JP5806608B2 - 半導体発光装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態の半導体発光装置1の模式断面図である。
図5(a)〜(e)は、半導体層15の第2の面におけるp側電極14が形成される発光領域16の模式平面図である。
図6は、第2実施形態の半導体発光装置2の模式断面図である。
図10(a)〜(f)は、半導体層15の第2の面におけるp側電極14が形成される発光領域16の模式平面図である。
図11は、第3実施形態の半導体発光装置3の模式断面図である。
図12は、第4実施形態の半導体発光装置4の模式断面図である。
図13(a)は、第5実施形態の半導体発光装置5の模式断面図である。
図13(b)は、その半導体発光装置5におけるn側電極80の平面パターンの一例を示す模式平面図である。
Claims (14)
- 第1の面と、その反対側の第2の面と、発光層とを有する半導体層と、
前記第2の面に設けられたp側電極と、
前記p側電極に対して分離して前記半導体層に設けられたn側電極と、
を備え、
前記p側電極は、
前記第2の面に接して前記半導体層に選択的に設けられた複数のコンタクトメタルと、
前記複数のコンタクトメタルの間で前記第2の面に接して前記半導体層に設けられ、前記コンタクトメタルよりも前記発光層が放出する光に対する透過率が高いITO(Indium Tin Oxide)膜である透明膜と、
前記コンタクトメタルに接して前記コンタクトメタル上及び前記透明膜上に設けられた、銀を含む反射メタルと、
を有し、
前記反射メタルにおける前記発光層側の面の面積は、前記複数のコンタクトメタルが前記半導体層と接する面積の総和よりも大きく、
前記半導体層と、前記反射メタルとの間において、前記透明膜は前記コンタクトメタルが設けられていない部分のみに設けられた半導体発光装置。 - 前記透明膜の前記半導体層側の面の面積は、前記複数のコンタクトメタルが前記半導体層と接する面積の総和よりも大きく、前記透明膜の前記反射メタル側の面の面積は、前記複数のコンタクトメタルが前記反射メタルと接する面積の総和よりも大きい請求項1記載の半導体発光装置。
- 前記コンタクトメタルは、ニッケル、金およびロジウムのうちの少なくとも1つを含む請求項1または2に記載の半導体発光装置。
- 前記コンタクトメタルと、前記半導体層のうち前記コンタクトメタルと接触する部分の半導体とのショットキーバリアハイトは、前記半導体と前記反射メタルとのショットキーバリアハイトよりも小さい請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記コンタクトメタルは、前記反射メタルよりも、前記発光層が放出する光に対する反射率が低い請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記反射メタルと前記半導体層との間の前記コンタクトメタルの膜厚と、前記反射メタルと前記半導体層との間の前記透明膜の膜厚とが、ほぼ同じである請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記反射メタルと前記半導体層との間の前記コンタクトメタルの膜厚は、前記反射メタルと前記半導体層との間の前記透明膜の膜厚よりも薄く、
前記透明膜の間の前記コンタクトメタル上に前記反射メタルが設けられている請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光装置。 - 前記第2の面は、前記発光層に対向する発光領域と、前記発光層に対向しない非発光領域とを有し、
前記p側電極は前記第2の面における前記発光領域に設けられ、前記n側電極は前記第2の面における前記非発光領域に設けられた請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体発光装置。 - 前記複数のコンタクトメタルが前記半導体層と接する面積の総和は、前記第2の面における前記発光領域の面積よりも小さい請求項8記載の半導体発光装置。
- 前記第2の面側に設けられた第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に設けられるとともに、前記第1の絶縁層を貫通する第1のビアを通じて前記p側電極と接続されたp側配線部と、
前記第1の絶縁層上に設けられるとともに、前記第1の絶縁層を貫通する第2のビアを通じて前記n側電極と接続されたn側配線部と、
をさらに備えた請求項8または9に記載の半導体発光装置。 - 前記p側配線部は、
前記第1の絶縁層上に設けられたp側配線層と、
前記p側配線層上に設けられ、前記p側配線層よりも厚いp側金属ピラーと、
を有し、
前記n側配線部は、
前記第1の絶縁層上に設けられたn側配線層と、
前記n側配線層上に設けられ、前記n側配線層よりも厚いn側金属ピラーと、
を有する請求項10記載の半導体発光装置。 - 前記p側配線部と前記n側配線部との間に設けられた第2の絶縁層をさらに備えた請求項10または11に記載の半導体発光装置。
- 前記第1の絶縁層は、前記半導体層の前記第1の面から続く側面を覆っている請求項10〜12のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記n側配線層と前記n側金属ピラーとの接続面積は、前記n側配線層と前記n側電極との接続面積よりも大きい請求項11〜13のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
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