酸エステルを挙げることができる。
なお、質量平均分子量は、テトラヒドロフランに溶解して得た1%溶液を、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(ウォーターズ社製、商品名:150−C ALC/GPC)により測定した値をポリスチレン換算の質量平均分子量として算出したものである。
また、半導体ウェハ表面から裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を剥離する際には、放射線を照射することにより、粘着剤層2の硬化、収縮により粘着剤層全体の粘着力が十分に低下して、半導体ウェハを破損することなく、良好な作業性で半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を剥離することができる。従って、本発明の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3は、凹凸への優れた密着性と剥離時の易剥離性を保持したまま、低汚染性を同時に達成することができる。
波長500〜600nmの全光線透過率が40%未満になるとノッチの検出が困難になりセンサー認識エラーが発生してしまう。また波長500〜600nmの全光線透過率が80%を超えると透明度が高いため、貼合したかどうかの識別が困難になってしまう。
なお、放射線硬化型テープなど剥離のために粘着力を下げることが可能なものについては、研削加工工程の前、すなわち粘着力低減処理を行う前後の状態で測定した粘着力をいう。
このような粘着力を付与するには、上記の粘着剤層における好ましい構成で達成可能であるが、特に硬化剤の配合量を調整することで、上記の範囲とすることができる。
また、これに加えて、粘着剤の粘着力は、同じ粘着剤であっても、粘着剤層の厚さや基材の種類によっても調整することができる。
本発明により認識できるノッチを有する半導体ウェハとしては、8インチ、12インチ等のように大径化された半導体ウェハが挙げられる。
本発明の半導体ウェハの研削加工方法は、ノッチを有する半導体ウェハの表面に対して、本発明の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを貼り合わせる工程を有する。
半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープは、基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなるものであって、該基材の粘着剤層が形成されていない面の表面粗さがRz=0.7〜5.0μmであり、該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が40〜80%であり、ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5である。
ただし、本発明では、上記の表面粗さはRz=0.7〜4.9μmであり、上記の全光線透過率は53〜80%である。
半導体ウェハの研削加工方法で使用する本発明の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープは、先に説明した半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの好ましい範囲のものが適用される。
以下、本発明の半導体ウェハの研削加工方法についてより詳細に説明するが、これらに限定されるものではない。
半導体ウェハの裏面の研削加工操作には、例えば、DGP8760(商品名:ディスコ(株)社製)の装置を使用することができる。
ダイシングテープへのウェハマウントおよび半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3の剥離工程には、例えば、RAD−2700F(商品名:リンテック(株)社製)の装置を使用することができる。
酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂A100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを0.6質量部ドライブレンドした。押出成形機で押出成形することにより厚さ165μm、背面の表面粗さRz=1.2μmの基材フィルムAを得た。
メタクリル酸を2mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを50mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを30mol%、メチルアクリレートを18mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量80万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)2.0質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(実施例1においては基材フィルムA)に貼り合せ、厚さ195μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂A100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを0.3質量部ドライブレンドした。押出成形機で押出成形することにより厚さ165μm、背面の表面粗さRz=0.7μmの基材フィルムBを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、ブチルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.3質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量30万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが40μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(実施例2においては基材フィルムB)に貼り合せ、厚さ205μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が10.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂C100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを0.6質量部ドライブレンドした。押出成形機で押出成形することにより厚さ100μm、背面の表面粗さRz=3.7μmの基材フィルムCを得た。
メタクリル酸を2mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを29mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを69mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量23万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(実施例3においては基材フィルムC)に貼り合せ、厚さ130μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が10.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂C100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを0.8質量部ドライブレンドした。押出成形機で押出成形することにより厚さ100μm、背面の表面粗さRz=4.9μmの基材フィルムDを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(実施例4においては基材フィルムD)に貼り合せ、厚さ130μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が10.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂C100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを3.0質量部ドライブレンドした。押出成形機で低密度ポリエチレン(LDPE)とドライブレンドした上記EVA樹脂を押出成形することにより、厚さ比率がLDPE:EVA=1:1である厚さ80μm、背面の表面粗さRz=2.1μmの基材フィルムEを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが40μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(実施例5においては基材フィルムE)のEVA側に貼り合せ、厚さ120μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が10.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂C100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを5.0質量部ドライブレンドした。押出成形機で高密度ポリエチレン(HDPE)とドライブレンドした上記EVA樹脂を押出成形することにより、厚さ比率がHDPE:EVA=3:7である厚さ200μm、背面の表面粗さRz=3.2μmの基材フィルムFを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.3質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが40μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(参考例1においては基材フィルムF)のEVA側に貼り合せ、厚さ240μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが42μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(比較例1においては、厚さ38μm、背面の表面粗さRz=0.1μmのテイジンテトロンフィルムG2C(商品名、帝人デュポンフィルム(株)社製))に貼り合せ、厚さ80μmの裏面研削加工用表面保護テープ3を得た。
低密度ポリエチレン(LDPE)樹脂を押出成形機で押出成形することにより、厚さ150μm、背面の表面粗さRz=5.8μmの基材フィルムGを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(比較例2においては基材フィルムG)に貼り合せ、厚さ180μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
低密度ポリエチレン(LDPE)樹脂100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを30質量部ドライブレンドした。押出成形機でドライブレンドした樹脂を押出成形することにより、厚さ300μm、背面の表面粗さRz=2.5μmの基材フィルムHを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(比較例3においては基材フィルムH)に貼り合せ、厚さ330μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が10.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂C100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを4.0質量部ドライブレンドした。押出成形機で低密度ポリエチレン(LDPE)とドライブレンドした上記EVA樹脂を押出成形することにより、厚さ比率がLDPE:EVA=3:7である厚さ100μm、背面の表面粗さRz=7.1μmの基材フィルムIを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(比較例4においては基材フィルムI)のEVA側に貼り合せ、厚さ130μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
酢酸ビニル成分の含有量が20.0質量%のエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂D100質量部に、青色顔料の銅フタロシアニンブルーを5.0質量%含有した酢酸ビニル成分の含有量が6.0質量%のエチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)樹脂Bを0.3質量部ドライブレンドした。押出成形機で押出成形することにより厚さ165μm、背面の表面粗さRz=6.8μmの基材フィルムJを得た。
メタクリル酸を1mol%、2−ヒドロキシエチルアクリレートを22mol%、2−エチルヘキシルアクリレートを77mol%の割合で配合し、総モノマー100質量部に対してアゾビスイソブチロニトリルを0.2質量部添加し、窒素ガス置換した反応容器内にて酢酸エチル溶液中、温度70℃で共重合させることにより、質量平均分子量70万のポリマー溶液を得た。このポリマー溶液に、ポリマー100質量部に対して、硬化剤としてコロネートL(商品名、日本ポリウレタン工業株式会社製)1.5質量部を配合し、粘着剤組成物を得た。
得られた粘着剤組成物を、図1に示すように、粘着剤層2の厚さが30μmになるように剥離ライナー4上に塗工し、基材フィルム1(比較例5においては基材フィルムJ)に貼り合せ、厚さ195μmの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を得た。
上記実施例1〜5、参考例1および比較例1〜5で得られた各半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3について、以下の試験を行い、その性能を評価し、下記表1、2に示す結果を得た。
基材フィルム背面の表面粗さRzは、JIS B0601に基づき、幅230mmの基材フィルム1の幅方向に見た場合の中心と中心から左右に80mm離れた位置の計3箇所において、測定長さ5mmとして長さ方向および幅方向の2方向について、「ハンディサーフE−30A」(商品名:東京精密(株)社製)を用いて測定し、十点平均粗さRzを求めた値である。
実施例、参考例および比較例の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3から剥離ライナー4を剥離し、基材フィルム1面側からの波長500〜600nmにおける全光線透過率を、分光光度計UV3101PC&MPC−3100(商品名、(株)島津製作所製)を使用してN=3で測定し平均値を求めた。
色彩色差計CR−400(商品名:コニカミノルタ(株)社製)を用いて実施例、参考例および比較例の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3から剥離ライナー4を剥離して色差測定を行った。白色校正板を用いて、この白色を基準としたミラーウェハの色差(ΔEM)を測定した。測定したミラーウェハに実施例、参考例および比較例の各半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3から剥離ライナー4を剥離した裏面研削加工用表面保護粘着テープ3をエアーが入らないように貼合し、テープ貼合ウェハの色差(ΔET)を測定した。テープ貼合ウェハの色差(ΔET)とミラーウェハの色差(ΔEM)の差(ΔET−ΔEM)を計算し、以下の基準で評価した。
A:ΔET−ΔEM>6.5のもの
C:ΔET−ΔEM≦6.5のもの
剥離ライナー4を剥離した、実施例、参考例および比較例の各半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を、ラミネータDR8500III(商品名:日東精機(株)社製)を用いて、図2のような、ノッチ6を有する8インチシリコンミラーウェハ(信越半導体工業社製、ノッチ深さ1.00mm(許容差+0.25mm、−0.00mm)、ノッチ角度90°(許容差+5°、−1°)の半導体ウェハ)に貼合した。
その後、DGP8760(商品名:ディスコ(株)社製)を用いて、上記半導体ウェハの半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を貼合していない面を厚さ100μmまで研削した。研削後の上記半導体ウェハをRAD−2700F(商品名:リンテック(株)社製)を用いてダイシングテープへのウェハマウントおよび半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護テープ3の剥離を行い、以下の基準で評価した。
A:問題なく剥離できたもの
C:テープマウント時にノッチの検出エラーが発生したもの
上記センサー認識性評価と同様にして、剥離ライナー4を剥離した、実施例、参考例および比較例の各半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を、上記と同様のノッチ6を有する8インチシリコンミラーウェハ(半導体ウェハ)に貼合し、該貼合後の各半導体ウェハの半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を貼合していない面を、インライン機構を持つグラインダーDGP8760(商品名:ディスコ(株)社製)を使用して厚さ50μmまでそれぞれ25枚の半導体ウェハの研磨を行い、以下の基準で評価した。
A:25枚の半導体ウェハ全ての反りが10mm未満であったもの
B:半導体ウェハの少なくとも1枚の反りが10mm以上20mm未満であったもの
C:半導体ウェハの少なくとも1枚の反りが20mm以上であったもの
上記センサー認識性評価と同様にして、剥離ライナー4を剥離した、実施例、参考例および比較例の各半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ3を、上記と同様のノッチ6を有する8インチシリコンミラーウェハ(半導体ウェハ)に貼合し、該貼合後の各半導体ウェハを、80℃のホットプレート上に半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ面をホットプレートに接触するように置き、3分間放置した。その後、半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ背面(基材フィルム側)を目視で観察し、以下の基準で評価した。
A:溶融などが観側されず、加熱前後で変化がなかったもの
C:加熱により背面が溶けるなどの変化が見られたもの
11 基材の粘着剤層が形成されていない面(背面)
2 粘着剤層
3 半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ
4 剥離ライナー
5 半導体ウェハ(シリコンミラーウェハ)
6 ノッチ
7 オリフラ
8 半導体ウェハ(シリコンミラーウェハ)
Claims (10)
- 基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなる半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面の表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であり、
ノッチを有する半導体ウェハの表面に貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する工程で用いられることを特徴とする半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。 - 基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなる半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面全体に、平均表面粗さが均一に施され、かつ該表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であり、
ノッチを有する半導体ウェハの表面に貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する工程で用いられることを特徴とする半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。 - 前記基材に、フタロシアニン顔料、ナフタロシアニン顔料、インダントロン顔料、インダンスレン顔料およびトリアリールカルボニウム顔料から選択される顔料を含有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
- 前記基材の厚さが、80〜200μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
- 前記基材が、同じ共重合成分からなる樹脂で構成され、該共重合成分に少なくとも酢酸ビニルが含まれ、該酢酸ビニル成分の含有量が1.9〜10.5質量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
- 前記基材が単層または複層であって、該基材における粘着剤層が形成されていない側の最外層の基材樹脂の融点が85℃以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
- 前記粘着剤層の粘着剤が紫外線硬化型粘着剤であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープ。
- ノッチを有する半導体ウェハの表面に半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する半導体ウェハの研削加工方法であって、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープが、基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなるものであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面の表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であることを特徴とする半導体ウェハの研削加工方法。 - ノッチを有する半導体ウェハの表面に半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを貼り合わせて半導体ウェハの裏面を研削加工する半導体ウェハの研削加工方法であって、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープが、基材と、該基材の一方の面側に粘着剤層を設けてなるものであって、
該基材の粘着剤層が形成されていない面全体に、平均表面粗さが均一に施され、かつ該表面粗さがRz=0.7〜4.9μmであり、
該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープの波長500〜600nmにおける全光線透過率が53〜80%であり、
ミラーウェハの色差(ΔEM)と該半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープを該ミラーウェハに貼り合わせた状態での色差(ΔET)の差がΔET−ΔEM>6.5であることを特徴とする半導体ウェハの研削加工方法。 - 前記基材が、同じ共重合成分からなる樹脂で構成され、該共重合成分に少なくとも酢酸ビニルが含まれ、該酢酸ビニル成分の含有量が1.9〜10.5質量%であることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体ウェハの研削加工方法。
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