JP5814023B2

JP5814023B2 - サスペンドメタルマスクの製造方法

Info

Publication number: JP5814023B2
Application number: JP2011159248A
Authority: JP
Inventors: 公一岨野; 小林　正行; 正行小林
Original assignee: 株式会社ソノコム
Priority date: 2011-07-20
Filing date: 2011-07-20
Publication date: 2015-11-17
Anticipated expiration: 2031-07-20
Also published as: JP2013022814A

Description

本発明は、高強度金属線で織ったスクリーンメッシュを使用したサスペンドメタルマスクに関するものである。

サスペンドメタルマスクとは、ＳＵＳやタングステンといった金属製のスクリーンメッシュと、パターン形成されたニッケルやニッケル合金製のメタルマスクとを密着させ、さらにその状態からニッケルめっきやニッケル合金めっきを行うことによって、スクリーンメッシュとメタルマスクを貼り合わせたメッシュ一体型メタルマスクであり、その構造上、スクリーンメッシュに感光性樹脂でパターン形成した従来のスクリーン印刷版と比べると印刷時の耐久性が高く、印刷時の経時変化による寸法伸びが抑制されて寸法安定性に優れているといった特徴がある。サスペンドメタルマスクの製造方法としては、電鋳母型の表面にパターンレジスト膜を形成する工程と、電鋳母型のパターンレジスト膜で覆われていない表面に、マスク基板に相当する電着層を電着形成する工程と、電着層およびパターンレジスト膜の表面上に導電性を有するメッシュを密着重合する工程と、メッシュ方向からメッキをかけてメッシュと電着層を一体接合する工程と、電鋳母型から電着層をメッシュごと剥離する工程とからなるメッシュ一体型メタルマスクの製造方法（例えば特許文献１参照）が存在している。また、サスペンドメタルマスク及びその製造方法としては、四角形枠体にメッシュスクリーンを固定し、前記メッシュスクリーンよりも伸縮性の小さい金属性メッシュスクリーンを前記メッシュスクリーンの略中央部に配し、前記金属製メッシュスクリーンの外周部を前記メッシュスクリーンに固定し、固定しておらず且つ前記金属製メッシュスクリーンと重なっている前記メッシュスクリーン部のみを切除した後、前記金属製メッシュスクリーンとメタルマスクを電気メッキ法にて固着して作製するコンビネーションサスペンドメタルマスク版において、少なくとも前記金属製メッシュスクリーンと前記メタルマスクを固着させる部分のニッケルメッキ厚は適宜の厚みで成長させ、それ以外の部分には極薄くしかニッケルメッキを成長させないことで高オープニング率が得られる高オープニング率を有するコンビネーションサスペンドメタルマスク版（例えば、引用文献２参照）が存在している。

特開平８−１８３１５１号公報（特許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明の欄、及び図１〜図６を参照）特開２００５−１２５５４７号公報（特許請求の範囲の欄、発明の詳細な説明の欄、及び図５〜図８を参照）

サスペンドメタルマスクにおいて、スクリーンメッシュとメタルマスクの密着性は耐久性等に直接かかわってくるため非常に重要である。この密着性はスクリーンメッシュとメタルマスクの接触部分、つまり、スクリーンメッシュの交点部分とメタルマスクとの接触箇所を増やすことによって向上させることができる。
前述したように、サスペンドメタルマスクに使用するスクリーンメッシュはＳＵＳやタングステンといった金属製の硬い線材を経糸と緯糸として製織した織物であるため、経糸と緯糸では線材の曲がり具合が異なり、経糸と緯糸の交点部分の曲がり具合は経糸の曲がり具合のほうが緯糸の曲がり具合よりも大きい。つまり、スクリーンメッシュの経糸と緯糸の交点部分を山と表現すると、経糸の山の高さのほうが、緯糸の山の高さよりも高くなる。
よって、織ったままのスクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用する場合、山の高さが高い経糸の交点部分しかメタルマスクに接触しないため、スクリーンメッシュとメタルマスクの接触箇所が少なくなってしまい、スクリーンメッシュとメタルマスクが密着しにくくなるといった問題を惹き起こし、それが原因でスクリーンメッシュからメタルマスクが剥がれてしまう可能性がある。
この対策として、スクリーンメッシュ製織後にスクリーンメッシュを圧延機に通すという加工を施した、いわゆるカレンダー加工スクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用するということが行われている。従来、カレンダー加工はスクリーンメッシュの厚みを任意の厚みに形成するために施される加工であるが、カレンダー加工を施すとスクリーンメッシュの交点部分がつぶれて経糸と緯糸の山の高さが略等しくなるという効果が得られるため、サスペンドメタルマスクに使用する場合にスクリーンメッシュとメタルマスクとの接触箇所が経糸以外に緯糸も加わることになり、接触箇所が増えて密着性が向上するといった効果が得られるからである。
サスペンドメタルマスクはその特徴でもある高い耐久性と寸法安定性を活かし、例えばコンデンサやインダクタといったチップ型積層セラミック電子部品の内部電極形成工程や、結晶系シリコン太陽電池の集電電極形成工程等に好適に用いられている。
近年、チップ型積層セラミック電子部品はますます軽薄短小化の方向へ推移し、所謂０６０３サイズや０４０２サイズといった微小なチップ型積層セラミック電子部品の内部電極がスクリーン印刷法によって形成されるようになってきている。一方、結晶系シリコン太陽電池の集電電極、特に受光面側に形成されるフィンガー電極においては、より一層の変換効率の向上を目指すべく、細く高く印刷することが求められている。
このように、より高精細のスクリーン印刷を行う場合、細い線径かつ高メッシュ数のスクリーンメッシュが必要なことは周知である。しかしながら、従来からスクリーンメッシュに使用されている金属線では細い線径かつ高メッシュ数にすると、十分な強度が得られないために、印刷時の経時変化による寸法伸びを惹き起こし、結果としてスクリーン版自体の耐久性が低下するという問題が生じていた。そこでこの問題に対応するべく、従来の金属線よりも高強度かつ低伸度の高強度金属線で製織したスクリーンメッシュが使用されるようになってきている。例えば従来の金属線が、引っ張り強度が６５０〜１５００Ｎ／ｍｍ^２で伸びが９％以上の特性に対し、高強度金属線は、引っ張り強度が１９００〜２８００Ｎ／ｍｍ^２で伸びが１〜３％といった特性を示す。更に強度が２９００Ｎ／ｍｍ^２以上で伸度が１〜４％といった特性を示す金属線も存在する。
サスペンドメタルマスクに使用するスクリーンメッシュは、前述した理由によりカレンダー加工が必要不可欠である。従来の金属線を使用して製織したスクリーンメッシュの経糸と緯糸の交点の高さを略同一の高さに揃える場合は、スクリーンメッシュの厚みを金属線の線径の約１．７倍以下くらいになるようにカレンダー加工を行えばよい。しかしながら、上述のような高強度金属線を使用して製織したスクリーンメッシュの厚みを金属線の線径の１．７倍以下の厚みにしてしまうと、経糸と緯糸の交点の高さが揃っていても、スクリーンメッシュ自体がカーリングしたり、スクリーンメッシュ自体のコシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった、従来の金属線にはない高強度金属線特有の問題が発生することがわかった。さらにスクリーンメッシュの厚みを薄くしていくと、上述の現象は抑制されてくるものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなってしまい、スクリーン印刷を行った際にペーストやインキといった印刷物の吐出量が少なくなり、場合によっては印刷物の転写不足や印刷カスレといった問題を惹き起こす。さらに、スクリーンメッシュの厚みを薄くすればするほど、経糸と緯糸の交点部分のつぶれた面積が大きくなる。このつぶれた部分は略平坦部となり、この平坦部の面積が大きくなると、スクリーン印刷直後のペーストのレベリングが妨げられる要因の一つとなり、スクリーンメッシュの厚みと相まって印刷物の転写不足や印刷物のカスレといった問題が発生する。
そこで本発明は、上記のような高強度金属線を使用して製織したスクリーンメッシュを使用しても、印刷物の十分な吐出量が得られ、印刷物の転写不足や印刷物のカスレを抑制し、かつメタルマスクとスクリーンメッシュの密着性がよい、経時の変化においても寸法精度が安定した、高い耐久性をもつサスペンドメタルマスクを提供することを主たる目的とする。

本発明者は種々検討を行った結果、スクリーンメッシュの厚みが、スクリーンメッシュに使用している金属線の線径と、ある範囲内の倍率との積で得られた数値になるようにカレンダー加工を施し、そのスクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用することによって、上記問題を解決することを見出して、本発明を達成した。
上記の目的を達成することができる本発明の第１発明は、請求項１に記載された通りのサスペンドメタルマスクの製造方法であり、次のようなものである。
引っ張り強度が１９００Ｎ／ｍｍ^２以上で伸びが５％未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．８倍以上１．９倍未満の均一な厚みとなるように圧延によるカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用して製造したことを特徴とする構成である。
本発明に係るサスペンドメタルマスクの製造方法で製造したサスペンドメタルマスクは、上記説明のような構成を有するので、以下に記載する効果を奏する。
引っ張り強度が１９００Ｎ／ｍｍ^２以上で伸びが５％未満の金属線をスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．８倍以上１．９倍未満の均一な厚みとなるように圧延によるカレンダー加工を施したスクリーンメッシュとすることで、取り扱い性のよい、目の揃った、メタルマスクへの密着性のよい、サスペンドメタルマスクに好適なカレンダースクリーンメッシュを得ることができる。
なお、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．９倍以上とした場合は、経糸と緯糸の高さが揃わないのでメタルマスクとの接触箇所が少なくなり、サスペンドメタルマスクには好適とはいえない。また、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．６倍以上１．８倍未満とした場合は、経糸と緯糸の高さは揃うが、スクリーンメッシュ自体のコシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生し、サスペンドメタルマスクには好適とはいえない。
さらに、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．６倍未満としたカレンダーメッシュは、経糸と緯糸の高さは揃い、コシがなくなるとか、取り扱い等ができなくなるといった問題は抑制されるものの、スクリーンメッシュ自体の厚みが薄くなりすぎて交点部分のつぶれた面積が大きくなるためサスペンドメタルマスクには好適とはいえない。

本発明に係るサスペンドメタルマスクの製造方法は、上記説明のような構成を有するので、以下に記載する効果を奏する。
下記でも比較説明する通り、従来の金属線では、スクリーンメッシュの厚みが線径の約１．７倍以下であるカレンダー加工を施したスクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用するのが好適となるが、高強度のスクリーンメッシュを使用する場合は、スクリーンメッシュの厚みが、線径の１．８倍以上１．９倍未満という限られた範囲内になるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用することで、メタルマスクとの密着性の向上が図られ、スクリーンメッシュからメタルマスクが剥がれるといった問題のない耐久性の高い、転写不足やカスレが抑制されたサスペンドメタルマスクを安定的に得ることができる。
なお、サスペンドメタルマスクの使用形態として、例えば、アルミニウム等で作製された枠体に前記金属製スクリーンメッシュを直接張架し、レジスト等でパターン形成されたニッケルやニッケル合金製のメタルマスクを前記スクリーンメッシュに密着させ、さらにその状態からニッケルめっきやニッケル合金めっきを行うことによって前記金属製スクリーンメッシュとメタルマスクを貼り合わせたサスペンドメタルマスク版としてスクリーン印刷に使用することはもちろん、例えばアルミニウム等で作製された枠体にナイロンやポリエステルといった化繊のスクリーンメッシュを張架し、さらに枠体に張架した化繊のスクリーンメッシュの略中央部に前記金属製のスクリーンメッシュを配し、前記金属製のスクリーンメッシュの周縁部と前記化繊のスクリーンメッシュを接着剤等で貼り付け、接着部以外の前記メッシュシートと前記化繊のスクリーンメッシュが重複している部分の化繊のスクリーンメッシュ部分を切除した、いわゆるコンビネーションスクリーン状態の前記金属製のスクリーンメッシュ部に、レジスト等でパターン形成されたニッケルやニッケル合金製のメタルマスクを密着させ、さらにその状態からニッケルめっきやニッケル合金めっきを行うことによって前記金属製のスクリーンメッシュとメタルマスクを貼り合わせた、いわゆるコンビネーションサスペンドメタルマスク版としてスクリーン印刷に使用することができることは言うまでもない。さらに、前記金属製のスクリーンメッシュに貼り合わせるメタルマスクの前記スクリーンメッシュと貼り合わせる面の表面状態は特に限定はなく、光沢のあるような凹凸の少ない平滑な面状態でも、光沢のないような凹凸のある面状態でも構わないのは言うまでもない。

高強度金属線を使用したスクリーンメッシュにおいて、経糸と緯糸の交点の高さが略均一な高さになるスクリーンメッシュを得る。
上述のように、経糸と緯糸の交点の高さが略均一な高さになればスクリーンメッシュとメタルマスクとの接触箇所が増えるので、密着性が向上し、サスペンドメタルマスクには好適なスクリーンメッシュとなる。
そこで、各種の特性をもつ金属線を使用して製織したスクリーンメッシュを１μｍ刻みでカレンダー加工を施し、スクリーンメッシュの交点部における経糸と緯糸の高さを株式会社キーエンス製レーザー顕微鏡ＶＫ−９７００で測定し、経糸と緯糸の高さを確認した。さらにスクリーンメッシュの外観を目視で確認した。スクリーンメッシュの厚みは株式会社プロテック製厚み測定器ＭＧ−５００Ｂで測定した。各種スクリーンメッシュのカレンダー加工後の厚みと、そのときのスクリーンメッシュの線径に対する倍率、および経糸と緯糸の交点高さの状態、スクリーンメッシュの外観状態を表１に示す。なお、経糸と緯糸に使用している金属線の線径は同じとし、スクリーンメッシュの大きさは３４０ｍｍ×３４０ｍｍとした。

以下、実施例と比較例を用いて本発明の特徴を説明する。
引っ張り強度が２８００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２〜３％の金属線を使用した線径２０μｍ、メッシュ数２５０のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、さらにスクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは４４μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．８倍以上１．９倍未満である厚み３６μｍｔと３７μｍｔがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．９倍以上である３８μｍｔ以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．６倍以上１．８倍未満である３２μｍｔ以上から３５μｍｔ以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．６倍未満である３１μｍｔ以下の場合は、取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。

引っ張り強度が２８００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２〜３％の金属線を使用した線径２０μｍ、メッシュ数２９０のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、さらにスクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは４３μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．８倍以上１．９倍未満である厚み３６μｍｔと３７μｍｔがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．９倍以上である３８μｍｔ以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．６倍以上１．８倍未満である３２μｍｔ以上から３５μｍｔ以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが、線径２０μｍの１．６倍未満である３１μｍｔ以下の場合は、取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。

引っ張り強度が２８００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２〜３％の金属線を使用した線径１６μｍ、メッシュ数３２５のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、さらにスクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは３５μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径１６μｍの１．８倍以上１．９倍未満である厚み２９μｍｔと３０μｍｔがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径１６μｍの１．９倍以上である３１μｍｔ以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径１６μｍの１．６倍以上１．８倍未満である２６μｍｔ以上から２８μｍｔ以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが線径１６μｍの１．６倍未満である２５μｍｔ以下の場合は、取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。

引っ張り強度が２８００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２〜３％の金属線を使用した線径１６μｍ、メッシュ数３６０のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、さらにスクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは３６μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径１６μｍの１．８倍以上１．９倍未満である厚み２９μｍｔと３０μｍｔがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径１６μｍの１．９倍以上である３１μｍｔ以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径１６μｍの１．６倍以上１．８倍未満である２６μｍｔ以上から２８μｍｔ以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが線径１６μｍの１．６倍未満である２５μｍｔ以下の場合は、再び経糸と緯糸の高さが揃って取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。

引っ張り強度が３０００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２〜３％の金属線を使用した線径１４μｍ、メッシュ数３８０のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、さらにスクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは３３μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径１４μｍの１．８倍以上１．９倍未満である厚み２６μｍｔがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径１４μｍの１．９倍以上である２７μｍｔ以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径１４μｍの１．８倍未満である２５μｍｔ以下の場合は、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生するとともに、スクリーンメッシュの交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。

以下、本発明の実施例との比較例について説明する。
｛比較例１｝
引っ張り強度が１０００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２５〜３０％の金属線を使用した線径２８μｍ、メッシュ数３２５のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、スクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは６４μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径２８μｍの約１．６倍以下である厚み４６μｍｔ以下が、サスペンドメタルマスクには好適であった。スクリーンメッシュの厚みが４７μｍｔ以上の場合は経糸と緯糸の高さが揃わなかった。

｛比較例２｝
引っ張り強度が１０００Ｎ／ｍｍ^２、伸びが２５〜３０％の金属線を使用した線径２３μｍ、メッシュ数４００のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを１μｍ刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを測定し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、スクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは５５μｍであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが線径２３μｍの約１．７倍以下である厚み４０μｍｔ以下が、経糸と緯糸の交点の高さが揃ってサスペンドメタルマスクには好適であった。スクリーンメッシュの厚みが４１μｍｔ以上の場合は経糸と緯糸の高さが揃わなかった。

以上説明をした実施例１〜実施例５、及び比較例１、比較例２に関する交点合わせ実験一覧を以下のように｛表１｝にまとめる。その結果を見てもわかるように、本発明の請求の範囲で示した引っ張り強度が１９００Ｎ／ｍｍ^２以上で伸びが５％未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．８倍以上１．９倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用することによって、多大な効果を奏することが証明できるものである。

このスクリーンメッシュはサスペンドメタルマスクだけではなく、スクリーンメッシュに感光性樹脂でパターン形成した従来のスクリーン印刷版といった、スクリーンメッシュを使用したさまざまなスクリーン印刷版に利用することができる。

Claims

引っ張り強度が１９００Ｎ／ｍｍ^２以上で伸びが５％未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の１．８倍以上１．９倍未満の均一な厚みとなるように圧延によるカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用したことを特徴とするサスペンドメタルマスクの製造方法。