JP5770014B2 - フォトマスク及び露光装置 - Google Patents
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Description
先ず、ステップS1において、作業者は、露光開始に当っての事前準備として、使用する複数のフォトマスク10を第1の識別マーク18の色を確認しながらマスクストッカー14に収容する。そして、露光装置の図示省略のマスクストッカー取付部に取り付ける。さらに、露光レシピを制御手段7のメモリ32、例えばHDD等の記録媒体に記録すると共に、マスク保持部2に保持されたフォトマスク10の複数種のパターン領域17a〜17dから選択されるパターン領域17の選択情報、例えばX方向の位置情報を、データ入力部33を操作して入力しメモリ32に保存する。
3…マスクチェンジャー
4…第1の検出手段
5…第2の検出手段
7…制御手段
8…液晶表示用基板(被露光体)
10…フォトマスク
17,17a〜17d…パターン領域
18…第1の識別マーク
19,19a〜19d…第2の識別マーク
IA…照射領域
Claims (7)
- 移動中の被露光体に露光光を照射して露光するために使用するフォトマスクであって、
異なるマスクパターンを形成し、前記被露光体の移動方向と交差する方向に長手中心軸を有して、該長手中心軸が互いに平行となるように前記被露光体の移動方向に並べて設けられた複数種のパターン領域と、
前記複数種のパターン領域外の部分に形成されたマスクの種類を識別するための第1の識別マークと、
前記複数種の各パターン領域を間にしてその両側方の各長手中心軸の軸線上に形成した、前記マスクパターンを識別するための複数種の第2の識別マークと、
を備え、
前記第2の識別マークにより、前記複数種のパターン領域のうちから選択されたパターン領域の、前記マスクパターンの正否の判定を可能にしたことを特徴とするフォトマスク。 - 前記第1の識別マークは、前記マスクの種類毎に色が異なることを特徴とする請求項1記載のフォトマスク。
- 前記複数種の第2の識別マークは、互いに形状が異なるものであることを特徴とする請求項1又は2記載のフォトマスク。
- 前記複数種の第2の識別マークは、メインマークと該メインマークを取り囲む円周上の異なる位置に形成されたサブマークとから成ることを特徴とする請求項1記載のフォトマスク。
- 前記サブマークは、前記マスクパターンのパターン情報を記録したバーコードであることを特徴とする請求項4記載のフォトマスク。
- 前記複数種の第2の識別マークは、互いに色が異なるものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のフォトマスク。
- 被露光体を一定方向に搬送しながら、移動中の前記被露光体に露光光を照射して露光する露光装置であって、
異なるマスクパターンを形成し、前記被露光体の移動方向と交差する方向に長手中心軸を有して、該長手中心軸が互いに平行となるように前記被露光体の移動方向に並べて設けられた複数種のパターン領域と、前記複数種のパターン領域外の部分に形成されたマスクの種類を識別するための第1の識別マークと、前記複数種の各パターン領域を間にしてその両側方の各長手中心軸の軸線上に形成した、前記マスクパターンを識別するための複数種の第2の識別マークと、を備えた複数のフォトマスクを並べて保持するマスク保持部と、
前記マスク保持部に保持される前記複数のフォトマスクを交換するためのマスクチェンジャーと、
前記第1の識別マークを検出する第1の検出手段と、
前記第2の識別マークを検出する第2の検出手段と、
前記第1の検出手段で取得された前記第1の識別マークによりフォトマスクの正否を判定すると共に、前記複数種のパターン領域のうちから一つのパターン領域を選択して光源光の照射領域に位置付け、該選択したパターン領域の前記第2の識別マークを前記第2の検出手段で取得して、前記第2の識別マークにより前記選択されたパターン領域の前記マスクパターンの正否を判定する制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
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