JP5832329B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
基板処理装置および基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5832329B2 JP5832329B2 JP2012034671A JP2012034671A JP5832329B2 JP 5832329 B2 JP5832329 B2 JP 5832329B2 JP 2012034671 A JP2012034671 A JP 2012034671A JP 2012034671 A JP2012034671 A JP 2012034671A JP 5832329 B2 JP5832329 B2 JP 5832329B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- water vapor
- back surface
- etching solution
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
La<Lb<Lc<Ld
となっている。また、各ノズル82a〜82dは基板裏面Wbと対向するノズル口(図示省略)を有しており、ノズル82a〜82dのノズル口はそれぞれ距離La〜Ldに応じて大きく開口している。すなわち、基板Wの回転中心に最も近くに配置されるノズル82aのノズル口の口径が最も小さく、ノズル82b、82c、82dの順序で次第に口径が大きくなっている。
2…スピンチャック(基板保持手段)
4…制御ユニット(制御手段)
8…水蒸気供給部(基板加熱手段)
22…チャック回転機構(基板回転手段)
52…エッチング液供給部
81…水蒸気供給管
82a〜82d…ノズル
84…水蒸気発生器
811…垂直配管
812…水平配管
EF…(エッチング液の)液膜
W…基板
Wb…(基板の)裏面
Wf…(基板の)表面
Claims (8)
- 基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持される基板を回転させる基板回転手段と、
回転する基板の表面にエッチング液を供給するエッチング液供給手段と、
前記基板の裏面に水蒸気を供給して前記基板裏面に凝縮させることで前記基板を加熱する基板加熱手段とを備え、
前記基板加熱手段は、前記基板の回転中心から径方向に向かって互いに異なる距離に配置されて前記基板裏面と対向するノズル口から水蒸気を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルを相互に接続して水蒸気を各ノズルに流通させる配管とを有し、
各ノズル口は、前記距離が長くなるにしたがって大きく開口している
ことを特徴とする基板処理装置。 - 基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持される基板を回転させる基板回転手段と、
回転する基板の表面にエッチング液を供給するエッチング液供給手段と、
前記基板の裏面に水蒸気を供給して前記基板裏面に凝縮させることで前記基板を加熱する基板加熱手段と、
前記基板裏面への水蒸気の供給を制御する制御手段とを備え、
前記基板加熱手段は、前記基板の回転中心から径方向に向かって互いに異なる距離に位置して前記基板裏面に向けて水蒸気を吐出する複数のノズルを有し、
前記制御手段は、所定時間の間に各ノズルから吐出される水蒸気の総量が前記距離に伴って多くなるように、各ノズルからの水蒸気の吐出を調整する
ことを特徴とする基板処理装置。 - 基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持される基板を回転させる基板回転手段と、
回転する基板の表面にエッチング液を供給するエッチング液供給手段と、
前記基板の裏面に水蒸気を供給して前記基板裏面に凝縮させることで前記基板を加熱する基板加熱手段と、
前記基板の温度の分布を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された基板温度の分布に基づいて前記基板裏面への水蒸気の供給を制御する制御手段とを備え、
前記基板加熱手段は、前記基板の回転中心から径方向に向かって互いに異なる距離に位置して前記基板裏面に向けて水蒸気を吐出する複数のノズルを有し、
前記制御手段は、所定時間の間に各ノズルから吐出される水蒸気の総量が最低基板温度となっている裏面領域に最も近いノズルで最大となるように、各ノズルからの水蒸気の吐出を調整する
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2または3に記載の基板処理装置であって、
前記制御手段は、各ノズルからの水蒸気の吐出時間を調整することで所定時間当たりの水蒸気の総量を調整する基板処理装置。 - 請求項2ないし4のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記制御手段は、各ノズルからの水蒸気の吐出流量を調整することで所定時間当たりの水蒸気の総量を調整する基板処理装置。 - 略水平姿勢で基板を回転させながら前記基板の表面にエッチング液を供給してエッチング処理するエッチング液供給工程と、
前記エッチング工程中に前記基板の裏面に水蒸気を供給して前記基板裏面に凝縮させることで前記基板を加熱する基板加熱工程とを備え、
前記基板加熱工程は、前記基板の回転中心から径方向に向かって互いに異なる距離に配置されて前記基板裏面と対向し、前記距離が長くなるにしたがって大きく開口しているノズル口から水蒸気を吐出する工程を有する
ことを特徴とする基板処理方法。 - 略水平姿勢で基板を回転させながら前記基板の表面にエッチング液を供給してエッチング処理するエッチング液供給工程と、
前記エッチング工程中に前記基板の裏面に水蒸気を供給して前記基板裏面に凝縮させることで前記基板を加熱する基板加熱工程とを備え、
前記基板加熱工程は、前記基板の回転中心から径方向に向かって互いに異なる距離に位置して前記基板裏面に向けて水蒸気を吐出する複数のノズルのそれぞれから、所定時間の間に吐出される水蒸気の総量が前記距離に伴って多くなるように、各ノズルからの水蒸気の吐出を調整する工程を有する
ことを特徴とする基板処理方法。 - 略水平姿勢で基板を回転させながら前記基板の表面にエッチング液を供給してエッチング処理するエッチング液供給工程と、
前記エッチング工程中に前記基板の裏面に水蒸気を供給して前記基板裏面に凝縮させることで前記基板を加熱する基板加熱工程と、
前記基板の温度の分布を検出する検出工程と、
を備え、
前記加熱工程は、前記検出工程により検出された基板温度の分布に基づいて、前記基板の回転中心から径方向に向かって互いに異なる距離に位置して前記基板裏面に向けて水蒸気を吐出する複数のノズルのそれぞれから、所定時間の間に吐出される水蒸気の総量が最低基板温度となっている裏面領域に最も近いノズルで最大となるように、各ノズルからの水蒸気の吐出を調整する工程を有する
ことを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034671A JP5832329B2 (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034671A JP5832329B2 (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013171960A JP2013171960A (ja) | 2013-09-02 |
JP5832329B2 true JP5832329B2 (ja) | 2015-12-16 |
Family
ID=49265734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012034671A Active JP5832329B2 (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5832329B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6473592B2 (ja) * | 2014-09-29 | 2019-02-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6980457B2 (ja) * | 2017-08-23 | 2021-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
JP7357693B2 (ja) * | 2019-12-16 | 2023-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11165114A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 枚葉式基板処理装置 |
JP2001077069A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-23 | Sony Corp | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP4320982B2 (ja) * | 2000-07-04 | 2009-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | 基材処理装置 |
-
2012
- 2012-02-21 JP JP2012034671A patent/JP5832329B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013171960A (ja) | 2013-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11217452B2 (en) | Substrate processing device and substrate processing method for carrying out chemical treatment for substrate | |
JP6100487B2 (ja) | 基板処理装置 | |
TWI670121B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
KR102101073B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US10424496B2 (en) | Substrate treating method | |
TW201841692A (zh) | 處理液供給裝置、基板處理裝置以及處理液供給方法 | |
JP2009212301A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2010129809A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2014038949A (ja) | 基板処理装置、および基板処理方法 | |
JP5832329B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP6489475B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2019134073A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2009231732A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5996329B2 (ja) | 基板処理装置、および基板処理方法 | |
JP5523502B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP5405955B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7232710B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6473592B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US11211281B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2016149495A (ja) | 基板処理システムおよび同システムにおける排気量調節方法 | |
TWI652733B (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
KR20100073576A (ko) | 스퍼터링 증착용 히터장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151001 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151020 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5832329 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |