JP5576210B2 - 有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
Emitting Diode:OLED)は、自発光型素子であって、厚さを薄くし、可撓性(flexible)ディスプレイなど、応用製品を多様にできる。しかし、このような有機発光表示素子は、外部環境から流入される水分や酸素に露出される場合、素子特性が急に劣化する傾向がある。
Film Transistor)320を形成する。本実施形態では、TFTの一例として、トップゲート方式のTFTを示している。しかし、これとは異なり、他の構造のTFTが備えられうる。
Light Emitting Diode Display:OLED)の一電極である第1電極331が形成され、コンタクトホール330を通じてソースまたはドレイン電極323と電気的に連結される。
Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、ZnOまたはIn2O3で備えうる。反射型電極として備えられる時には、Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Crまたはこれらの化合物で形成された反射膜と、ITO、IZO、ZnOまたはIn2O3で形成された透明膜と、を備えうる。第2電極333も、透明電極または反射型電極として備えられうるが、透明電極として備えられる時には、Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Mgまたはこれらの化合物が中間層に向かって蒸着して形成された膜と、その上のITO、IZO、ZnOまたはIn2O3などの透明な導電性物質で形成された補助電極やバス電極ラインとを備えうる。そして、反射型電極として備えられる時には、前記のLi、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Mg及びこれらの化合物で形成されうる。
Dioxythiophene)を使用し、発光層としてPPV(Poly−Phenylene Vinylene)系及びポリフルオレン系などの高分子有機物質を使用する。
120 基板
140 ディスプレイ部
200 封止膜
DA 発光領域
NDA 非発光領域
200a,200b,200c 多層膜
Claims (11)
- 基板と、
前記基板上に形成されたディスプレイ部と、
前記ディスプレイ部と前記ディスプレイ部周辺の非発光領域とを覆い、中央部からエッジ部に行くほど密度及び厚さが増大する封止膜と、
を備えることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置。 - 前記封止膜は、無機膜または有機膜が一層以上に形成されるか、または前記無機膜と前記有機膜とが交互に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の有機発光ディスプレイ装置。
- 前記無機膜は、SiNx、SiOx、AlOx、SiCxNy、SiOxNy、非結晶性炭素、InOx、及びYbOxのうち選択された一つ以上の物質を含むことを特徴とする請求項2に記載の有機発光ディスプレイ装置。
- 前記封止膜は、スパッタ、熱蒸着、CVD、PECVD、IBAD、及びALDのうち選択された一つの工法によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の有機発光ディスプレイ装置。
- 基板を提供する工程と、
前記基板上にディスプレイ部を形成する工程と、
前記ディスプレイ部と前記ディスプレイ部周辺の非発光領域とを覆い、中央部からエッジ部に行くほど密度及び厚さが増大する封止膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。 - 前記封止膜の形成工程は、
前記基板に温度勾配を形成する工程と、
前記温度勾配が形成された基板に封止膜材料を塗布する工程と、を含むことを特徴とする請求項5に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。 - 前記温度勾配の形成工程は、
前記基板に熱線が備えられたマスクを配する工程と、
前記熱線を加熱して前記非発光領域を加熱する工程と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。 - 前記マスクの開口は、前記ディスプレイ部及び前記非発光領域の一部をカバーするサイズを有することを特徴とする請求項7に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
- 前記封止膜の形成工程は、
無機膜または有機膜を一層以上に積層するか、または前記無機膜と前記有機膜とを交互に積層する工程と、を含むことを特徴とする請求項5に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。 - 前記無機膜は、SiNx、SiOx、AlOx、SiCxNy、SiOxNy、非結晶性炭素、InOx、及びYbOxのうち選択された一つ以上の物質を含むことを特徴とする請求項5に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
- 前記封止膜は、スパッタ、熱蒸着、CVD、PECVD、IBAD、及びALDのうち選択された一つの工法によって形成されることを特徴とする請求項5に記載の有機発光ディスプレイ装置の製造方法。
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