JP5767929B2 - 固体撮像装置及び携帯情報端末装置 - Google Patents
固体撮像装置及び携帯情報端末装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5767929B2 JP5767929B2 JP2011210402A JP2011210402A JP5767929B2 JP 5767929 B2 JP5767929 B2 JP 5767929B2 JP 2011210402 A JP2011210402 A JP 2011210402A JP 2011210402 A JP2011210402 A JP 2011210402A JP 5767929 B2 JP5767929 B2 JP 5767929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- region
- solid
- microlenses
- pixels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 92
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 86
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 58
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 20
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14623—Optical shielding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14632—Wafer-level processed structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14634—Assemblies, i.e. Hybrid structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1は、第1の実施形態に係る固体撮像装置を例示する光学モデル図である。
図2は、第1の実施形態における撮像基板を例示する断面図である。
図3は、第1の実施形態における半導体基板を例示する図であり、(a)は、上面図であり、(b)は、下面図である。
図4(a)は、第1の実施形態におけるマイクロレンズアレイ基板を例示する平面図であり、(b)は、第1の実施形態における撮像基板を例示する上面図である。
図5(a)は、第1の実施形態において、マイクロレンズ毎に結像された画像を例示する図であり、(b)は、これらの画像を画像処理して得られた2次元画像を例示する図である。
撮像基板10の上面11側には、マイクロレンズアレイ基板13が設けられている。マイクロレンズアレイ基板13は、撮像基板10に対して平行に配置されている。また、マイクロレンズアレイ基板13は、透明基板、例えば石英板を用いて形成されている。マイクロレンズアレイ基板13には、複数のマイクロレンズ14がマイクロレンズアレイ基板13の一方の面15に平行な面内において2次元的に配置されている。
複数の画素19の上面20によって、撮像基板10の上面11が形成されている。複数の画素19の裏面21によって、撮像基板10の裏面12が形成されている。
多層配線層29の下方には、支持基板30が設けられている。支持基板30は、多層配線層29を挟んで半導体基板18を下面から支持している。これらp、nの極性は、逆転した構成であっても良い。
一方、図3(b)に示すように、転送トランジスタ26、読出しトランジスタ27及びAD変換回路28は、2行2列に配列された4つの画素19を基本ユニットとして配置されている。すなわち、これらの4つの画素19のうち、1つの画素19の裏面上には、読出しトランジスタ27が形成されている。読出しトランジスタ27が形成された画素19以外の3つの画素19の裏面21に渡って、1つのL字形のAD変換回路28が形成されている。各画素19に一つの転送トランジスタ26が形成されている。転送トランジスタ26は、2行2列に配置された4つの画素19が形成する基本ユニットの4つの角部に配置されている。上記の基本ユニットは、2行2列に限るものではなく、N,Mを自然数としたN行M列を基本ユニットとした場合も同等の構成が可能である。
1個のマイクロレンズ14の大きさは、1個の画素19よりも大きい。マイクロレンズ14の円の大きさと、画素19の大きさとを比較すると、例えば、1個のマイクロレンズ14の大きさは、その円の中に、数十から数百個の画素19が入る大きさである。
このように、マイクロレンズアレイ基板13を透過して集光した光は、撮像基板10の上面において、領域31と領域33とを形成する。
したがって、マイクロレンズアレイ基板13は、遮光部材となる。すなわち、マイクロレンズアレイ基板13の上方から光が照射された場合に、マイクロレンズアレイ基板13によって、遮光される領域33と、遮光されない領域31とが区別される。
円形45aと三角形47とが重なる領域における画素19の集合体を画素ブロック48aという。円形45bと三角形47とが重なる領域における画素19の集合体を画素ブロック48bという。円形45cと三角形47とが重なる領域における画素19の集合体を画素ブロック48cという。画素ブロック48a〜48cに属する画素19は、遮光されない画素19である。
一方、三角形47の内部の領域であって、円形45a〜45cに属さない領域における画素19の集合体を画素ブロック49という。画素ブロック49に属する画素19は、遮光される画素19である。
被写体36からの光を、結像レンズ16を透過させることによって集光し、マイクロレンズアレイ基板13に入射させる。マイクロレンズアレイ基板13に入射した光のうち、マイクロレンズ14に到達した光を、それぞれのマイクロレンズ14を透過させてマイクロレンズ14ごとに集光し、撮像基板10の上面11において、マイクロレンズ14ごとに結像させる。
このように、三角形47の内部に配置された複数の画素19を1つの単位として、光電変換素子22によって蓄積された電荷を、AD変換回路28によってデジタル信号に変換する。
その後、各画素ブロック48a〜48c毎にAD変換されたデジタル信号を、画像処理する。
また、図5(b)に示すように、多数のマイクロレンズ15から得られた視差が生じた画像群のつなぎ合わせの画像処理を行うことによって2次元画像とする。
本実施形態に係る固体撮像装置1によれば、光電変換素子22を、光の入射面である画素19の上面20に形成し、転送トランジスタ26、読出しトランジスタ27及びAD変換回路28を、光の入射面の反対側の裏面21に形成している。よって、撮像基板10の上面11に対する光電変換素子22が光を受ける割合、すなわち、開口率を向上させることができる。
これにより、固体撮像装置1を高集積化することができる。
遮蔽される画素19の裏面21に形成されたAD変換回路28を動作させるので、光電変換素子22を透過した光によって、AD変換回路28が誤作動することがない。
マイクロレンズアレイ基板13を結像レンズ16と撮像基板10との間に設けることによって、結像面35を結像レンズ16に近い結像面36まで近づけることができる。この結果、固体撮像装置1を小型化することができる。
次に、第1の実施形態の第1の変形例について説明する。
図6(a)は、第1の実施形態の第1の変形例におけるマイクロレンズアレイ基板を例示する平面図であり、(b)は、第1の実施形態の第1の変形例における撮像基板を例示する上面図である。
一つの領域31の円形45aの中心を中心46aとし、1つの方向に隣接する円形45bの中心を中心46bとし、他の方向に隣接する円形45cの中心を中心46cとし、中心46b及び中心46cを結ぶ線分に対して、円形45aと対称の位置にある円形を円形45dとし、円形45dの中心を中心46dとしたときに、中心46a、中心46b、中心46c及び中心46dによって四角形57が形成される。
画素ブロック49に属する画素19の裏面に形成されたAD変換回路28は、各画素ブロック48a〜48dにおいて読出しトランジスタ27によって読み出された電荷をデジタル信号に変換する。
このように、四角形57の内部に配置された複数の画素19を1つの単位として、光電変換素子22によって蓄積された電荷を、AD変換回路28によってデジタル信号に変換する。
本変形例における上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
図7は、第1の実施形態の第2の変形例における撮像基板を例示する上面図である。
本変形例においては、マイクロレンズアレイ基板13におけるマイクロレンズ14は、前述の第1の実施形態の第1の変形例と同様に正方配列となっている。
したがって、図6に示すように、領域31の配置は、マイクロレンズアレイ基板13におけるマイクロレンズ14の配置が反映されて、正方配列となる。
円形45aと円形45bとの接点を接点50とし、円形45aと円形45cとの接点を接点51とし、接点50と接点51とを結ぶ線分に対して中心46aと対称の位置にある点を点52としたときに、中心46a、接点50、接点51及び点52によって四角形67が形成される。
一方、四角形67の内部の領域であって、円形45aに属さない領域における画素19の集合体を画素ブロック49という。画素ブロック49に属する画素19は、遮光される画素19である。
画素ブロック49に属する画素19の裏面に形成されたAD変換回路28は、画素ブロック48aにおいて読出しトランジスタによって読み出された電荷をデジタル信号に変換する。
このように、四角形67の内部に配置された複数の画素19を1つの単位として、光電変換素子22によって蓄積された電荷を、AD変換回路28によってデジタル信号に変換する。
本変形例における上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
図8は、第1の実施形態の第3の変形例における半導体基板を例示する図であり、(a)は、上面図を示し、(b)は、下面図を示す。
図8(a)に示すように、光電変換素子22はマトリックス状に配列された画素19のそれぞれに形成されている。
次に、第2の実施形態について説明する。
図9は、第2の実施形態に係る携帯情報端末装置を例示する平面図である。
図9に示すように、本実施形態に係る携帯情報端末装置2には、固体撮像装置1が設けられている。
固体撮像装置1は、例えば、前述の第1の実施形態に係る固体撮像装置1である。固体撮像装置1の結像レンズ16は、携帯情報端末装置2の一つの面38に配置されている。
携帯情報端末装置2には、固体撮像装置1に接続された記憶装置37が設けられている。
携帯情報端末装置2における固体撮像装置1の結像レンズ15の光軸17を被写体36に向ける。そして、固体撮像装置1を動作させて被写体36を撮像する。撮像した画像を記憶装置37に記録させる。また、撮像した画像を表示部(図示せず)に表示させる。
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態に係る携帯情報端末装置2は、固体撮像装置1を搭載することにより高集積化を実現している。
Claims (10)
- 複数の画素が2次元的に配置された第1面と前記第1面とは反対側の第2面とを有する撮像基板であって、前記複数の画素のそれぞれは入射した光を電荷に変換して蓄積する光電変換素子を含む、撮像基板と、
前記撮像基板の前記第1面側に設けられ、2次元的に配置された複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイ基板と、
を備え、
前記複数の画素は、第1〜第6の画素を含み、
前記複数のマイクロレンズは、互いに最近接した第1〜第3のマイクロレンズを含み、
前記第1面は、
前記第1のマイクロレンズで集光された光が入射する第1の領域と、
前記第2のマイクロレンズで集光された光が入射する第2の領域と、
前記第3のマイクロレンズで集光された光が入射する第3の領域と、
前記第1〜第3の領域に囲まれた第4の領域であって、前記第1〜第3のマイクロレンズで集光されたそれぞれの光が入射しない第4の領域と、
を含み、
前記第1の画素は、前記第1の領域に配置され、
前記第3の画素は、前記第2の領域に配置され、
前記第5の画素は、前記第3の領域に配置され、
前記第2の画素、前記第4の画素及び前記第6の画素は、前記第4の領域に配置され、
前記撮像基板は、前記第2面に設けられ前記第2の画素と重なるAD変換回路を含み、
前記第1の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷は、前記AD変換回路によってデジタル信号に変換される固体撮像装置。 - 前記撮像基板は、前記第2面に設けられ前記第1の画素と重なる別のAD変換回路をさらに含む請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記複数のマイクロレンズは、六方最密配列で配置された請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の画素の前記光電変換素子によって蓄積された前記電荷、前記第3の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷、及び、前記第5の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷が、1つの単位として、デジタル信号に変換される請求項3記載の固体撮像装置。
- 前記第1の画素、前記第3の画素及び前記第5の画素は、前記第1〜第3の領域のそれぞれの中心を結ぶ三角形の領域と重なる請求項4記載の固体撮像装置。
- 複数の画素が2次元的に配置された第1面と前記第1面とは反対側の第2面とを有する撮像基板であって、前記複数の画素のそれぞれは入射した光を電荷に変換して蓄積する光電変換素子を含む、撮像基板と、
前記撮像基板の前記第1面側に設けられ、2次元的に配置された複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイ基板と、
を備え、
前記複数の画素は、第1〜第8の画素を含み、
前記複数のマイクロレンズは、互いに最近接した第1〜第4のマイクロレンズを含み、
前記第1面は、
前記第1のマイクロレンズで集光された光が入射する第1の領域と、
前記第2のマイクロレンズで集光された光が入射する第2の領域と、
前記第3のマイクロレンズで集光された光が入射する第3の領域と、
前記第4のマイクロレンズで集光された光が入射する第4の領域と、
前記第1〜第4の領域に囲まれた第5の領域であって、前記第1〜第4のマイクロレンズで集光されたそれぞれの光が入射しない第5の領域と、
を含み、
前記第1の画素は、前記第1の領域に配置され、
前記第3の画素は、前記第2の領域に配置され、
前記第5の画素は、前記第3の領域に配置され、
前記第7の画素は、前記第4の領域に配置され、
前記第2の画素、前記第4の画素、前記第6の画素及び前記第8の画素は、前記第5の領域に配置され、
前記撮像基板は、前記第2面に設けられ前記第2の画素と重なるAD変換回路を含み、
前記第1の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷は、前記AD変換回路によってデジタル信号に変換され、
前記第1の画素の前記光電変換素子によって蓄積された前記電荷、前記第3の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷、前記第5の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷、及び、前記第7の画素の前記光電変換素子によって蓄積された電荷が、1つの単位として、デジタル信号に変換される固体撮像装置。 - 前記複数のマイクロレンズは、正方配列で配置された請求項6記載の固体撮像装置。
- 前記第1の画素、前記第3の画素、前記第5の画素及び前記第7の画素は、前記第1〜第4の領域のそれぞれの中心を頂点とする四角形の領域と重なる請求項6記載の固体撮像装置。
- 前記第1の画素、前記第3の画素、前記第5の画素及び前記第7の画素は、第1〜第4の点を頂点とする四角形と重なり、
前記第1の点は、前記第1の領域の第1の中心であり、
前記第2の点は、前記第1の中心と、前記第2の領域の第2の中心と、を結ぶ線分の中点であり、
前記第3の点は、前記第2の中心と、前記第3の領域の第3の中心と、を結ぶ線分の中点であり、
前記第4の点は、前記第2の点及び前記第3の点を結ぶ線分に対して前記第1の点と対称の位置にある請求項6記載の固体撮像装置。 - 請求項1〜9のいずれか1つに記載の固体撮像装置を備えた携帯情報端末装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011210402A JP5767929B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 固体撮像装置及び携帯情報端末装置 |
US13/361,321 US8686340B2 (en) | 2011-09-27 | 2012-01-30 | Solid imaging device and portable information terminal device having plural pixels being shielded and not shielded from light |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011210402A JP5767929B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 固体撮像装置及び携帯情報端末装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013074009A JP2013074009A (ja) | 2013-04-22 |
JP5767929B2 true JP5767929B2 (ja) | 2015-08-26 |
Family
ID=47910195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011210402A Expired - Fee Related JP5767929B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 固体撮像装置及び携帯情報端末装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8686340B2 (ja) |
JP (1) | JP5767929B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6189061B2 (ja) | 2013-03-19 | 2017-08-30 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP2015060053A (ja) | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置、制御装置及び制御プログラム |
JP2015060068A (ja) | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 撮像レンズ及び固体撮像装置 |
JP2015060067A (ja) | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 撮像レンズ及び固体撮像装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3821614B2 (ja) * | 1999-08-20 | 2006-09-13 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 画像入力装置 |
JP3705766B2 (ja) * | 2001-11-28 | 2005-10-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 画像入力装置 |
JP4124190B2 (ja) | 2004-09-21 | 2008-07-23 | ソニー株式会社 | X−yアドレス型固体撮像素子 |
JP2008172580A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Toshiba Corp | 固体撮像素子及び固体撮像装置 |
US8054355B2 (en) * | 2008-10-16 | 2011-11-08 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor having multiple sensing layers |
JP5421207B2 (ja) | 2010-08-25 | 2014-02-19 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP5254291B2 (ja) | 2010-09-07 | 2013-08-07 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP5127899B2 (ja) | 2010-09-14 | 2013-01-23 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
-
2011
- 2011-09-27 JP JP2011210402A patent/JP5767929B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-30 US US13/361,321 patent/US8686340B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8686340B2 (en) | 2014-04-01 |
JP2013074009A (ja) | 2013-04-22 |
US20130075586A1 (en) | 2013-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5428206B2 (ja) | 光学部材、固体撮像装置、製造方法 | |
JP6327480B2 (ja) | 半導体装置、電子機器 | |
JP5538553B2 (ja) | 固体撮像素子及び撮像装置 | |
JP5584679B2 (ja) | 固体撮像素子および撮像装置 | |
JP4341664B2 (ja) | 固体撮像装置および撮像装置 | |
TWI531052B (zh) | 固態影像感測裝置之製造方法 | |
JP2015170620A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2015230355A (ja) | 撮像装置および撮像素子 | |
JP2011216896A (ja) | マイクロレンズ付き固体イメージセンサ及び非テレセントリック撮像レンズを備えた光学系 | |
JP6045250B2 (ja) | 固体撮像装置および撮像装置 | |
WO2019044569A1 (ja) | 撮像素子および撮像装置 | |
JP2007279512A (ja) | 立体カメラ及び立体撮像素子 | |
JP2011129785A5 (ja) | ||
JP5767929B2 (ja) | 固体撮像装置及び携帯情報端末装置 | |
JP6732043B2 (ja) | Tdi方式リニアイメージセンサ | |
JP5359323B2 (ja) | 固体撮像装置及び電子機器 | |
JP2014003116A (ja) | 撮像素子 | |
JP6492395B2 (ja) | 撮像素子および撮像装置 | |
JP2014011239A (ja) | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 | |
JP2017162985A (ja) | 撮像装置 | |
JP2016025149A (ja) | 固体撮像装置および撮像装置 | |
WO2010090133A1 (ja) | 固体撮像装置 | |
WO2010090166A1 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2016063043A (ja) | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 | |
JP6492396B2 (ja) | 撮像素子および撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131007 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150622 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5767929 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |