JP5808230B2 - 角度検出器の自律校正方法、角度検出器、円周目盛校正装置および角度検出器の校正装置 - Google Patents
角度検出器の自律校正方法、角度検出器、円周目盛校正装置および角度検出器の校正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5808230B2 JP5808230B2 JP2011249053A JP2011249053A JP5808230B2 JP 5808230 B2 JP5808230 B2 JP 5808230B2 JP 2011249053 A JP2011249053 A JP 2011249053A JP 2011249053 A JP2011249053 A JP 2011249053A JP 5808230 B2 JP5808230 B2 JP 5808230B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- calibration
- reading
- angle detector
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
- G01D18/001—Calibrating encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
前記目盛読取ヘッドとして、第1目盛読取ヘッドと第2目盛読取ヘッドを使用し、
1回転を整数等分せず、且つ、複数回転N(N:2以上の整数)をM等分(M:3以上の整数)する角度間隔αで、前記第1、第2目盛読取ヘッドを配置し、
前記目盛円板がN回転する間における前記第1、第2目盛読取ヘッドの読みを、予め定めたデータサンプリング間隔で取得し、
前記第1、第2目盛読取ヘッドの読みの差から、前記データサンプリング間隔で得られる、前記目盛円板の角度目盛誤差に関する逐次2点法によるデータを取得し、
前記N回転分の前記データの平均が近似的にゼロになることを利用して前記データを合成し、
合成した前記N回転分の前記データを、1回転毎に切り分け、n回転目(n:2からNまでの整数)以降の角度位置について、(n−1)×360を差し引いた余りを用いて、0〜360°の角度位置に再配置することによって、
前記目盛円板の目盛誤差を前記データサンプリング間隔で求めることを特徴としている。
まず、図1を参照して本発明の自律校正方法によって自律校正を行う自律校正装置の一例を説明する。自律校正装置1は、固定側エンコーダー2と位相調整側エンコーダー3の2台のエンコーダーを備えている。これらのエンコーダー2、3の目盛円板4、5は、軸受6に支持されたシャフト7の両端部に同軸状態に固定されている。シャフト7には、カップリング8を介して、シャフト連続回転用のモーター9が同軸状態に連結されている。シャフト7の反対側の部位には、位相調整用モーター10が同軸状態に配置されている。位相調整用モーター10の出力軸には、その回転中心から半径方向に外れた位置に位相調整側エンコーダー3が取り付けられている。
上記構成の自律校正装置1の自律校正方法を説明する。自律校正方法を実現するための逐次2点法によるデータ処理プログラムが予めコンピューター14のROM等に格納されており、当該プログラムを実行することによって目盛円板4、5の校正が行われる。すなわち、目盛円板4、5の目盛誤差が算出される。
全測定長(N回転)に亘る読取値の平均値がゼロになる性質を利用するデータ処理方法を確認するために、位相調整角α(固定側エンコーダー2と位相調整側エンコーダー3の目盛読取位置の角度間隔)が30°、36°での測定を実施した。位相調整角が30°の場合には12次(=360°/30°)とその高調波成分、36°の場合には10次(=360°/36°)とその高調波成分が測定結果から欠落する。これに対して、本発明の方法の一例として、位相調整角αを21°とし、7回転(N=7)を1周期と扱うと、上記の1回転を整数等分する2パターンの位相調整角30°、36°を採用する場合のような成分の欠落が実質的に生じない。
(2)次に、位相調整角α=21°の位相シフト状態(固定側エンコーダー2の読取位置を0°、位相調整側エンコーダー3の読取位置を21°)に設定し、そこから連続7回転部分について、これら2台のエンコーダー2、3の回転角を読み取る。
(3)手順(1)、(2)で取得した2セット分の位相調整側エンコーダー3の読みについて、初期位相状態に対する位相シフト後の差分を計算する。
(4)手順(3)で算出した差分を、21°間隔で抜き出して、それらの累積値を求める。これにより、360×7÷21=120点の折れ線を得る。0°から21°の間で、開始点の異なる角度について、同様の処理を行い、(21°/サンプリング周期)本の折れ線を得る。
(5)手順(4)で得られた折れ線について、各々読みの平均値を求め、それがゼロになるように、折れ線をオフセットする。これにより、(21°/サンプリング周期)本の折れ線について、お互いを関係付ける。
(6)手順(5)で求めた7回転分の折れ線を、1回転毎に切り分けて、n回転目以降の角度位置について、(n−1)×360を差し引いた余りを用いて、0〜360°の角度位置に再配置して、位相調整側エンコーダー3の校正カーブを得る。
(7)手順(1)で得たデータから手順(5)で得たデータを減算し、さらに、7回転分のデータを1回転毎に切り分けて、n回転目以降の角度位置について、(n−1)×360を差し引いた余りを用いて、0〜360°の角度位置に再配置して、固定側エンコーダー2の校正カーブを得る。
2 固定側エンコーダー
3 位相調整側エンコーダー
4、5 目盛円板
6 軸受
7 シャフト
8 カップリング
9 モーター
10 位相調整用モーター
11、12 目盛読取ヘッド
13 データ読取装置
14 コンピューター
15、16 分割器
Claims (4)
- 円周方向に所定の間隔で目盛が付いている目盛円板と、当該目盛円板の円周方向における所定の目盛読取位置において前記目盛を読み取る目盛読取ヘッドとを有する角度検出器の自律校正方法であって、
前記目盛読取ヘッドとして、第1目盛読取ヘッドと第2目盛読取ヘッドを使用し、
1回転を整数等分せず、且つ、複数回転N(N:2以上の整数)をM等分(M:3以上の整数)する角度間隔αで、前記第1、第2目盛読取ヘッドを配置し、
前記目盛円板がN回転する間における前記第1、第2目盛読取ヘッドの読みを、予め定めたデータサンプリング間隔で取得し、
前記第1、第2目盛読取ヘッドの読みの差から、前記データサンプリング間隔で得られる、前記目盛円板の角度目盛誤差に関する逐次2点法によるデータを取得し、
前記N回転分の前記データの平均がゼロになることを利用して前記データを合成し、
合成した前記N回転分の前記データを、1回転毎に切り分け、n回転目(n:2からNまでの整数)以降の角度位置について、(n−1)×360を差し引いた余りを用いて、0〜360°の角度位置に再配置することによって、
前記目盛円板の目盛誤差を前記データサンプリング間隔で求めることを特徴とする角度検出器の自律校正方法。 - 円周方向に目盛が形成されている目盛円板と、
前記目盛円板の円周方向における所定の位置において前記目盛を読み取る目盛読取ヘッドと、
前記目盛円板の目盛誤差を逐次2点法によって算出するデータ読取装置とを有し、
前記目盛読取ヘッドには、第1目盛読取ヘッドと第2目盛読取ヘッドが含まれており、
前記第1、第2目盛読取ヘッドは、1回転を整数等分せず、且つ、複数回転Nを整数M等分する角度間隔αで配置されており、
前記データ読取装置は、請求項1に記載の自律校正方法により前記目盛誤差を算出することを特徴とする自律校正機能を備えた角度検出器。 - 目盛円板において円周方向に所定の間隔で付いている円周目盛の目盛誤差を測定するための円周目盛校正装置であって、
測定対象の目盛円板の目盛を読み取るための第1目盛読取ヘッドおよび第2目盛読取ヘッドと、
前記第1、第2目盛読取ヘッドによる前記目盛円板の目盛読取位置の円周半径、および、当該第1、第2目盛読取ヘッドによる前記読取位置の角度間隔を調整する調整機構と、
請求項1に記載の自律校正方法により前記目盛円板の前記円周目盛の目盛誤差を算出するデータ読取装置と
を有していることを特徴とする円周目盛校正装置。 - 校正用目盛円板および校正用目盛読取ヘッドを備えた校正用角度検出器と、
前記校正用目盛円板に対する前記校正用目盛読取ヘッドの円周方向の目盛読取位置を変更するための調整機構と、
前記校正用目盛円板を、校正対象の角度検出器の回転軸に対して同軸に取り付けるためのアダプターと、
前記校正用角度検出器の校正用目盛読取ヘッドの読み、および、前記校正対象の角度検出器の目盛読取ヘッドの読みに基づき、当該校正対象の角度検出器の目盛円板の目盛誤差を算出するデータ読取装置とを有し、
前記データ読取装置は、前記校正用目盛読取ヘッドおよび前記校正対象の角度検出器の目盛読取ヘッドを第1、第2目盛読取ヘッドとして用いて、請求項1に記載の自律校正方法により前記目盛誤差を算出することを特徴とする角度検出器の校正装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011249053A JP5808230B2 (ja) | 2011-11-14 | 2011-11-14 | 角度検出器の自律校正方法、角度検出器、円周目盛校正装置および角度検出器の校正装置 |
US13/633,071 US9046384B2 (en) | 2011-11-14 | 2012-10-01 | Self-calibration method for angle detector, angle detector, circumferential scale calibration device, and angle detector calibration device |
DE102012219846A DE102012219846A1 (de) | 2011-11-14 | 2012-10-30 | Selbstkalibrierverfahren für einen Winkeldetektor, Winkeldetektor, Umfangsskalen-Kalibriervorrichtung und Winkeldetektor-Kalibriervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011249053A JP5808230B2 (ja) | 2011-11-14 | 2011-11-14 | 角度検出器の自律校正方法、角度検出器、円周目盛校正装置および角度検出器の校正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013104788A JP2013104788A (ja) | 2013-05-30 |
JP5808230B2 true JP5808230B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=48145362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011249053A Active JP5808230B2 (ja) | 2011-11-14 | 2011-11-14 | 角度検出器の自律校正方法、角度検出器、円周目盛校正装置および角度検出器の校正装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9046384B2 (ja) |
JP (1) | JP5808230B2 (ja) |
DE (1) | DE102012219846A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9423281B2 (en) * | 2012-02-07 | 2016-08-23 | Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. | Self-calibrating single track absolute rotary encoder |
JP7107806B2 (ja) * | 2018-09-28 | 2022-07-27 | 株式会社トプコン | ロータリエンコーダ |
CA3121609A1 (en) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | Harmonic Drive Systems Inc. | Dual absolute encoder |
CN112798015B (zh) * | 2020-12-22 | 2022-10-14 | 上海精密计量测试研究所 | 动态角校准装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6184984B1 (en) * | 1999-02-09 | 2001-02-06 | Kla-Tencor Corporation | System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample |
JP2005114549A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Canon Inc | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 |
DE102004024398B4 (de) * | 2004-05-17 | 2008-05-15 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Vorrichtungen zum Einstellen einer Bestimmungsvorschrift eines Winkelsensors |
JP3826207B2 (ja) | 2004-08-31 | 2006-09-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 自己校正機能付き角度検出器 |
JP4890188B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2012-03-07 | 慧 清野 | 運動誤差測定基準体及び運動誤差測定装置 |
JP4984269B2 (ja) | 2009-11-09 | 2012-07-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 複合自己校正機能付き角度検出器 |
-
2011
- 2011-11-14 JP JP2011249053A patent/JP5808230B2/ja active Active
-
2012
- 2012-10-01 US US13/633,071 patent/US9046384B2/en active Active
- 2012-10-30 DE DE102012219846A patent/DE102012219846A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9046384B2 (en) | 2015-06-02 |
JP2013104788A (ja) | 2013-05-30 |
US20130124128A1 (en) | 2013-05-16 |
DE102012219846A1 (de) | 2013-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5808230B2 (ja) | 角度検出器の自律校正方法、角度検出器、円周目盛校正装置および角度検出器の校正装置 | |
JP5676850B2 (ja) | 回転エンコーダー装置、および、方法 | |
JP4142942B2 (ja) | ロータリエンコーダ | |
US9222806B2 (en) | Encoder | |
JP5620582B2 (ja) | 複数回の回転にわたる入力部材の角度位置を示すよう適合された装置 | |
EP1970672A2 (en) | Position detector | |
JP5695410B2 (ja) | 角度検出装置およびその偏心量推定方法 | |
AU2006336718A1 (en) | Rotary encoder | |
JP2008539407A (ja) | 回転エンコーダ | |
CN103217139B (zh) | 一种基于双测头的角位移传感器在线自标定方法 | |
JP2010112949A (ja) | 位置測定装置及び位置測定装置の動作方法 | |
JP5798824B2 (ja) | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 | |
EP3488187B1 (en) | Magnetic position sensor mounting arrangement | |
WO2019216235A1 (ja) | 角度検出器 | |
JP6341141B2 (ja) | トルクセンサの零点誤差の補正方法 | |
EP2073021A1 (en) | Method and apparatus for monitoring the rotational speed of a shaft | |
JP2006284388A (ja) | ロータリーエンコーダの絶対値検出回路及び方法 | |
JP3720704B2 (ja) | 歯車の偏心等の誤差測定方法およびその装置 | |
CN114034329A (zh) | 一种圆光栅编码器的偏心校正方法 | |
JPH0353114A (ja) | 位置検出装置 | |
JP6543333B2 (ja) | 経過時間t中に発生するイベントを計数する方法、および、関連する機械式イベントカウンタ | |
JP5567451B2 (ja) | バーニア式位置検出装置 | |
JP2002250639A (ja) | 絶対位置検出エンコーダ | |
JP2002168619A5 (ja) | ||
JP4858707B2 (ja) | 変位検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140808 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5808230 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |