JP5809605B2 - 酸化インジウムガリウム亜鉛組成物の作製方法 - Google Patents
酸化インジウムガリウム亜鉛組成物の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5809605B2 JP5809605B2 JP2012140815A JP2012140815A JP5809605B2 JP 5809605 B2 JP5809605 B2 JP 5809605B2 JP 2012140815 A JP2012140815 A JP 2012140815A JP 2012140815 A JP2012140815 A JP 2012140815A JP 5809605 B2 JP5809605 B2 JP 5809605B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gallium
- indium
- zinc
- igzo
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
1.二元金属酸化物の作製
純度4N(99.99%)以上の金属インジウムおよび金属ガリウムを硝酸溶液に投入し、酸溶解して出発溶液を形成した。該出発溶液に水酸化アンモニウム水溶液を滴下して出発溶液のpH値を6.5または7.5に調整した。
前述の作製方法で形成された酸化インジウムガリウム粉末と過量の酸化亜鉛粉末(酸化亜鉛粉末は約酸化インジウムガリウム粉末の計量比の1.5〜2倍)とを湿式ボールミル法により混合して、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含有する沈殿物を形成した。このうち、酸化インジウムガリウム粉末の純度は99.99%以上であった。その後、さらにインジウム、ガリウムおよび亜鉛を含有する該沈殿物を二回目ボールミリングした。
純度4N(99.99%)以上の金属インジウムおよび金属ガリウムを硝酸溶液に投入し、酸溶解して二元金属酸化物を含有する出発溶液を形成した。その後、過量の酸化亜鉛を投入し、さらに水酸化アンモニウム水溶液を滴下して溶液のpH値を6〜8の間になる調整した。pH値が適切な範囲に調整された後、出発溶液中のインジウムイオン、ガリウムイオン、および亜鉛イオンが共沈反応を発生した。
実施例1または実施例2で作製されたIGZO粉末を使用し、それを0.3μm未満になるまでボールミリングした後、冷間等方加圧成形法または鋳込み成形法で成形させ、グリーン成形体を得た。その後、当該グリーン成形体を脱脂し、かつ1480℃の温度で10時間焼結すると、相対密度が95%を超えるIGZOターゲット材を得た。
Claims (1)
- 酸化インジウムガリウム亜鉛(indium−gallium−zinc oxide,IGZO)組成物の作製方法であって、
(A)インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む原料を酸溶解して、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含み、pH値が6〜8の範囲内である混合物を形成し、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含む前記原料が、純インジウム、純ガリウムまたは純亜鉛を含有する工程と、
(B)インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含有する前記混合物を乾燥する工程と、
(C)インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含有する、乾燥された前記混合物を仮焼して酸化インジウムガリウム亜鉛組成物を作製する工程と
を含み、前記酸化インジウムガリウム亜鉛組成物は、InGaZnO4の結晶構造、1〜3μmの平均粒径、及び5〜15m2/gの比表面積を有する、方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012140815A JP5809605B2 (ja) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 酸化インジウムガリウム亜鉛組成物の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012140815A JP5809605B2 (ja) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 酸化インジウムガリウム亜鉛組成物の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014005165A JP2014005165A (ja) | 2014-01-16 |
JP5809605B2 true JP5809605B2 (ja) | 2015-11-11 |
Family
ID=50103266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012140815A Active JP5809605B2 (ja) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 酸化インジウムガリウム亜鉛組成物の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5809605B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5884001B1 (ja) * | 2014-03-28 | 2016-03-15 | Jx金属株式会社 | 酸化物焼結体及び該酸化物焼結体からなるスパッタリングターゲット |
KR101605503B1 (ko) | 2014-08-25 | 2016-03-22 | 유니스주식회사 | 저순도 인듐 금속과 주석 금속을 이용한 고순도 ito 타겟용 분말의 제조방법 |
JP6415363B2 (ja) * | 2015-03-16 | 2018-10-31 | 国立大学法人室蘭工業大学 | Igzoの製造方法 |
CN113716953B (zh) * | 2021-09-14 | 2022-10-28 | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 | 氧化铈掺杂izo粉体、靶材及制备方法 |
CN114853465B (zh) * | 2022-04-21 | 2023-06-02 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 | 一种用于靶材制作的高纯氧化物制备方法 |
CN115636435A (zh) * | 2022-09-05 | 2023-01-24 | 西安邮电大学 | 一种由锌、镓和氧组成的化合物的制备方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06234522A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-08-23 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 導電性材料およびその製造方法 |
JP3644647B2 (ja) * | 1995-04-25 | 2005-05-11 | Hoya株式会社 | 導電性酸化物およびそれを用いた電極 |
JP4170454B2 (ja) * | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2010202451A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | In−Ga−Zn系複合酸化物焼結体の製造方法 |
US9663405B2 (en) * | 2009-06-05 | 2017-05-30 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Oxide sintered compact, its production method, and raw material powder for producing oxide sintered compact |
JP2011178640A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Hitachi Maxell Ltd | 酸化物半導体粉末及びその製造方法 |
JP5206716B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2013-06-12 | 住友電気工業株式会社 | In−Ga−Zn系複合酸化物焼結体およびその製造方法 |
JP2012052227A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-03-15 | Mitsubishi Materials Corp | スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット |
JP2012162440A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 酸化ガリウム粉末 |
-
2012
- 2012-06-22 JP JP2012140815A patent/JP5809605B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014005165A (ja) | 2014-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5809605B2 (ja) | 酸化インジウムガリウム亜鉛組成物の作製方法 | |
JP5016993B2 (ja) | 酸化マグネシウム粒子凝集体及びその製造方法 | |
TWI401211B (zh) | 氧化銦粉末及其製造方法 | |
TWI433823B (zh) | 複合氧化物燒結體、複合氧化物燒結體之製造方法、濺鍍靶材及薄膜之製造方法 | |
Lv et al. | Synthesis of nano-sized and highly sinterable Nd: YAG powders by the urea homogeneous precipitation method | |
JP5883368B2 (ja) | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット | |
TW201116637A (en) | Oxide sintered body, method for producing same, and starting material powder for producing oxide sintered body | |
WO2014042138A1 (ja) | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにその製造方法 | |
TW201634427A (zh) | 板狀氧化鋁粉末的製法及板狀氧化鋁粉末 | |
Yavetskiy et al. | Phase formation and densification peculiarities of Y3Al5O12: Nd3+ during reactive sintering | |
Birkel et al. | Eu2+-doped M2SiO4 (M= Ca, Ba) phosphors prepared by a rapid microwave-assisted sol–gel method: Phase formation and optical properties | |
Kumar et al. | Multifunctional role of dysprosium in HfO 2: stabilization of the high temperature cubic phase, and magnetic and photoluminescence properties | |
CN103373845B (zh) | 铟镓锌氧化物及其制法与应用 | |
Liu et al. | Effect of ammonium carbonate to metal ions molar ratio on synthesis and sintering of Nd: YAG nanopowders | |
TW201333230A (zh) | 氧化物燒結體及濺鍍靶,以及其製造方法 | |
TWI531537B (zh) | 銦鎵鋅氧化物及其製法與應用 | |
WO2013065784A1 (ja) | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにその製造方法 | |
JP2012162432A (ja) | 酸化ガリウム粉末及びその製造方法並びに酸化物焼結体スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
Chaithanatkun et al. | Effect of ascorbic acid on structural properties of ZnO nanoparticles prepared by precipitation process | |
KR101534538B1 (ko) | 인듐-갈륨-아연 산화물 및 그 제조 방법과 응용 | |
JP5925535B2 (ja) | ガリウム・インジウム複合酸化物粉末 | |
WO2013065785A1 (ja) | 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにその製造方法 | |
Malekfar et al. | Temperature effects on the structure and morphology of Nd: YAG nanocrystallites | |
JP2015044740A (ja) | 酸化ガリウム粉末及びその製造方法並びに酸化物焼結体スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
Jongprateep et al. | Enhancement of dielectric constants in Strontium Titanate through Mg and Al doping |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150203 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150729 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20150805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150825 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150911 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5809605 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |