JP5747375B2 - 真空調整器 - Google Patents
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- ハウジング部の内部空間を仕切部により仕切って第一空間と第二空間を設けるとともに、第一空間を第一ダイヤフラム部により仕切って第一室と第二室に形成し、かつ第二空間を弾性支持される第二ダイヤフラム部により仕切って第三室と第四室に形成するとともに、前記第一室内に臨む第一弁座部を開閉する主弁を前記第一ダイヤフラム部に固定し、かつ前記仕切部の通孔に設けた第二弁座部を開閉するパイロット弁を前記第二ダイヤフラム部に固定し、前記第三室又は前記第四室の一方を大気に、他方を真空側にそれぞれ連通可能に構成するとともに、前記第二室を、細孔部を介して真空側に連通可能に構成し、少なくとも、真空側の真空圧上昇により当該真空側に大気を導入し、真空側の真空圧低下により当該導入を解除する機能を備える真空調整器において、前記ハウジング部を、前記第二室,前記第三室及び前記第四室を形成するハウジング上部と前記第一室を形成するハウジング下部とにより着脱可能に構成し、このハウジング部に、前記第一室と前記真空側を連通させる真空接続口部と、内端口を前記第一弁座部とし、かつ外端口を大気に連通させる大気導入口部とを設けるとともに、前記第一室に配したダイヤフラム固定盤の周縁部と前記ハウジング上部の下端部間に、前記第一ダイヤフラム部の周縁部を挟んで固定し、かつ当該ダイヤフラム固定盤の中心側を下方に膨出させ、複数の通気孔を設けるとともに、中央に形成したガイド筒部により、前記主弁の弁軸をスライド自在に支持してなることを特徴とする真空調整器。
- 前記真空接続口部は、前記ハウジング部の周面部から横方へ突出形成し又は前記ハウジング部の底面部から下方へ突出形成することを特徴とする請求項1記載の真空調整器。
- 前記大気導入口部は、前記ハウジング部の底面部上面から前記第一ダイヤフラム部側へ筒状に突出形成することを特徴とする請求項1又は2記載の真空調整器。
- 前記大気導入口部には、前記外端口と大気間に配するフィルタ部を付設することを特徴とする請求項1,2又は3記載の真空調整器。
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JP2010200517A JP5747375B2 (ja) | 2010-09-08 | 2010-09-08 | 真空調整器 |
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