JP5799047B2 - 半導体装置、及びその製造方法 - Google Patents
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Description
ここで、トレンチゲート電極とフィールドプレート電極とでは最適ピッチ寸法が異なるものとなる。そのため、トレンチゲート電極とフィールドプレート電極とを設けるための深さ寸法の長いトレンチと、トレンチゲート電極を設けるための深さ寸法の短いトレンチと、を交互に、且つ、互いに平行となるように設けたパワーMOSFETが提案されている。
しかしながら、深さ寸法の長いトレンチと、深さ寸法の短いトレンチと、を別々に形成する際の位置合わせが難しく、生産性の観点から改善の余地がある。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、各図中における矢印X、矢印Y、および矢印Zは互いに直交する三方向を表しており、例えば、矢印Xと矢印Yは基板11の面に平行な方向、矢印Zは基板11の面に垂直な方向(積層方向)を表している。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して述べたものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1〜図3(d)は、第1の実施形態に係る半導体装置1を例示するための模式図である。
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置1を上から見た図である。
図2は、図1におけるA部の模式拡大図である。ただし、図2においては、ソース電極8と、トレンチゲート電極3の上面に設けられたゲート絶縁膜4を省略している。すなわち、図2は、図3(a)におけるF−F断面図である。
図3(a)は、図2におけるB−B断面図である。
図3(b)は、図2におけるC−C断面図である。
図3(c)は、図2におけるD−D断面図である。
図3(d)は、図2におけるE−E断面図である。
基板11は、例えば、n+形(第1導電形の一例に相当する)の半導体から形成されている。n+形の半導体は、例えば、シリコン(Si)にリン(P)などのドナーが導入されたものである。この場合、ドナー濃度は、例えば、1×1019cm−3以上である。
トレンチ9は、ソース領域5を貫通し、ドリフト層2に到達している。トレンチ9は、ソース領域5の表面に開口し、X方向(第2方向の一例に相当する)に延びている。トレンチ9は、所定の間隔をおいて複数設けられている。
また、トレンチ10は、ソース領域5の表面に開口し、Y方向(第1方向の一例に相当する)に延びている。トレンチ10は、所定の間隔をおいて複数設けられている。
なお、複数のトレンチ9が延びる方向と、複数のトレンチ10の延びる方向とが直交する場合を例示したが、所定の角度で交わるものであってもよい。すなわち、複数のトレンチ9が延びる方向と、複数のトレンチ10が延びる方向とが交差していればよい。
なお、複数のトレンチゲート電極3が延びる方向と、複数のトレンチソース電極6が延びる方向とが直交する場合を例示したが、所定の角度で交わるようにしてもよい。すなわち、複数のトレンチゲート電極3が延びる方向と、複数のトレンチソース電極6が延びる方向とが交差していればよい。
また、ソース電極8を覆うように図示しない保護膜を設けることもできる。保護膜は、例えば、ポリイミド(PI)、永久レジスト、P−SiN、P−SiOなどから形成することができる。保護膜は、ソース電極8を保護するために設けられる。保護膜は、必要に応じて設けるようにすることができる。
また、複数のトレンチ9のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチ10のピッチ寸法を設定することができる。すなわち、複数のトレンチゲート電極3のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチソース電極6のピッチ寸法を設定することができる。そのため、複数のトレンチゲート電極3および複数のトレンチソース電極6に対して、それぞれの最適ピッチ寸法を設定することが可能となる。
図4〜図5(d)は、第2の実施形態に係る半導体装置1aを例示するための模式図である。
第2の実施形態に係る半導体装置1aを上から見た図は、前述した図1と同様とすることができる。
図4は、図1におけるA部に相当する部分の模式拡大図である。ただし、図4においては、ソース電極8と、トレンチゲート電極3の上面に設けられたゲート絶縁膜4を省略している。すなわち、図4は、図5(a)におけるF−F断面図である。
図5(a)は、図4におけるB−B断面図である。
図5(b)は、図4におけるC−C断面図である。
図5(c)は、図4におけるD−D断面図である。
図5(d)は、図4におけるE−E断面図である。
また、前述した半導体装置1と同様に、ベース領域13や、ソース電極8を覆う図示しない保護膜などを設けることもできる。
また、複数のトレンチ9のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチ10のピッチ寸法を設定することができる。すなわち、複数のトレンチゲート電極3のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチソース電極6aのピッチ寸法を設定することができる。そのため、複数のトレンチゲート電極3および複数のトレンチソース電極6aに対して、それぞれの最適ピッチ寸法を設定することが可能となる。
また、トレンチゲート電極3とトレンチソース電極6aとがZ方向に離隔して設けられているので、ゲート・ソース間容量を低減させることができる。
図6(a)〜図13(e)は、第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示するための模式工程断面図である。
各図(a)は、半導体装置が製造される過程を上から見た図である。
各図(b)は、それぞれの図(a)におけるB−B断面図である。
各図(c)は、それぞれの図(a)におけるC−C断面図である。
各図(d)は、それぞれの図(a)におけるD−D断面図である。
各図(e)は、それぞれの図(a)におけるE−E断面図である。
なお、図6(a)〜図13(e)は、前述した半導体装置1の製造方法を例示するものである。
続いて、ドリフト層2の上面に酸化膜17を形成する。酸化膜17は、例えば、熱酸化法などを用いて形成することができる。
続いて、ドリフト層2に、Y方向に延びる複数のトレンチ10を形成する。トレンチ10は、例えば、フォトリソグラフィ法を用いて所望の開口部を有するレジストマスクを形成し、RIE(Reactive Ion Etching)法などを用いてレジストマスクの開口部に露出しているドリフト層2をエッチングすることで形成することができる。トレンチ10の深さ寸法は、後述するトレンチ9の深さ寸法よりも長くなるようにされる。
続いて、トレンチ10の内壁に絶縁膜7を形成する。絶縁膜7は、例えば、熱酸化法などを用いて形成することができる。
なお、複数のトレンチ9が延びる方向と、複数のトレンチ10の延びる方向とが直交する場合を例示したが、所定の角度で交わるものであってもよい。すなわち、複数のトレンチ9が延びる方向と、複数のトレンチ10が延びる方向とが交差していればよい。
この際、図9(d)に示すように、絶縁膜7のドリフト層2から突出した部分も除去する。
続いて、トレンチ9の内部の絶縁膜4aの上に多結晶シリコンを成膜し、トレンチ9の内部に多結晶シリコンを埋め込む。多結晶シリコンの成膜は、例えば、CVD法を用いて行うことができる。
続いて、トレンチ9の内部に埋め込まれた多結晶シリコンの上面をエッチバックしてトレンチゲート電極3を形成する。すなわち、トレンチ9の内部に、X方向に延びるトレンチゲート電極3を形成する。
例えば、CVD法を用いて、ドリフト層2の上面を覆うように酸化シリコンなどからなる膜を成膜し、ドリフト層2の上面が露出するまでエッチバックすることで、トレンチ9の内部に埋め込まれたゲート絶縁膜4を形成することができる。
例えば、ドリフト層2、ゲート絶縁膜4、およびトレンチソース電極6の上に絶縁膜19を形成する。絶縁膜19は、例えば、酸化シリコンから形成することができる。絶縁膜19の厚みは、イオン注入時に不純物イオンが透過できる厚みとされる。
続いて、例えば、フォトリソグラフィ法を用いて、ソース領域5に対応する位置に開口部を有するレジストマスクを形成し、レジストマスクの開口部を介して不純物イオンを注入する。
続いて、アニール処理を施して、注入された不純物の活性化を行いソース領域5を形成する。
絶縁膜19の除去は、例えば、RIE法を用いて行うことができる。
ソース電極8、およびゲート電極14は、ドリフト層2のソース領域5を形成した側に形成する。
ドレイン電極12は、ドリフト層2のソース領域5を形成した側とは反対側に形成する。
ソース電極8、ドレイン電極12、およびゲート電極14の形成は、例えば、スパッタリング法を用いて行うことができる。
以上のようにして、半導体装置1を製造することができる。
また、複数のトレンチ9のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチ10のピッチ寸法を設定することができる。すなわち、複数のトレンチゲート電極3のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチソース電極6のピッチ寸法を設定することができる。そのため、複数のトレンチゲート電極3および複数のトレンチソース電極6に対して、それぞれの最適ピッチ寸法を設定することが可能となる。
図14(a)〜図21(e)は、第4の実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示するための模式工程断面図である。
各図(a)は、半導体装置が製造される過程を上から見た図である。
各図(b)は、それぞれの図(a)におけるB−B断面図である。
各図(c)は、それぞれの図(a)におけるC−C断面図である。
各図(d)は、それぞれの図(a)におけるD−D断面図である。
各図(e)は、それぞれの図(a)におけるE−E断面図である。
なお、図14(a)〜図21(e)は、前述した半導体装置1aの製造方法を例示するものである。ただし、処理方法の違いなどによりトレンチゲート電極3の断面形状などが図5に例示をしたものと異なっている。
続いて、ドリフト層2の上面に酸化膜17を形成する。酸化膜17は、例えば、熱酸化法などを用いて形成することができる。
続いて、Y方向に延びる複数のトレンチ10を形成する。トレンチ10は、例えば、フォトリソグラフィ法を用いて所望の開口部を有するレジストマスクを形成し、RIE(Reactive Ion Etching)法などを用いてレジストマスクの開口部に露出しているドリフト層2をエッチングすることで形成することができる。トレンチ10の深さ寸法は、後述するトレンチ9の深さ寸法よりも長くなるようにされる。
続いて、トレンチ10の内壁に絶縁膜7aの一部となる絶縁膜27を形成する。絶縁膜27は、例えば、熱酸化法などを用いて形成することができる。
続いて、トレンチ10の内部に埋め込まれた多結晶シリコンの上面をエッチバックしてトレンチソース電極6aを形成する。
この様に、トレンチ10の内部に、Y方向に延びるトレンチソース電極6aを形成する工程において、後述するソース領域5の表面からトレンチソース電極6aの上端までの寸法が、ソース領域5の表面から後述するトレンチゲート電極3の下端までの寸法よりも長いトレンチソース電極6aが形成される。
また、CVD法を用いてマスク18を形成する際に、トレンチ10の内部にも絶縁膜7aの一部となる絶縁膜27aが埋め込まれる。
なお、複数のトレンチ9が延びる方向と、複数のトレンチ10の延びる方向とが直交する場合を例示したが、所定の角度で交わるものであってもよい。すなわち、複数のトレンチ9が延びる方向と、複数のトレンチ10が延びる方向とが交差していればよい。
この際、図17(c)、(d)、(e)に示すように、絶縁膜27aの露出部分の一部も除去される。
続いて、トレンチ9の内部の絶縁膜4aの上に多結晶シリコンを成膜し、トレンチ9の内部に多結晶シリコンを埋め込む。多結晶シリコンの成膜は、例えば、CVD法を用いて行うことができる。
続いて、トレンチ9の内部に埋め込まれた多結晶シリコンの上面をエッチバックしてトレンチゲート電極3を形成する。
例えば、CVD法を用いて、ドリフト層2の上面を覆うように酸化シリコンなどからなる膜を成膜し、ドリフト層2の上面が露出するまでエッチバックすることで、トレンチ9の内部に埋め込まれたゲート絶縁膜4を形成することができる。
この際、トレンチ10の内部の絶縁膜27aの上方にも酸化シリコンなどが埋め込まれ、トレンチ10の内部に絶縁膜7aが埋め込まれる。
例えば、ドリフト層2とゲート絶縁膜4の上に絶縁膜19を形成する。絶縁膜19は、例えば、酸化シリコンから形成することができる。絶縁膜19の厚みは、イオン注入時に不純物イオンが透過できる厚みとされる。
続いて、例えば、フォトリソグラフィ法を用いて、ソース領域5に対応する位置に開口部を有するレジストマスクを形成し、レジストマスクの開口部を介して不純物イオンを注入する。
続いて、アニール処理を施して、注入された不純物の活性化を行いソース領域5を形成する。
絶縁膜19の除去は、例えば、RIE法を用いて行うことができる。
ソース電極8、およびゲート電極14は、ドリフト層2のソース領域5を形成した側に形成する。
ドレイン電極12は、ドリフト層2のソース領域5を形成した側とは反対側に形成する。
ソース電極8、ドレイン電極12、およびゲート電極14の形成は、例えば、スパッタリング法を用いて行うことができる。
以上のようにして、半導体装置1aを製造することができる。
また、複数のトレンチ9のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチ10のピッチ寸法を設定することができる。すなわち、複数のトレンチゲート電極3のピッチ寸法に関わりなく、複数のトレンチソース電極6のピッチ寸法を設定することができる。そのため、複数のトレンチゲート電極3および複数のトレンチソース電極6に対して、それぞれの最適ピッチ寸法を設定することが可能となる。
Claims (6)
- 第1導電形の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上に設けられた第1電極と、
前記第1半導体層と前記第1電極との間に位置し、第1方向にのみ延び、前記第1方向に交差する第2方向において前記第1半導体層に挟まれ、且つ前記第1電極と電気的に接続された第2電極と、
前記第1半導体層と前記第1電極との間に位置し、前記第2方向にのみ延び、前記第1方向において前記第1半導体層に挟まれ、且つ前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向における寸法が、前記第2電極の前記第3方向における寸法よりも短い第3電極と、
前記第1半導体層と、前記第2電極及び前記第3電極と、の間に位置する絶縁膜と、
を備えた半導体装置。 - 前記第1電極から前記第2電極の上端までの寸法は、前記第1電極から前記第3電極の下端までの寸法よりも長い請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1半導体層と、前記第1電極と、の間に位置する第1導電形の第2半導体層をさらに備え、
前記第2半導体層の不純物濃度は、前記第1半導体層の不純物濃度よりも高い請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第1半導体層と、前記第2半導体層と、の間に位置する第2導電形の第3半導体層をさらに備えた請求項3記載の半導体装置。
- 第1導電形の第1半導体層に、第1方向にのみ延びる第1トレンチを形成する工程と、
前記第1トレンチの内部に、第2電極を形成する工程と、
前記第1方向に交差する第2方向にのみ延びる第2トレンチを形成する工程と、
前記第2トレンチの内部に、前記第1方向において前記第1半導体層に挟まれ、且つ前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向における寸法が、前記第2電極の前記第3方向における寸法よりも短い第3電極を形成する工程と、
前記第1半導体層の上に第1電極を形成する工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記第1トレンチの内部に、第2電極を形成する工程において、前記第1電極から前記第2電極の上端までの寸法が、前記第1電極から前記第3電極の下端までの寸法よりも長い前記第2電極が形成される請求項5記載の半導体装置の製造方法。
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