JP5720122B2 - 超純水製造システム - Google Patents
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また、一次純水システムにおいては、処理水に酸化剤である過酸化水素(H2O2)を添加するとともに、波長が254nm付近である紫外線を照射することで、過酸化水素からOHラジカルを発生させ、このOHラジカルによって処理水中のTOCを酸化分解するものが知られている(例えば、特許文献2参照)。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、酸化剤に係る工程を省くことのできる超純水製造システムを提供することを目的とする。
また、原水を、一次純水システム、サブシステムを通してユースポイントに供給する超純水製造システムにおいて、前記一次純水システムは、前記原水から分子量がIPAより大きいTOCを除去する装置と、185nm付近の波長を有する紫外線を照射することで、水を分解してOHラジカルを生成させ、前記紫外線の照射により励起状態になったTOCを前記OHラジカルによって酸化分解するUV酸化装置と、紫外線の照射により、廃水中のバクテリアを殺菌するUV殺菌塔と、を通水の順に備えている。
<第1実施形態>
図1は、第1実施形態に係る超純水製造システムを示す図である。
超純水製造システム1は、大別して、前処理システム10と、一次純水システム20と、二次純水システム(サブシステム)30と、回収処理システム40とを備えて構成され、工業用水、市水、井戸水等の原水をシステム10〜30で順に処理することにより、ユースポイント50に供給する超純水を製造するとともに、ユースポイント50から排出された廃水を回収処理システム40で処理し、回収処理システム40から得られた処理水を再び一次純水システム20に返送するシステムである。
前処理システム10は、原水に含まれる微粒子、イオン、コロイド、高分子有機物等の除去を行う。
ROユニット21は、逆浸透膜を備え、この逆浸透膜に処理水を通水することで、処理中のイオンをはじめ、有機物、微粒子、生菌、シリカ、コロイド等の除去を行う。真空脱気塔22は、処理水中の溶存酸素や二酸化炭素等の溶存ガスを除去する。イオン交換塔23は、イオン交換樹脂を有し、このイオン交換樹脂に処理水を通水することで、処理水中のイオンを吸着除去する。UV殺菌塔24は、処理水中のバクテリア(生菌)を殺菌する。ROユニット25は、逆浸透膜を備え、この逆浸透膜に処理水を通水することで、処理中のイオンをはじめ、有機物、微粒子、生菌、シリカ、コロイド等の除去を行う。
UV酸化装置31では、処理水に185nm付近の紫外線を照射することにより、水が分解してOHラジカルが生成し、このOHラジカルが紫外線の照射により励起状態になったTOCに作用し、TOCが酸化分解される。
ユースポイント50は、例えば半導体製造工場の半導体製造工程であり、ユースポイント50から排出される廃水(原水)には、半導体製造工程で洗浄に用いられるIPAが有機物(TOC)の主成分として含まれている。
活性炭塔41は、活性炭を有し、この活性炭に処理水を通水することで、処理水中の有機物、色度、界面活性剤等を吸着除去するとともに、酸化剤(例えば、過酸化水素)や次亜塩素酸ソーダ等を分解する。イオン交換塔42は、イオン交換樹脂を有し、このイオン交換樹脂に処理水を通水することで、処理水中のイオンを吸着除去する。
これらの活性炭塔41及びイオン交換塔42に通水される間に、ユースポイント50から排出された廃水から、分子量がIPAレベルのTOCより大きいTOCが除去される。また、イオン交換塔42で処理された処理水に含まれるTOC濃度は、数ppm(例えば、2ppm)程度となっている。
なお、紫外線ランプからは254nm付近の紫外線も放射されるが、254nm付近の紫外線を処理水に照射しても、OHラジカルは発生しないので、254nm付近の紫外線はTOCの酸化分解には直接寄与しない。
このように、本実施形態では、二次純水システム30の前段のシステム(本実施形態では、回収処理システム40)において、UV酸化装置43の前段に酸化剤を添加する工程を設けておらず、UV酸化装置43において照射する紫外線も、254nm付近の紫外線ではなく、185nm付近の紫外線としている。
以下、回収処理システム40において、処理水に酸化剤を添加するとともに波長が254nm付近の紫外線を照射する構成を採用した場合、及び、処理水に酸化剤を添加せずに波長が185nm付近の紫外線を照射する構成を採用した場合のTOCの処理速度について説明する。
なお、図2及び図3では、185nm及び254nm付近の紫外線を照射する紫外線ランプを用いた場合の実験結果が図示されていたが、254nm付近の紫外線を遮光し、185nm付近の紫外線を主に照射するように構成された紫外線ランプを用いた場合にも、185nm及び254nm付近の紫外線を照射する紫外線ランプを用いた場合と同様の結果が得られる。
第1実施形態では、UV酸化装置43を回収処理システム40に備えていたが、第2実施形態では、UV酸化装置43を一次純水システム120に備えている。
図4は、第2実施形態に係る超純水製造システム100を示す図である。なお、図4では、図1に示す超純水製造システム1と同一部分には同一の符号を付して説明を省略する。
超純水製造システム100は、大別して、前処理システム10と、一次純水システム120と、二次純水システム(サブシステム)130とを備えて構成され、工業用水、市水、井戸水等の原水をこれらのシステム10,120,130で順に処理することにより超純水を製造し、この超純水をユースポイント50に供給するシステムである。この超純水製造システム100が処理する工業用水等の原水においても、IPAがTOCの主成分である。
ポリッシャー塔121は、処理水中に残留するイオンを極限まで除去する。UFユニット122は、限外濾過膜を有し、この限外濾過膜に処理水を通水することで、処理水中の微粒子を除去する。
活性炭塔131は、活性炭を有し、この活性炭に処理水を通水することで、処理水中の有機物、色度、界面活性剤等を吸着除去するとともに、酸化剤(例えば、過酸化水素)や次亜塩素酸ソーダ等を分解する。ROユニット132は、逆浸透膜を備え、この逆浸透膜に処理水を通水することで、処理中のイオンをはじめ、有機物、微粒子、生菌、シリカ、コロイド等の除去を行う。イオン交換塔133は、イオン交換樹脂を有し、このイオン交換樹脂に処理水を通水することで、処理水中のイオンを吸着除去する。真空脱気塔134は、処理水中の溶存酸素や二酸化炭素等の溶存ガスを除去する。
例えば、一次純水システム、二次純水システム、及び回収処理システムを構成する装置の組み合わせや順番は、限定されるものではない。特に、一次純水システム又は回収処理システムにおいて、UV酸化装置の前に配置する装置も、UV酸化装置の前に分子量がIPAレベルのTOCより大きいTOCが処理水から除去される構成であれば、活性炭塔及びイオン交換塔に限定されるものではない。但し、活性炭塔の活性炭やイオン交換塔のイオン交換樹脂は細菌が比較的繁殖しやすく、ROユニットやUFユニット等の膜装置も生菌で目詰まりのトラブルなどを起こしやすいので、UV酸化装置が活性炭塔やイオン交換塔の後段、あるいは膜装置の前段に適用されるのがより望ましい。
20,120 一次純水システム
30、130 二次純水システム(サブシステム)
40 回収処理システム
43 UV酸化装置
Claims (3)
- 原水を、一次純水システム、サブシステムを通してユースポイントに供給し、前記ユースポイントの廃水を、回収処理システムを通して、前記一次純水システムの上流に還流させる超純水製造システムにおいて、
前記回収処理システムは、
前記廃水から分子量がIPAより大きいTOCを除去する装置と、
185nm付近の波長を有する紫外線を照射することで、水を分解してOHラジカルを生成させ、前記紫外線の照射により励起状態になったTOCを前記OHラジカルによって酸化分解するUV酸化装置と、
紫外線の照射により、廃水中のバクテリアを殺菌するUV殺菌塔と、
を通水の順に備えている、
ことを特徴とする超純水製造システム。 - 原水を、一次純水システム、サブシステムを通してユースポイントに供給する超純水製造システムにおいて、
前記一次純水システムは、
前記原水から分子量がIPAより大きいTOCを除去する装置と、
185nm付近の波長を有する紫外線を照射することで、水を分解してOHラジカルを生成させ、前記紫外線の照射により励起状態になったTOCを前記OHラジカルによって酸化分解するUV酸化装置と、
紫外線の照射により、廃水中のバクテリアを殺菌するUV殺菌塔と、
を通水の順に備えている、
ことを特徴とする超純水製造システム。 - IPAの濃度が30ppm以下である水に、185nm付近の波長を有する紫外線を照射することを特徴とする請求項1又は2に記載の超純水製造システム。
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