JP5764723B2 - 圧力センサおよび該センサを用いた真空加工装置 - Google Patents
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Description
センサ部は、表面の中央部分に空洞部が形成されたステンレス鋼製の基台部と、空洞部を覆うように基台部の表面に設けられた高分子膜と、高分子膜の表面のうち、空洞部を覆う領域に設けられた第1薄膜センサと、高分子膜の表面のうち、空洞部を覆わない領域に設けられた第2薄膜センサと、一端が第1薄膜センサに接続され、他端が空洞部を覆わない領域に配置され、一端と他端とを結ぶ部分が空洞部を覆う領域内において一端と他端との間の距離が長くなるように引き回された一対の第1電極と、一端が第2薄膜センサに接続され、他端が空洞部を覆わない領域に配置された一対の第2電極とを備え、第1薄膜センサおよび第2薄膜センサは、温度に応じて抵抗値が変化するよう構成されており、
制御部は、第1薄膜センサの温度が予め定められた温度に維持されるように第1電極を通じて第1薄膜センサに電力を供給するとともに、電力に関する信号を出力する第1駆動部と、第2薄膜センサの温度に影響を与えない程度の微小電流を第2電極を通じて第2薄膜センサに供給することにより第2薄膜センサの温度を測定し、該温度に関する信号を出力する第2駆動部と、予め定められた基準温度における、第1駆動部から供給されている電力と雰囲気圧力との関係が格納された圧力記憶部と、第2薄膜センサの温度と電力補正量との関係が格納された補正量記憶部と、補正量記憶部に格納された関係および第2駆動部から出力された信号に基づいて電力補正量を決定し、第1駆動部から出力された信号により得た電力を電力補正量によって補正し、その後、圧力記憶部に格納された関係に基づいて補正後の電力に対応した雰囲気圧力を特定する圧力特定部とを備えている。
チャンバ内の少なくとも1つの圧力測定位置に1つずつ配置された、上記圧力センサのセンサ部と、チャンバの外に配置された、圧力センサの制御部と、圧力測定位置それぞれの目標とすべき雰囲気圧力の時間変化が格納された目標格納部と、制御部から取得した圧力測定位置の雰囲気圧力の時間変化と、目標格納部に格納された目標とすべき時間変化との差異に基づいて異常を検知する異常検知部とを備えている。
以下、添付図面を参照しつつ、本発明に係る圧力センサの実施例について説明する。
次に、添付図面を参照しつつ、本発明に係る真空加工装置の実施例について説明する。
2 センサ部
3 制御部
4 基台部
4a 空洞部
5 高分子膜
5b 高分子膜表面(空洞部を覆う領域)
5c 高分子膜表面(空洞部を覆わない領域)
6 第1薄膜センサ
7 第2薄膜センサ
8a、8b 第1電極
9a、9b 第2電極
10 第1駆動部
11 第2駆動部
12 圧力記憶部
13 補正量記憶部
14 圧力特定部
20 真空加工装置
21 繰出室
22 前処理室
23 製膜室
24 後処理室
25 巻取室
26 ガス導入口
27 ガス排気口
28 ターゲット
30 真空加工装置
31 製膜室
32 ガス導入口
33 流量調整弁
34 ガス排気口
35 グリッド(格子)部
40 真空加工装置
41 製膜室
42 ガス導入口
43 ガス排気口
Claims (6)
- 熱伝導方式を採用したセンサ部と、該センサ部を制御する制御部とからなる圧力センサであって、
前記センサ部は、
表面の中央部分に空洞部が形成されたステンレス鋼製の基台部と、
前記空洞部を覆うように前記基台部の表面に設けられた高分子膜と、
前記高分子膜の表面のうち、前記空洞部を覆う領域に設けられた第1薄膜センサと、
前記高分子膜の表面のうち、前記空洞部を覆わない領域に設けられた第2薄膜センサと、
一端が前記第1薄膜センサに接続され、他端が前記空洞部を覆わない領域に配置され、前記一端と前記他端とを結ぶ部分が前記空洞部を覆う領域内において前記一端と前記他端との間の距離が長くなるように引き回された一対の第1電極と、
一端が前記第2薄膜センサに接続され、他端が前記空洞部を覆わない領域に配置された一対の第2電極と、
を備え、
前記第1薄膜センサおよび前記第2薄膜センサは、温度に応じて抵抗値が変化するよう構成されており、
前記制御部は、
前記第1薄膜センサの温度が予め定められた温度に維持されるように前記第1電極を通じて前記第1薄膜センサに電力を供給するとともに、前記電力に関する信号を出力する第1駆動部と、
前記第2薄膜センサの温度に影響を与えない程度の微小電流を前記第2電極を通じて前記第2薄膜センサに供給することにより前記第2薄膜センサの温度を測定し、該温度に関する信号を出力する第2駆動部と、
予め定められた基準温度における、前記第1駆動部から供給されている前記電力と雰囲気圧力との関係が格納された圧力記憶部と、
前記第2薄膜センサの温度と電力補正量との関係が格納された補正量記憶部と、
前記補正量記憶部に格納された関係および前記第2駆動部から出力された信号に基づいて前記電力補正量を決定し、前記第1駆動部から出力された信号により得た前記電力を前記電力補正量によって補正し、その後、前記圧力記憶部に格納された関係に基づいて補正後の前記電力に対応した前記雰囲気圧力を特定する圧力特定部と、
を備えたことを特徴とする圧力センサ。 - 前記第1薄膜センサおよび前記第2薄膜センサは、タンタル−アルミニウム複合窒化物からなることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記タンタル−アルミニウム複合窒化物は、式TaxAlyNz(ただし、0.67≦x≦0.7、0.01≦y≦0.02、0.28≦z≦0.32、x+y+z=1)で表されることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記高分子膜は、ポリイミドフィルムからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧力センサ。
- 前記高分子膜の表面と前記第1薄膜センサおよび前記第2薄膜センサとの間に形成された緩衝層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧力センサ。
- 閉じられたチャンバと、前記チャンバ中にガスを導入するガス導入手段と、前記チャンバ中のガスを排気して前記チャンバ内の圧力を大気圧以下とするガス排気手段とを備えた真空加工装置であって、
前記チャンバ内の少なくとも1つの圧力測定位置に1つずつ配置された、請求項1〜5のいずれかに記載の圧力センサのセンサ部と、
前記チャンバの外に配置された、前記圧力センサの制御部と、
前記圧力測定位置それぞれの目標とすべき雰囲気圧力の時間変化が格納された目標格納部と、
前記制御部から取得した前記圧力測定位置の雰囲気圧力の時間変化と、前記目標格納部に格納された目標とすべき時間変化との差異に基づいて異常を検知する異常検知部と、
を備えたことを特徴とする真空加工装置。
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