JP2014022607A - 発光素子、発光素子ユニットおよび発光素子パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光素子1は、n型窒化物半導体層3と、n型窒化物半導体層3に積層された発光層4と、発光層4に積層されたp型窒化物半導体層5と、n型窒化物半導体層3に接続されたn型電極35と、p型窒化物半導体層5に接続されたp側透明導電膜6を有するp型電極40とを含む。n型電極35は、金属膜36を含む。金属膜36は、p型窒化物半導体層5の主面5Aに垂直な方向から見た平面視においてp側透明導電膜6と重なり合い、Agを含む。
【選択図】図2
Description
この発明は、Agを含む層におけるAgのマイグレーションを抑制することができ、光の取り出し効率が高い発光素子、これを含む発光素子ユニットおよび発光素子ユニットを樹脂パッケージで覆った発光素子パッケージを提供する。
請求項6記載の発明は、前記n型電極が、前記Agを含む金属膜と前記n型窒化物半導体層との間に配置されたn側透明導電膜をさらに有している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の発光素子である。この構成によれば、Agを含む金属膜で反射した光を、n側透明導電膜を透過させてn型窒化物半導体層から放出させることができる。
請求項10記載の発明は、前記p側外部接続部が、Auを含む金属からなる、請求項4または8に記載の発光素子である。この構成によれば、p側外部接続部における導電性を高めることができる。
請求項12記載の発明のように、主面を有するサブマウント基板と、前記p型窒化物半導体層を前記サブマウント基板の主面に対向させて当該サブマウント基板に接合された前記発光素子とを含む、発光素子ユニットを構成することができる。また、請求項13記載の発明のように、前記発光素子ユニットと、前記発光素子ユニットを収容した樹脂パッケージとを含む、発光素子パッケージを構成することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る発光素子1の模式的な平面図である。図2は、図1の切断面線II−IIにおける断面図である。図3は、図1の切断面線III−IIIにおける断面図である。図4は、発光素子1の模式的な斜視図である。
発光素子1は、透明基板2と、n型窒化物半導体層3と、発光層4と、p型窒化物半導体層5と、n型電極35と、p型電極40と、絶縁膜8と、絶縁管層9と、バリア層15と、接合層16とを備えている。n型電極35は、n型窒化物半導体層3に接続されており、n側外部接続部10と、金属膜36と、第1コンタクト11と、n側ストップメタル37と、n側透明導電膜18とを有している。p型電極40は、p型窒化物半導体層5に接続されており、p側透明導電膜6と、p側外部接続部12と、第2コンタクト13と、p側ストップメタル14とを有している。
透明基板2は、発光層4の発光波長(たとえば450nm)に対して透明な材料(たとえばサファイア、GaNまたはSiC)からなり、所定の厚さを有している。透明基板2は、その厚さ方向から見た平面視において、図2における左右方向に長手方向を有し、図2における奥行き方向に短手方向を有する矩形形状に形成されている(図1参照)。透明基板2の長手方向寸法は、たとえば、約1000μmであり、透明基板2の短手方向寸法は、たとえば、約500μmである。透明基板2では、図2における下面が表面2Aであり、図2における上面が裏面2Bである。表面2Aは、光が取り出される光取出し面である。裏面2Bは、透明基板2におけるn型窒化物半導体層3との接合面である。透明基板2の裏面2Bには、n型窒化物半導体層3側へ突出する凸部17が複数形成されている。複数の凸部17は、離散配置されている。具体的には、複数の凸部17は、透明基板2の裏面2Bにおいて、互いに間隔を空けて行列状に配置されていてもよいし、千鳥状に配置されていてもよい。各凸部17は、SiNで形成されていてもよい。
複数の絶縁管層9は、図1に示すように、平面視において交差する2方向(透明基板2の長手方向および短手方向)に沿って行列状に規則配列されていてもよいし、平面視で千鳥状に配列されていてもよい。この実施形態では、絶縁管層9の数は、15であり、3行5列の行列状に配置されている。この場合、行方向が透明基板2の短手方向に一致し、列方向が透明基板2の長手方向に一致している。
p側ストップメタル14は、p側透明導電膜6の表面6Aにおいて、平面視で各第2コンタクト13と一致する位置に積層されており、平面視において第2コンタクト13よりも大きく形成されている。p側ストップメタル14は、導電性材料で形成されており、具体的には、Cr(クロム)およびPt(白金)をp側透明導電膜6側からこの順番で積層することで構成されている。p側ストップメタル14は、p側透明導電膜6と第2コンタクト13(p側外部接続部12)との間に配置されていて、p側外部接続部12の材料がp側透明導電膜6に拡散することを防止している。第2コンタクト13は、p側ストップメタル14を介してp側透明導電膜6に接続されている。そのため、第2コンタクト13につながったp側外部接続部12は、第2コンタクト13およびp側ストップメタル14を介して、p側透明導電膜6に電気的に接続されている。
接合層16は、n側外部接続部10上のバリア層15上に、n側外部接続部10と同一パターンで積層されているとともに、p側外部接続部12上のバリア層15上に、p側外部接続部12と同一パターンで積層されている。接合層16は、たとえば、Ag、TiもしくはPtまたはこれらの合金からなる。接合層16は、半田またはAuSn(金錫)からなってもよい。この実施形態では、接合層16は、AuSnからなる。バリア層15によって、接合層16からn側外部接続部10およびp側外部接続部12へのSn(錫)の拡散が抑えられている。
まず、図5Aに示すように、透明基板2の裏面2Bに、SiNからなる層(SiN層)を形成し、レジストパターン(図示せず)をマスクとするエッチングにより、このSiN層を、複数の凸部17に分離する。次いで、透明基板2を反応容器(図示せず)内に配置して反応容器内にガス(シランガス等)を流すことによって、透明基板2の裏面2B上に半導体層をエピタキシャル成長させる処理が行われる。その際、ガスの流量比を変えることで、透明基板2の裏面2B上に、n型窒化物半導体層3、発光層4およびp型窒化物半導体層5を、この順番で連続的に形成することができる。
次いで、図5Eに示すように、p側透明導電膜6上およびp側ストップメタル14上に、たとえばCVD法によって、SiNからなる層(SiN層)26を形成する。SiN層26は、各トレンチ25内に埋め尽くされるとともに、平面視における発光層4、p型窒化物半導体層5およびp側透明導電膜6のそれぞれの外側端面と、n型窒化物半導体層3の段付部分3Cとを全域に亘って覆うように形成される。SiN層26において、p側透明導電膜6上およびp側ストップメタル14上にある部分は、絶縁膜8の間隔充填部8Aとなる。SiN層26において、平面視における発光層4、p型窒化物半導体層5およびp側透明導電膜6のそれぞれの外側端面と、n型窒化物半導体層3の段付部分3Cとを覆っている部分は、延設部8Cとなる。また、SiN層26において、トレンチ25内に埋め込まれた部分は、絶縁管層9を形成することになる。
次いで、レジストパターン27をマスクとするドライエッチングにより、絶縁膜8(間隔充填部8A)と、各トレンチ25内のSiN層26とを選択的に除去する。これにより、平面視においてレジストパターン27の各開口28と一致する位置の絶縁膜8およびSiN層26がレジストパターン27側から除去される。このドライエッチングの条件は、各トレンチ25の底面のn側透明導電膜18がエッチングされない条件になっている。そのため、各開口28におけるエッチングは、トレンチ25の底面におけるn側透明導電膜18の手前でストップする。これにより、平面視においてレジストパターン22の各開口28と一致する位置には、絶縁膜8およびSiN層26を貫通してn側透明導電膜18まで到達するトレンチ30が形成される。
次いで、図5Hに示すように、レジストパターン(図示せず)をマスクとするエッチングにより、間隔充填部8A上のAg層33をパターニングする。これにより、間隔充填部8A上のAg層33は、貫通穴39を有する金属膜36となる。
次いで、図5Iに示すように、n側ストップメタル37上、金属膜36上(n側ストップメタル37からはみ出た領域)および間隔充填部8A上(金属膜36からはみ出た領域)に、たとえばCVD法によって、SiNからなる層(SiN層)26を形成する。SiN層26は、平面視におけるn側ストップメタル37および金属膜36のそれぞれの外側端面を覆い、金属膜36の貫通穴39を埋め尽くすように形成される。SiN層26において、金属膜36上およびn側ストップメタル37上にある部分は、絶縁膜8の表面被覆部8Bとなる。これにより、絶縁膜8が完成する。
開口43におけるエッチングは、n側ストップメタル37で停止する。つまり、n側ストップメタル37が、その直下にある金属膜36をドライエッチングから保護するので、金属膜36までエッチングされてしまうことを防止できる。その結果、平面視においてレジストパターン42の開口43と一致する位置には、絶縁膜8を貫通して金属膜36まで到達するトレンチ44が形成される。
次いで、バリア層15上の全域に、たとえば電解めっき法によって、AuSnからなる層(AuSn層)を形成する。AuSn層は、接合層16である。
前述したように、絶縁膜8上にAu層32を形成する際に(図5K参照)、各トレンチ31内にAu層32を埋め尽くすと、絶縁膜8には、各トレンチ31の跡90が凹みとなって現れ、最終的には、第2電極12上の接合層16の接合面16Aにも現れる(図4参照)。しかし、複数のトレンチ31は、透明基板2の短手方向において間隔を隔てているので(図1参照)、これらのトレンチ31が1列につながっている場合に比べて、各トレンチ31の跡90は、とても小さく目立たない。そのため、第2電極12上の接合層16の接合面16Aはほとんど平坦になる。
図6に二点鎖線で示すように、発光素子1は、接合層16によってサブマウント50に接合され、発光素子1およびサブマウント50は、発光素子ユニット64を構成する。
サブマウント50は、サブマウント基板51と、絶縁層52と、電極層53と、接合層54とを備えている。
電極層53は、たとえばAlからなる。電極層53は、絶縁層52上において分離された2つの領域に設けられており、図6では、2つの電極層53が、左右に隔てた状態で絶縁層52上に形成されている。2つの電極層53のうち、図6における左側の電極層53を第1マウント電極層53Aといい、図6における右側の電極層53を第2マウント電極層53Bということにする。第1マウント電極層53Aと第2マウント電極層53Bとは、第1電極11および第2電極12の間隔とほぼ等しい間隔、たとえば、60μm程度の間隔を隔てて分離絶縁されて配置されている。
平面視において、第1マウント電極層53A上の接合層54は、発光素子1のn側外部接続部10上の接合層16と同じ大きさであり、第2マウント電極層53B上の接合層54は、発光素子1のp側外部接続部12上の接合層16と同じ大きさである(図1参照)。
図8Aを参照して、発光装置60は、発光素子ユニット64(発光素子1およびサブマウント50)と、支持基板61とを含んでいる。
支持基板61は、絶縁性材料で形成された絶縁基板62と、絶縁基板62の両端から露出するように設けられて、発光素子1と外部とを電気的に接続する金属製の一対のリード63とを有している。絶縁基板62は、たとえば平面視矩形に形成されており、その対向する一対の辺に沿って一対のリード63がそれぞれ帯状に形成されている。各リード63は、絶縁基板62の一対の端縁に沿って、上面から側面を渡って下面に至るように折り返され、横向きU字形断面を有するように形成されている。
発光素子パッケージ70は、図8Aに示した構造の発光装置60と樹脂パッケージ71と封止樹脂72とを含んでいる。
樹脂パッケージ71は、樹脂が充填されたリング状のケースであり、その内側に発光素子ユニット64を収容して(覆って)側方から包囲して保護した状態で、支持基板61に固定されている。樹脂パッケージ71の内壁面は、発光素子ユニット64の発光素子1から出射された光を反射させて外部へ取り出すための反射面71aを形成している。この実施形態では、反射面71aは、内方に向かうに従って支持基板61に近づくように傾斜した傾斜面からなり、発光素子1からの光を光取り出し方向(透明基板2の法線方向)に向かって反射するように構成されている。
図9には、支持基板61上に一つの発光素子ユニット64が実装されている構造を示したが、むろん、支持基板61上に複数個の発光素子ユニット64が共通に実装されていて、それらが封止樹脂72によって共通に封止されていてもよい。
また、図5Jで説明した絶縁膜8のドライエッチングの際、エッチング条件に応じて、n側ストップメタル37およびp側ストップメタル14(特にn側ストップメタル37)を省略することもできる。
これから述べる発光素子100において、前述した発光素子1で説明した部分と対応する部分には、同一の参照符号を付し、当該部分についての詳しい説明を省略する。前述したn側透明導電膜18(図2参照)は、図10に示す発光素子100のように、省略され、各第1コンタクト11がn型窒化物半導体層3に直接接続されていてもよい。
2 透明基板
3 n型窒化物半導体層
4 発光層
5 p型窒化物半導体層
5A 主面
6 p側透明導電膜
8 絶縁膜
8A 間隔充填部
8B 表面被覆部
10 n側外部接続部
12 p側外部接続部
14 p側ストップメタル
18 n側透明導電膜
35 n型電極
36 金属膜
36A 表面
37 n側ストップメタル
40 p型電極
51 サブマウント基板
51A 主面
64 発光素子ユニット
70 発光素子パッケージ
71 樹脂パッケージ
100 発光素子
Claims (13)
- n型窒化物半導体層と、
前記n型窒化物半導体層に積層された発光層と、
前記発光層に積層されたp型窒化物半導体層と、
前記n型窒化物半導体層に接続されたn型電極と、
前記p型窒化物半導体層に接続されたp側透明導電膜を有するp型電極とを含み、
前記n型電極が、前記p型窒化物半導体層の主面に垂直な方向から見た平面視において前記p側透明導電膜と重なり合い、Agを含む金属膜を含む、発光素子。 - 前記p側透明導電膜と前記Agを含む金属膜とが積層方向に間隔を開けて対向しており、
前記p側透明導電膜と前記Agを含む金属膜との間隔を充填する間隔充填部を有し、前記n型電極および前記p型電極を互いに絶縁する絶縁膜をさらに含む、請求項1に記載の発光素子。 - 前記絶縁膜が、前記Agを含む金属膜の前記p型窒化物半導体層とは反対側の表面を覆う表面被覆部をさらに有しており、
前記n型電極が、前記Agを含む金属膜に接続され、前記表面被覆部上に露出したn側外部接続部をさらに有している、請求項2に記載の発光素子。 - 前記p型電極が、前記表面被覆部上に露出したp側外部接続部を有している、請求項3に記載の発光素子。
- 前記絶縁膜が、SiO2、SiONおよびSiNのうちの一種以上を含む、請求項2〜4のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記n型電極が、前記Agを含む金属膜と前記n型窒化物半導体層との間に配置されたn側透明導電膜をさらに有している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記n型電極が、外部接続のためのn側外部接続部と、前記n側外部接続部と前記Agを含む金属膜との間に配置されるn側ストップメタルとを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記p型電極が、外部接続のためのp側外部接続部と、前記p側外部接続部と前記p側透明導電膜との間に配置されるp側ストップメタルとをさらに含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記n側外部接続部が、Auを含む金属からなる、請求項3または7に記載の発光素子。
- 前記p側外部接続部が、Auを含む金属からなる、請求項4または8に記載の発光素子。
- 透明基板をさらに含み、
前記n型窒化物半導体層が前記透明基板上に積層されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載の発光素子。 - 主面を有するサブマウント基板と、
前記p型窒化物半導体層を前記サブマウント基板の主面に対向させて当該サブマウント基板に接合された請求項1〜11のいずれか一項に記載の発光素子とを含む、発光素子ユニット。 - 請求項12に記載の発光素子ユニットと、前記発光素子ユニットを収容した樹脂パッケージとを含む、発光素子パッケージ。
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