JP2013022814A - サスペンドメタルマスクおよびサスペンドメタルマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 引っ張り強度が1900N/mm2以上で伸びが5%未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.8倍以上1.9倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用したサスペンドメタルマスク。
【選択図】なし
Description
前述したように、サスペンドメタルマスクに使用するスクリーンメッシュはSUSやタングステンといった金属製の硬い線材を経糸と緯糸として製織した織物であるため、経糸と緯糸では線材の曲がり具合が異なり、経糸と緯糸の交点部分の曲がり具合は経糸の曲がり具合のほうが緯糸の曲がり具合よりも大きい。つまり、スクリーンメッシュの経糸と緯糸の交点部分を山と表現すると、経糸の山の高さのほうが、緯糸の山の高さよりも高くなる。
よって、織ったままのスクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用する場合、山の高さが高い経糸の交点部分しかメタルマスクに接触しないため、スクリーンメッシュとメタルマスクの接触箇所が少なくなってしまい、スクリーンメッシュとメタルマスクが密着しにくくなるといった問題を惹き起こし、それが原因でスクリーンメッシュからメタルマスクが剥がれてしまう可能性がある。
この対策として、スクリーンメッシュ製織後にスクリーンメッシュを圧延機に通すという加工を施した、いわゆるカレンダー加工スクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用するということが行われている。従来、カレンダー加工はスクリーンメッシュの厚みを任意の厚みに形成するために施される加工であるが、カレンダー加工を施すとスクリーンメッシュの交点部分がつぶれて経糸と緯糸の山の高さが略等しくなるという効果が得られるため、サスペンドメタルマスクに使用する場合にスクリーンメッシュとメタルマスクとの接触箇所が経糸以外に緯糸も加わることになり、接触箇所が増えて密着性が向上するといった効果が得られるからである。
サスペンドメタルマスクはその特徴でもある高い耐久性と寸法安定性を活かし、例えばコンデンサやインダクタといったチップ型積層セラミック電子部品の内部電極形成工程や、結晶系シリコン太陽電池の集電電極形成工程等に好適に用いられている。
近年、チップ型積層セラミック電子部品はますます軽薄短小化の方向へ推移し、所謂0603サイズや0402サイズといった微小なチップ型積層セラミック電子部品の内部電極がスクリーン印刷法によって形成されるようになってきている。一方、結晶系シリコン太陽電池の集電電極、特に受光面側に形成されるフィンガー電極においては、より一層の変換効率の向上を目指すべく、細く高く印刷することが求められている。
このように、より高精細のスクリーン印刷を行う場合、細い線径かつ高メッシュ数のスクリーンメッシュが必要なことは周知である。しかしながら、従来からスクリーンメッシュに使用されている金属線では細い線径かつ高メッシュ数にすると、十分な強度が得られないために、印刷時の経時変化による寸法伸びを惹き起こし、結果としてスクリーン版自体の耐久性が低下するという問題が生じていた。そこでこの問題に対応するべく、従来の金属線よりも高強度かつ低伸度の高強度金属線で製織したスクリーンメッシュが使用されるようになってきている。例えば従来の金属線が、引っ張り強度が650〜1500N/mm2で伸びが9%以上の特性に対し、高強度金属線は、引っ張り強度が1900〜2800N/mm2で伸びが1〜3%といった特性を示す。更に強度が2900N/mm2以上で伸度が1〜4%といった特性を示す金属線も存在する。
サスペンドメタルマスクに使用するスクリーンメッシュは、前述した理由によりカレンダー加工が必要不可欠である。従来の金属線を使用して製織したスクリーンメッシュの経糸と緯糸の交点の高さを略同一の高さに揃える場合は、スクリーンメッシュの厚みを金属線の線径の約1.7倍以下くらいになるようにカレンダー加工を行えばよい。しかしながら、上述のような高強度金属線を使用して製織したスクリーンメッシュの厚みを金属線の線径の1.7倍以下の厚みにしてしまうと、経糸と緯糸の交点の高さが揃っていても、スクリーンメッシュ自体がカーリングしたり、スクリーンメッシュ自体のコシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった、従来の金属線にはない高強度金属線特有の問題が発生することがわかった。さらにスクリーンメッシュの厚みを薄くしていくと、上述の現象は抑制されてくるものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなってしまい、スクリーン印刷を行った際にペーストやインキといった印刷物の吐出量が少なくなり、場合によっては印刷物の転写不足や印刷カスレといった問題を惹き起こす。さらに、スクリーンメッシュの厚みを薄くすればするほど、経糸と緯糸の交点部分のつぶれた面積が大きくなる。このつぶれた部分は略平坦部となり、この平坦部の面積が大きくなると、スクリーン印刷直後のペーストのレベリングが妨げられる要因の一つとなり、スクリーンメッシュの厚みと相まって印刷物の転写不足や印刷物のカスレといった問題が発生する。
そこで本発明は、上記のような高強度金属線を使用して製織したスクリーンメッシュを使用しても、印刷物の十分な吐出量が得られ、印刷物の転写不足や印刷物のカスレを抑制し、かつメタルマスクとスクリーンメッシュの密着性がよい、経時の変化においても寸法精度が安定した、高い耐久性をもつサスペンドメタルマスクを提供することを主たる目的とする。
上記の目的を達成することができる本発明の第1発明は、請求項1に記載された通りのサスペンドメタルマスクであり、次のようなものである。
引っ張り強度が1900N/mm2以上で伸びが5%未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.8倍以上1.9倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用したことを特徴とする構成である。
引っ張り強度が1900N/mm2以上で伸びが5%未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.8倍以上1.9倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用して製造したことを特徴とする構成である。
本発明に係るサスペンドメタルマスクは、上記説明のような構成を有するので、以下に記載する効果を奏する。
引っ張り強度が1900N/mm2以上で伸びが5%未満の金属線をスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.8倍以上1.9倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュとすることで、取り扱い性のよい、目の揃った、メタルマスクへの密着性のよい、サスペンドメタルマスクに好適なカレンダースクリーンメッシュを得ることができる。
なお、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.9倍以上とした場合は、経糸と緯糸の高さが揃わないのでメタルマスクとの接触箇所が少なくなり、サスペンドメタルマスクには好適とはいえない。また、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.6倍以上1.8倍未満とした場合は、経糸と緯糸の高さは揃うが、スクリーンメッシュ自体のコシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生し、サスペンドメタルマスクには好適とはいえない。
さらに、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.6倍未満としたカレンダーメッシュは、経糸と緯糸の高さは揃い、コシがなくなるとか、取り扱い等ができなくなるといった問題は抑制されるものの、スクリーンメッシュ自体の厚みが薄くなりすぎて交点部分のつぶれた面積が大きくなるためサスペンドメタルマスクには好適とはいえない。
下記でも比較説明する通り、従来の金属線では、スクリーンメッシュの厚みが線径の約1.7倍以下であるカレンダー加工を施したスクリーンメッシュをサスペンドメタルマスクに使用するのが好適となるが、高強度のスクリーンメッシュを使用する場合は、スクリーンメッシュの厚みが、線径の1.8倍以上1.9倍未満という限られた範囲内になるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用することで、メタルマスクとの密着性の向上が図られ、スクリーンメッシュからメタルマスクが剥がれるといった問題のない耐久性の高い、転写不足やカスレが抑制されたサスペンドメタルマスクを安定的に得ることができる。
なお、サスペンドメタルマスクの使用形態として、例えば、アルミニウム等で作製された枠体に前記金属製スクリーンメッシュを直接張架し、レジスト等でパターン形成されたニッケルやニッケル合金製のメタルマスクを前記スクリーンメッシュに密着させ、さらにその状態からニッケルめっきやニッケル合金めっきを行うことによって前記金属製スクリーンメッシュとメタルマスクを貼り合わせたサスペンドメタルマスク版としてスクリーン印刷に使用することはもちろん、例えばアルミニウム等で作製された枠体にナイロンやポリエステルといった化繊のスクリーンメッシュを張架し、さらに枠体に張架した化繊のスクリーンメッシュの略中央部に前記金属製のスクリーンメッシュを配し、前記金属製のスクリーンメッシュの周縁部と前記化繊のスクリーンメッシュを接着剤等で貼り付け、接着部以外の前記メッシュシートと前記化繊のスクリーンメッシュが重複している部分の化繊のスクリーンメッシュ部分を切除した、いわゆるコンビネーションスクリーン状態の前記金属製のスクリーンメッシュ部に、レジスト等でパターン形成されたニッケルやニッケル合金製のメタルマスクを密着させ、さらにその状態からニッケルめっきやニッケル合金めっきを行うことによって前記金属製のスクリーンメッシュとメタルマスクを貼り合わせた、いわゆるコンビネーションサスペンドメタルマスク版としてスクリーン印刷に使用することができることは言うまでもない。さらに、前記金属製のスクリーンメッシュに貼り合わせるメタルマスクの前記スクリーンメッシュと貼り合わせる面の表面状態は特に限定はなく、光沢のあるような凹凸の少ない平滑な面状態でも、光沢のないような凹凸のある面状態でも構わないのは言うまでもない。
上述のように、経糸と緯糸の交点の高さが略均一な高さになればスクリーンメッシュとメタルマスクとの接触箇所が増えるので、密着性が向上し、サスペンドメタルマスクには好適なスクリーンメッシュとなる。
そこで、各種の特性をもつ金属線を使用して製織したスクリーンメッシュを1μm刻みでカレンダー加工を施し、スクリーンメッシュの交点部における経糸と緯糸の高さを株式会社キーエンス製レーザー顕微鏡VK−9700で測定し、経糸と緯糸の高さを確認した。さらにスクリーンメッシュの外観を目視で確認した。スクリーンメッシュの厚みは株式会社プロテック製厚み測定器MG−500Bで測定した。各種スクリーンメッシュのカレンダー加工後の厚みと、そのときのスクリーンメッシュの線径に対する倍率、および経糸と緯糸の交点高さの状態、スクリーンメッシュの外観状態を表1に示す。なお、経糸と緯糸に使用している金属線の線径は同じとし、スクリーンメッシュの大きさは340mm×340mmとした。
引っ張り強度が2800N/mm2、伸びが2〜3%の金属線を使用した線径20μm、メッシュ数250のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを1μm刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、さらにスクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは44μmであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.8倍以上1.9倍未満である厚み36μmtと37μmtがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.9倍以上である38μmt以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.6倍以上1.8倍未満である32μmt以上から35μmt以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.6倍未満である31μmt以下の場合は、取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.8倍以上1.9倍未満である厚み36μmtと37μmtがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.9倍以上である38μmt以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.6倍以上1.8倍未満である32μmt以上から35μmt以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが、線径20μmの1.6倍未満である31μmt以下の場合は、取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径16μmの1.8倍以上1.9倍未満である厚み29μmtと30μmtがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径16μmの1.9倍以上である31μmt以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径16μmの1.6倍以上1.8倍未満である26μmt以上から28μmt以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが線径16μmの1.6倍未満である25μmt以下の場合は、取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径16μmの1.8倍以上1.9倍未満である厚み29μmtと30μmtがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径16μmの1.9倍以上である31μmt以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径16μmの1.6倍以上1.8倍未満である26μmt以上から28μmt以下までは、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生した。さらに、スクリーンメッシュの厚みが線径16μmの1.6倍未満である25μmt以下の場合は、再び経糸と緯糸の高さが揃って取り扱いに関しては問題なくなったものの、スクリーンメッシュの厚みが薄くなりすぎてしまい、交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径14μmの1.8倍以上1.9倍未満である厚み26μmtがサスペンドメタルマスクには好適であることがわかった。スクリーンメッシュの厚みが、線径14μmの1.9倍以上である27μmt以上の場合は、経糸と緯糸の高さが揃わなかった。また、スクリーンメッシュの厚みが、線径14μmの1.8倍未満である25μmt以下の場合は、経糸と緯糸の高さは揃うものの、スクリーンメッシュがカーリングしたり、コシがなくなって取り扱いできなくなったり、スクリーンメッシュの目が揃わないといった問題が発生するとともに、スクリーンメッシュの交点部分のつぶれた面積が大きくなってしまった。
{比較例1}
引っ張り強度が1000N/mm2、伸びが25〜30%の金属線を使用した線径28μm、メッシュ数325のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを1μm刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを確認し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、スクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは64μmであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが、線径28μmの約1.6倍以下である厚み46μmt以下が、サスペンドメタルマスクには好適であった。スクリーンメッシュの厚みが47μmt以上の場合は経糸と緯糸の高さが揃わなかった。
引っ張り強度が1000N/mm2、伸びが25〜30%の金属線を使用した線径23μm、メッシュ数400のアサダメッシュ株式会社製スクリーンメッシュを1μm刻みに各厚みにカレンダー加工して、経糸と緯糸の高さを測定し、そのときのスクリーンメッシュの厚みを測定し、スクリーンメッシュの外観を確認した。カレンダー加工前のスクリーンメッシュの厚みは55μmであった。
その結果、スクリーンメッシュの厚みが線径23μmの約1.7倍以下である厚み40μmt以下が、経糸と緯糸の交点の高さが揃ってサスペンドメタルマスクには好適であった。スクリーンメッシュの厚みが41μmt以上の場合は経糸と緯糸の高さが揃わなかった。
Claims (2)
- 引っ張り強度が1900N/mm2以上で伸びが5%未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.8倍以上1.9倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用したことを特徴とするサスペンドメタルマスク。
- 引っ張り強度が1900N/mm2以上で伸びが5%未満の金属線を経糸および緯糸に使用したメッシュ織物であるスクリーンメッシュにおいて、前記スクリーンメッシュの厚みが、前記スクリーンメッシュに使用している前記金属線の線径の1.8倍以上1.9倍未満となるようにカレンダー加工を施したスクリーンメッシュを使用したことを特徴とするサスペンドメタルマスクの製造方法。
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