JP5822348B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
4 ハウジング
6 下層
8 中層
10 上層
12 凹部
14 フィルタ
16 仕切り
18 溝
20 凹部
21 配線
22 センサ本体
23 ダイボンド層
24 リード
25,26 溝
27 配線
28,29 配線
30 リッド
32 孔
34 孔
36 凹部
37 絶縁膜
38 感ガス膜
39 脚
40,41 パッド
42 切欠部
44 仕切り
46 溝
48 孔
50 プラスチックハウジング
52,54 凹部
56,58 金属板
Claims (4)
- ハウジング内にセンサ本体を収容しているガスセンサにおいて、
ハウジングは、センサ本体を収容している第1の凹部と、周囲のガスから妨害ガスを除去するフィルタを収容している第2の凹部と、第1の凹部と第2の凹部との間のガスの流路とを備え、第1の凹部と第2の凹部はハウジングの同じ面に設けられ、さらに第2の凹部は第1の凹部の側方に設けられ、
さらに第1の凹部と第2の凹部とを覆うリッドがハウジングに固定されていることを特徴とする、ガスセンサ。 - リッドは金属板から成り、第2の凹部と向き合う位置で、フィルタへ周囲の雰囲気を導く孔がリッドに設けられていることを特徴とする、請求項1のガスセンサ。
- ハウジングはセラミック製で、第1の凹部内とハウジングの底面とを接続するメタライズド配線が設けられ、前記配線にセンサ本体の電極が接続されていることを特徴とする、請求項1または2のガスセンサ。
- センサ本体が、シリコンチップの表面に設けた絶縁膜上に感ガス部を設けたものであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかのガスセンサ。
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