JP5790410B2 - 有機el装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、下地層(7)としてオキシビフェニル系もしくは直鎖化合物を用いることで、アモルファス性が高くなり、メルト性を向上させることができる。
さらに、請求項1に記載の発明では、下地層(7)は、1Paでの蒸発温度が有機EL層(3)の構成材料のガラス転位温度以上であることを特徴としている。
下地層(7)を形成する工程がバリア層(8)を形成する工程で用いられるチャンバー内で減圧雰囲気において行われることがある。このような場合には、その減圧雰囲気、具体的には1Paでの蒸発温度が有機EL層(3)の構成材料のガラス転位温度以上の構成材料によって下地層(7)を形成するようにすれば、真空溶融中に昇華しないようにできる。
図1は、本実施形態にかかる有機EL装置の断面図である。この図を参照して、本実施形態にかかる有機EL装置の構成について説明する。
まず、ガラス基板などによって構成される基板1を用意し、この基板1の表面上に、所望のマスクを用いてITO膜などからなる下部電極2を形成する。続いて、所望のマスクを用いて画素毎に各下部電極2を分離するように樹脂にて構成される絶縁膜5および隔壁6を形成する。そして、所望のマスクを用いて絶縁膜4および隔壁5によって区画された画素毎にTBTB(ガラス転位温度131.8℃)にて構成される正孔輸送層およびAlq3(ガラス転位温度167℃)にて構成される発光層を含む有機EL層3およびLiF/Alにて構成される上部電極4を蒸着により成膜することで有機EL素子を構成すると共に、例えばフェニル基を持つ化合物もしくは炭化水素系材料のような熱の印加によって流動性を発現する材料にて構成される下地層7を蒸着もしくは塗布により成膜する。このとき、有機EL層3や上部電極4および下地層7は、隔壁6の表面上にも同時に形成されるが、隔壁6などの凹凸部分において下地層7が形成されていない部分が生じた状態になっている。
下地層7に対して熱を印加し、下地層7に流動性を発現させる工程を行う。これにより、下地層7の流動性に基づいて下地層7が平坦化させられ、有機EL素子および隔壁6上や隔壁6による凹凸部分など、被覆したい領域の全域が下地層7によって被覆される。
続いて、平坦化された下地層7の表面上にバリア層8を形成する工程を行う。具体的には、ALDチャンバー内に各層を形成した基板1を接地し、ALDチャンバー内を例えば1Paの減圧雰囲気にすると共に80〜90℃に加熱し、TMAとH2Oを導入してこれらを反応させることによって酸化アルミを形成することでバリア層8を形成する。上記図2(b)に示す工程において、下地層7の平坦化工程をALDチャンバー内で行った場合には、そのまま80〜90℃の温度に制御した後でTMAとH2Oを導入することで、バリア層8を形成するようにしている。
上記実施形態では、有機EL素子が備えられた有機EL装置の一例について説明したが、上記実施形態とは異なる構造や材料によって構成される有機EL素子を有する有機EL装置に対しても、本発明を適用することができる。すなわち、下部電極2と発光層を含む有機EL層3と上部電極4とを有する有機EL素子を備え、この有機EL素子を下地層7およびバリア層8を有する封止膜によって封止した有機EL装置であれば、どのような構造のものであっても構わない。例えば、下地層7やバリア層8は1層構造でなくても良く、複数層の積層構造であっても良い。
2 下部電極
3 有機EL層
4 上部電極
5 絶縁膜
6 隔壁
7 下地層
8 バリア層
Claims (4)
- 下部電極(2)と、
前記下部電極(2)の上に形成された発光層を含む有機EL層(3)と、
前記有機EL層(3)の上に形成された上部電極(4)とを有してなる有機EL素子を有し、
前記有機EL素子が封止膜(7、8)によって被覆された有機EL装置であって、
前記封止膜(7、8)は、有機材料にて構成された下地層(7)と該下地層(7)の上に形成された無機材料にて構成されたバリア層(8)とを含み、
前記下地層(7)は、前記有機EL層(3)のガラス転位温度以下で流動性を発現する材料であるオキシビフェニル系もしくは直鎖化合物によって構成されており、かつ、1Paでの蒸発温度が前記有機EL層(3)の構成材料のガラス転位温度以上であることを特徴とする有機EL装置。 - 前記上部電極(4)は蒸着によって構成されており、
前記上部電極(4)を画素毎に絶縁する隔壁(6)を有していることを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置。 - 下部電極(2)と、
前記下部電極(2)の上に形成された発光層を含む有機EL層(3)と、
前記有機EL層(3)の上に形成された上部電極(4)とを有してなる有機EL素子を有し、
前記有機EL素子が封止膜(7、8)によって被覆された有機EL装置の製造方法であって、
前記封止膜(7、8)の形成工程として、有機材料にて構成される下地層(7)を形成する工程と、所定温度での原子層堆積法により、前記下地層(7)の上に無機材料にて構成されるバリア層(8)を形成する工程とを行い、
前記下地層(7)を形成する工程では、前記バリア層(8)の形成温度以上かつ前記有機EL層(3)のガラス転位温度以下で流動性を発現する材料となるオキシビフェニル系もしくは直鎖化合物によって前記下地層(7)を形成し、
前記バリア層(8)を形成する工程は、チャンバー内を1Paの減圧雰囲気にして原子層堆積法によって前記バリア層(8)を形成する工程であり、
前記下地層(7)を形成する工程は前記バリア層(8)を形成する工程で用いられる前記チャンバー内で前記減圧雰囲気において行われ、1Paでの蒸発温度が前記有機EL層(3)の構成材料のガラス転位温度以上の構成材料によって前記下地層(7)を形成する工程であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記上部電極(4)を形成する前に、画素毎に区画する隔壁(6)を形成する工程を有し、
前記上部電極(4)を形成する際には、前記隔壁(6)によって画素毎に区画された領域に前記上部電極(4)を蒸着によって形成することを特徴とする請求項3に記載の有機EL装置の製造方法。
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