JP2007171028A - 蒸着膜厚測定方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着膜厚測定装置Bは、真空室2内の第1の位置に配設される透光性基板8への蒸着膜厚と真空室2内の第2の位置に配設される水晶発振子における固有振動周波数fとの関係を示す水晶振動子周波数特性Tが記憶された記憶手段21dを有している。膜厚データ補正処理部21は、水晶振動子周波数特性Tに基づいて実測ファクタZbを求める。膜厚計測部20は、実測ファクタZbに基づいて規定膜厚Yに達するか否かを判定する。
【選択図】図2
Description
その質量の変化によって変化することを利用したものであり、蒸着チャンバー(真空蒸着装置)内に配設される被蒸着部材の近くに水晶発振子を配置し、前記被蒸着部材と略同等な条件にて前記水晶振動子にも蒸着を行って、蒸着によって生じた固有振動周波数の変化を蒸着膜厚に変換して所定の膜厚が得られるようにモニタしたり、あるいは所定の膜厚が得られた際に所定の制御を行うものであり、特許文献1に開示されている。
Zb=Za・(X/Y)・・・1)
なお、基準ファクタZaは、初期時において、膜厚センサ14への蒸着膜厚/透光性基板8への蒸着膜厚により求められるが、2回目以降の基準ファクタZaとしては、前回求めた実測ファクタZbが用いられることになる。
2 真空室(蒸着チャンバー)
3 蒸着材料
4 ルツボ
8 透光性基板(被蒸着部材)
13 シャッター
14 膜厚センサ
B 蒸着膜厚測定装置
20 膜厚測定部(計測手段)
20a 周波数/膜厚変換部
21 膜厚データ補正処理部
21d 記憶手段
22 シャッター用駆動手段
Claims (4)
- 蒸着材料を水晶発振子に蒸着させて、この蒸着膜厚に応じて変化する前記水晶振動子の固有振動周波数を検出し、この固有振動周波数を蒸着膜厚に換算し被蒸着部材への蒸着膜厚を計測する蒸着膜厚測定方法であって、
蒸着チャンバー内の第1の位置に配設される前記被蒸着部材への蒸着膜厚と前記蒸着チャンバー内の第2の位置に配設される前記水晶発振子の固有振動周波数との関係を示す水晶振動子周波数特性を予め測定するとともに前記水晶振動子周波数特性を記憶手段に記憶し、
前記被蒸着部材に蒸着される前記蒸着材料の第1の蒸着膜厚と前記水晶発振子に蒸着される前記蒸着材料の第2の蒸着膜厚との比を示す基準ファクタを求め、
前記基準ファクタと、前記水晶発振子からの実測値である第1の固有振動周波数に基づき前記記憶手段から読み出された前記蒸着膜厚と、前記被蒸着部材への規定膜厚とに基づいて、前記実測値に基づく実測ファクタを求め、
この実測ファクタに基づいて、前記被蒸着部材への蒸着膜厚が前記規定膜厚に到達するか否かを判定することで前記被蒸着部材への蒸着膜厚を計測することを特徴とする蒸着膜厚測定方法。 - 蒸着材料を水晶発振子に蒸着させて、この蒸着膜厚に応じて変化する前記水晶振動子の固有振動周波数を検出し、この固有振動周波数を蒸着膜厚に換算し被蒸着部材への蒸着膜厚を計測する蒸着膜厚測定装置であって、
蒸着チャンバー内の第1の位置に配設される前記被蒸着部材への蒸着膜厚と前記蒸着チャンバー内の第2の位置に配設される前記水晶発振子における固有振動周波数との関係を示す水晶振動子周波数特性が記憶された記憶手段と、
前記水晶発振子からの実測値である第1の固有振動周波数を入力するとともに前記記憶手段から前記第1の固有振動周波数に基づく前記蒸着膜厚データを読み出し、前記記憶手段から読み出された前記蒸着膜厚データと、前記被蒸着部材に蒸着される前記蒸着材料の第1の蒸着膜厚と前記水晶発振子に蒸着される前記蒸着材料の第2の蒸着膜厚との比を示す基準ファクタと、前記被蒸着部材への規定膜厚とに基づいて、前記実測値に基づく実測ファクタを求める制御手段と、
前記制御手段によって新たに求めた前記実測ファクタに基づいて前記被蒸着部材への蒸着膜厚が前記規定膜厚に到達するか否かを判定する計測手段と、
を備えてなることを特徴とする蒸着膜厚測定装置。 - 前記記憶手段は、複数の蒸着材料毎に前記水晶振動子周波数特性を有してなることを特徴とする請求項2に記載の蒸着膜厚測定装置。
- 前記制御手段もしくは前記計測手段は、前記規定膜厚に到達したと判定すると外部機器に対して制御信号を出力してなることを特徴とする請求項2に記載の蒸着膜厚測定装置。
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JP2005370304A JP2007171028A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 蒸着膜厚測定方法及びその装置 |
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JP (1) | JP2007171028A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101413355B1 (ko) * | 2013-01-30 | 2014-07-01 | 주식회사 야스 | 제어모듈 일체형 증착율 센서 |
CN105091804A (zh) * | 2014-05-15 | 2015-11-25 | 佳能特机株式会社 | 石英振荡式膜厚计 |
JP2015222244A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | キヤノントッキ株式会社 | 水晶発振式膜厚モニタによる膜厚制御方法 |
US9502478B2 (en) | 2013-09-24 | 2016-11-22 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic matter vapor deposition device and organic light emitting display manufactured thereby |
JP2018529014A (ja) * | 2015-09-21 | 2018-10-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 堆積速度を測定するための測定アセンブリ及びその方法 |
-
2005
- 2005-12-22 JP JP2005370304A patent/JP2007171028A/ja active Pending
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